據韓國媒體koreaherald報道稱，三星電子的半導體設備供應商——Semes的兩名前雇員因涉嫌參與竊取技術而被起訴。據韓國水原地區(qū)檢察官辦公室周二稱，這兩名 Semes 前員工涉嫌向一家未公開的中國實體出售關鍵的晶圓清洗機——據信與 Semes 的設備相同。這兩名Semes 前員工和 Semes 的供應商的另外兩名員工被檢察官以違反《防止不正當競爭和商業(yè)秘密保護法》的罪名起訴。

據透露，包括兩名前 Semes 工程師在內的四名嫌疑人通過將專門提供給三星的Semes設備移交給中國實體，從而獲得了 800 億韓元(6280 萬美元)的收入。報道稱，該設備被認為是三星尖端半導體芯片技術的關鍵。在芯片制造過程的最初階段，使用清潔設備保持晶圓的清潔至關重要。隨著晶圓變得更薄，該工藝需要更復雜的方法?？朔夹g障礙的方法之一是設備使用超臨界流體狀態(tài)的二氧化碳來清潔晶圓，與使用其他流體(如超純水)清潔相比，這大幅減少了對晶圓的損壞。據SEMES官網介紹，其SUPER CRYSTAL系列清洗機是世界第一臺超臨界設備，采用無傾斜技術(高萃取/高溶解度)，具備高通量和穩(wěn)定性，能夠去除19nm的顆粒。

據 TheElec 報道，三星電子的芯片制造設備子公司 Semes 周五表示，其 2021 年全年的收入為 3.12 萬億韓元(約 161.93 億元人民幣)，營業(yè)利潤為 3533 億韓元(約 18.34 億元人民幣)。這是該公司迄今為止最好的年度業(yè)績。與 2020 年相比，收入和營業(yè)利潤也分別增長了 41% 和 24%，這是其目前最高的年度收益。Semes 表示，晶圓廠設備占其 2021 年收入的 75%，而平板顯示設備占 1.7%。2020 年，晶圓廠設備占其年收入的 61.24%，而平板顯示設備占 9.9%。

集成電路產業(yè)鏈包括設計、制造、封裝測試三個環(huán)節(jié)，其中制造需要由多種集成電路設備來實現?，F在，全球晶圓廠持續(xù)擴張，對設備需求進一步加大，中國大陸地區(qū)的需求尤為強烈，2020年中國大陸地區(qū)已成為全球最大集成電路設備市場。集成電路的多層堆棧技術與鰭型柵晶體管技術的廣泛應用導致對設備需求進一步加大。作為全球最大的消費半導體和半導體設備市場，以光刻機為代表的半導體設備一直是中國半導體行業(yè)“卡脖子”的關鍵詞和揮之不去的痛。但隨著清洗設備、薄膜設備等國產設備的不斷突破，國產設備在各個高端領域將很快迎來追趕。

清洗設備是貫穿半導體產業(yè)鏈的重要環(huán)節(jié)，用于清洗原材料及每個步驟中半成品上可能 存在的雜質，避免雜質影響成品質量和下游產品性能，在單晶硅片制造、光刻、刻蝕、沉積等關鍵制程及封裝工藝中均為必要環(huán)節(jié)。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點越來越先進，對實際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗 環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。清洗的關鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導體對雜質含量越來越敏感，而半導體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機物、金屬和氧化物 等污染物。為了減少雜質對芯片良率的影響，實際生產中不僅僅需要提高單次的清洗效 率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進行清洗，清洗步驟約占整體步驟的 33%。

同全球半導體設備市場一樣，全球半導體清洗設備市場呈現著高度壟斷、強者恒強的局 面。目前，國際上共有 5 家企業(yè)在生產單晶片清洗設備，分別是 Screen Semiconductor Solutions，Tokyo Electron，Lam Research，SEMES 和 ACM。在整個清洗設備市場，日本公司占據了主導，約 60%的市場份額由日本 Screen(迪恩士)占據，30%的市場 份額被日本 Tokyo Electron(東京電子)占據。半導體高端材料方面，日本長期保持絕對優(yōu)勢，日本是全球最大的半導體材料生產國，其中，高純度氟化氫是半導體清洗制程 中必備材料，日本在全球市占率為 70%。