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中國蝕刻機之父：限制進口部件將于明年實現100%國產！
國內半導體設備巨頭中微公司的創(chuàng)始人尹志堯被譽為 “中國蝕刻機之父”，昨天他在電話會議中表示，中微半導體 80% 的限制進口零部件可在國內替代，明年下半年實現 100% 國產！
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中微半導體訴訟美國泛林公司非法獲取商業(yè)機密獲勝
據業(yè)內信息，昨天中微半導體設備(上海)股份有限公司宣布，在針對美國半導體設備大廠泛林集團(Lam Research Corporation)提起的侵犯商業(yè)秘密案中贏得二審勝訴。
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中微中標9臺長江存儲蝕刻機 國產閃存用上國產半導體裝備
紫光旗下的長江存儲在2019年9月份正式量產了國內首個64層堆棧的3D閃存，容量256Gb，TLC芯片，2020年長江存儲還會進一步提升產能，年底將達到每月6萬片晶圓的水平，是初期產能的10倍。 擴大
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中微半導體CEO尹志堯：國產5nm蝕刻機已獲臺積電認可
根據臺積電的工藝路線圖，2020年Q3季度就要試產5nm工藝了，這一代工藝會全面應用EUV光刻技術。除了光刻機之外，蝕刻機也是半導體工藝中不可缺少的一步，在這個領域中國半導體裝備公司也取得了可喜的進步
