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3D光刻機

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EUV光刻機成為各大晶圓制造廠必爭產(chǎn)品，佳能研發(fā)新型3D光刻機

眾所周知，目前全球最牛的光刻機廠商是ASML，并且全球僅有它能夠研發(fā)EUV光刻機，用于7nm及以下的芯片。而像佳能、尼康、上海微電子的光刻機，均無法支持7nm及以下的芯片制造，更多的只能用于中、低檔的晶圓制造。

模擬技術
2022-04-12

ASML 3D光刻機堆疊光刻