ASML宣布公司將斥資建工廠:光刻機(jī)對(duì)于超精細(xì)半導(dǎo)體加工領(lǐng)域至關(guān)重要
荷蘭ASML公司 (全稱: Advanced Semiconductor Material Lithography,該全稱已經(jīng)不作為公司標(biāo)識(shí)使用,公司的注冊(cè)標(biāo)識(shí)為ASML Holding N.V),中文名稱為阿斯麥爾(中國(guó)大陸)、艾司摩爾(中國(guó)臺(tái)灣)。這是一家總部設(shè)在荷蘭埃因霍芬(Eindhoven)的全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一,向全球復(fù)雜集成電路生產(chǎn)企業(yè)提供領(lǐng)先的綜合性關(guān)鍵設(shè)備。ASML的股票分別在阿姆斯特丹及紐約上市。
2日訊,近日,ASML宣布將斥資2億美元擴(kuò)建其位于康涅狄格州威爾頓的工廠。據(jù)悉,ASML Wilton是ASML在美國(guó)最大的研發(fā)和制造基地。ASML Wilton擁有2000多名員工,并已在潔凈室、實(shí)驗(yàn)室和辦公室投資1億美元,是一個(gè)至關(guān)重要的設(shè)計(jì)、工程和生產(chǎn)中心。預(yù)計(jì)此次擴(kuò)建將在未來(lái)兩年內(nèi)創(chuàng)造1000個(gè)新工作崗位。
5月31日,美國(guó)商務(wù)部官網(wǎng)顯示,美國(guó)商務(wù)部副部長(zhǎng)Don Graves與荷蘭半導(dǎo)體公司阿斯麥(ASML)首席執(zhí)行官兼總裁 Peter Wennink共同宣布阿斯麥將斥資 2 億美元擴(kuò)建其位于康涅狄格州威爾頓的工廠。
據(jù)報(bào)道,美商務(wù)部副部長(zhǎng)Don Graves與荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML首席執(zhí)行官兼總裁Peter Wennink一起在ASML的總部宣布,ASML將斥資2億美元擴(kuò)建其位于康涅狄格州威爾頓的工廠。這一宣布正值兩黨創(chuàng)新法案在國(guó)會(huì)最終通過(guò)之際,該法案將投資520億美元用于美國(guó)半導(dǎo)體的研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)。
ASML Wilton 是 ASML 在美國(guó)最大的研發(fā)和制造基地。ASML Wilton 擁有 2,000 多名員工,并已在潔凈室、實(shí)驗(yàn)室和辦公室投資 1 億美元,是一個(gè)至關(guān)重要的設(shè)計(jì)、工程和生產(chǎn)中心,以滿足日益增長(zhǎng)的全球需求。預(yù)計(jì)此次擴(kuò)建將在未來(lái)兩年內(nèi)創(chuàng)造 1,000 個(gè)新工作崗位。
“從第一天起,政府就承諾振興我們的國(guó)內(nèi)制造業(yè)經(jīng)濟(jì)并確保我們的國(guó)家安全。實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)的起點(diǎn)和終點(diǎn)都是在美國(guó)制造的先進(jìn)半導(dǎo)體。”Graves說(shuō):“從我們的家庭和汽車到拯救生命的軍事和醫(yī)療技術(shù),半導(dǎo)體為一切提供動(dòng)力。ASML 是全球私營(yíng)企業(yè)聯(lián)盟的重要成員,他們選擇美國(guó)作為他們的半導(dǎo)體基地,對(duì)此我們深表感謝。我們需要通過(guò)將《兩黨創(chuàng)新法案》提交總統(tǒng)辦公室簽署來(lái)鞏固這一勢(shì)頭,因?yàn)樗鼘?duì)我們的經(jīng)濟(jì)和國(guó)家安全至關(guān)重要?!?
