摘要:針對搬運機器人的前輪轉向舵機和后輪驅動電機的控制要求,采用以Cortex-M3為內(nèi)核的STM32F107作為主控制器,采用嵌入實時操作系統(tǒng)μC/OS-II,將程序分成啟動任務、電機轉速控制任務、舵機控制任務等相對獨立
Rorze支持4個端口的450mm晶圓搬運機器人在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕張Messe會展中心)上首次展出。該機器人可使支持4個端口的制造裝置開發(fā)變得容易,有助于削減成本及提高可靠性。 此前的
在與微細化同為半導體制造重要課題的大口徑化方面,在“SEMICON Japan 2010”(2010年12月1~3日,幕張Messe會展中心)上450mm晶圓的搬運機器人及晶圓盒等相關展品的數(shù)量超過了預期。一直關注該領域的多名記者均表示