紫光旗下的長江存儲在2019年9月份正式量產(chǎn)了國內(nèi)首個64層堆棧的3D閃存，容量256Gb，TLC芯片，2020年長江存儲還會進一步提升產(chǎn)能，年底將達到每月6萬片晶圓的水平，是初期產(chǎn)能的10倍。

產(chǎn)能的擴充將需要更多的設(shè)備，這就包括了國產(chǎn)設(shè)備。1月2日，上海中微半導(dǎo)體宣布中標了9臺蝕刻機，而2019全年他們中標的也不過13臺。

此前，中微半導(dǎo)體的5nm蝕刻機也已經(jīng)打入臺積電的供應(yīng)鏈。中微半導(dǎo)體設(shè)備公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯博士就指出，中微半導(dǎo)體正在跟隨臺積電按照摩爾定律的發(fā)展走，后者的3nm工藝已經(jīng)研發(fā)一年多了，預(yù)計2021年初就要試產(chǎn)。而中微半導(dǎo)體也在跟著這個路線走，目前已經(jīng)做到了5nm。