Wennink表示:“半導(dǎo)體行業(yè)的增長(zhǎng)十分迅速。為了滿足未來(lái)幾年的預(yù)期需求,ASML 正在投資基礎(chǔ)設(shè)施和人員。我們位于康涅狄格州威爾頓的辦事處是這項(xiàng)投資的一個(gè)很好的例子,也是美國(guó)對(duì)ASML成功至關(guān)重要的地點(diǎn)之一。”
據(jù)悉,商務(wù)部副部長(zhǎng)Graves訪問(wèn)了ASML,作為其歐洲之行的一部分。以加強(qiáng)跨大西洋合作,并就供應(yīng)鏈救濟(jì)、新興技術(shù)和出口管制等關(guān)鍵問(wèn)題與公共和私營(yíng)部門合作伙伴進(jìn)行接觸。
6 月 3 日消息,據(jù)韓聯(lián)社消息,三星電子副會(huì)長(zhǎng)李在镕將于下周前往荷蘭,預(yù)計(jì)將采購(gòu)荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商阿斯麥(ASML)的先進(jìn)芯片制造設(shè)備。
三星此前宣布將在 5 年內(nèi)向半導(dǎo)體和生物制藥領(lǐng)域投資 450 萬(wàn)億韓元(約合 3550 億美元),將盡早進(jìn)口 EUV 光刻機(jī),“使三星在制造最先進(jìn)的微芯片方面具有優(yōu)勢(shì)”。
李在镕重新執(zhí)掌三星集團(tuán)后,一直在公司關(guān)注的關(guān)鍵領(lǐng)域進(jìn)行努力。對(duì)于該公司來(lái)說(shuō),目前最重要的挑戰(zhàn)也許是三星電子急需世界上最先進(jìn)芯片制造機(jī)器。
ASML 總部位于荷蘭,是全球唯一一家能夠制造 EUV 極紫外光刻機(jī)的制造商。這些光刻機(jī)對(duì)于超精細(xì)半導(dǎo)體加工領(lǐng)域至關(guān)重要。
隨著先進(jìn)制程芯片制造業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的升溫,英特爾、三星、臺(tái)積電對(duì) ASML 設(shè)備的需求也水漲船高,甚至該公司的訂單已經(jīng)積壓數(shù)年。因此,ASML 先給誰(shuí)交付光刻機(jī)可能成了優(yōu)勢(shì)所在。
據(jù)報(bào)道,李在镕將于 6 月 7 日至 18 日訪問(wèn)歐洲。在訪問(wèn)期間,他將在荷蘭與 ASML 高管會(huì)面,以確保 ASML 的 EUV 設(shè)備交付。在三星尋求擴(kuò)大其位于京畿道平澤的半導(dǎo)體工廠之際,獲得這種設(shè)備對(duì)三星來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。
最近這兩年,國(guó)人對(duì)芯片和光刻機(jī)投入了較高的關(guān)注,對(duì)應(yīng)的企業(yè)就是中芯國(guó)際和上海微電子,這兩家企業(yè)分別是芯片制造龍頭和國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)龍頭,不過(guò)中芯國(guó)際是上市公司,相對(duì)而言財(cái)務(wù)和管理方面比較透明,但是上海微電子目前還是私營(yíng)企業(yè),不屬于公眾公司,因此顯得尤為神秘,外界也予以頗多猜測(cè)。
最近,國(guó)有控制下的芯片制造廠商積塔半導(dǎo)體對(duì)外招標(biāo)采購(gòu)芯片生產(chǎn)設(shè)備,其中就包括光刻機(jī)等設(shè)備,積塔半導(dǎo)體主要生產(chǎn)的是功率芯片,這一類芯片對(duì)于光刻機(jī)制程工藝的要求并不高,過(guò)去,一般90nm-350nm就可以滿足需要。
但是中標(biāo)結(jié)果顯示,3臺(tái)光刻機(jī)都被ASML拿下,沒(méi)有一家國(guó)產(chǎn)廠商中標(biāo),積塔半導(dǎo)體采購(gòu)的還是KrF和i-Line等系列光源的光刻機(jī),這些設(shè)備的制程工藝均被上海微電子所突破,但意外的是,上海微電子落選了。
唯一欣慰的是,在工藝檢測(cè)設(shè)備方面,上海微電子中標(biāo)了4臺(tái)產(chǎn)品,算是彌補(bǔ)了部分的尷尬。
那么這也顯示出,過(guò)去對(duì)于制程工藝要求不高的功率半導(dǎo)體,目前也在積極提高制程,根據(jù)上海的多個(gè)功率半導(dǎo)體廠商采購(gòu)的光刻機(jī)顯示,普遍已經(jīng)可以支持45nm芯片的生產(chǎn)。
不得不說(shuō),現(xiàn)在芯片正在成為一種剛需,人們的生活已經(jīng)進(jìn)入電子化時(shí)代,芯片作為支持電子化的基礎(chǔ)配件,是一種必需品。
而隨著對(duì)性能和功耗的極致追求,芯片的工藝在快速演化,目前已經(jīng)迭代到3納米,像臺(tái)積電、英特爾等,則在開(kāi)始研發(fā)2納米、1.8納米和1.4納米工藝。
誠(chéng)然,這種先進(jìn)的制造工藝,離不開(kāi)EUV光刻機(jī)的支持,我們知道,目前來(lái)看,可商用的EUV光刻機(jī),只有ASML可以提供。
在EUV光刻機(jī)上市之初,臺(tái)積電等芯片代工大廠一直在搶單,希望可以更快得到更多的該設(shè)備。
或許正是因此,ASML對(duì)自己的EUV光刻機(jī)頗以為傲,一直在國(guó)際上宣傳EUV光刻機(jī)難以有第二家供應(yīng)商。
目前的EUV光刻機(jī)可以支持到3納米工藝,如果要生產(chǎn)更先進(jìn)工藝的芯片,雖然也可以支持,但是生產(chǎn)效率要降低,這需要用到多重曝光。
因此ASML正在研發(fā)高NA EUV光刻機(jī),可以保證實(shí)現(xiàn)一次曝光就可以生產(chǎn)2納米及以下工藝的芯片。
所以高NA EUV光刻機(jī),似乎是EUV光刻機(jī)的下一代產(chǎn)品,各大芯片代工廠應(yīng)該是搶購(gòu)的節(jié)奏,但是卻并非如此。
“即便把光刻機(jī)的圖紙公布出來(lái),中國(guó)也做不出來(lái)。”曾說(shuō)出上述言論的ASML公司,前段時(shí)間突然向中國(guó)“低頭”了。
前段時(shí)間,ASML總裁Peter向中國(guó)交了底,Peter說(shuō):除受到《瓦森納協(xié)定》限制的EUV光刻機(jī),無(wú)法向中國(guó)供應(yīng)外,其他光刻設(shè)備均可以和中國(guó)企業(yè)進(jìn)行交易。
為何曾經(jīng)傲慢的ASML公司,會(huì)在此時(shí)態(tài)度“大變天”呢?
一、ASML厲害在哪
光刻機(jī)被譽(yù)為”工業(yè)皇冠上的明珠“,是芯片制造前道工序的關(guān)鍵設(shè)備。光刻機(jī)的工作原理類似老式照片的沖印技術(shù),主要是將掩膜版上的圖形曝光到硅片上。而這個(gè)技術(shù)也是芯片制造最復(fù)雜、工藝要求最高的步驟,其成本占到芯片制造總成本的35%以上。
目前,市場(chǎng)上能夠量產(chǎn)商用光刻機(jī)的廠商僅有三家:ASML、尼康和佳能。而在全球中高端光刻市場(chǎng),荷蘭的ASML幾乎處于壟斷地位,尤其是7nm及以下工藝的極深紫外線EUV光刻機(jī),目前僅有ASML一家能夠生產(chǎn)。但由于《瓦森納協(xié)定》的限制,EUV光刻機(jī)一直無(wú)法出口到中國(guó)。
《瓦森納協(xié)議》是在1996年7月由美國(guó)牽頭,同時(shí)還有41個(gè)國(guó)家參與制定的協(xié)議,主要內(nèi)容主要是禁售包括民用的先進(jìn)材料、電子器件、計(jì)算機(jī)、傳感與激光、電信與信息安全、船舶與海事設(shè)備等9大類,而ASML的EUV光刻機(jī)就是在2015年被協(xié)議納入的。