（全球TMT2022年8月2日訊）中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司迎來成立18周年的"成年禮"。自2004年成立以來，中微致力于開發(fā)和提供具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的微觀加工的高端設(shè)備，現(xiàn)已發(fā)展成為國(guó)內(nèi)高端微觀加工設(shè)備的領(lǐng)軍企業(yè)之一。從2007年首臺(tái)CCP刻蝕設(shè)備研制成功并交付客戶起，中微公司等離子體刻蝕設(shè)備不斷突破創(chuàng)新，其產(chǎn)品從65納米到14納米、7納米、5納米等均已在國(guó)際一線客戶的集成電路加工制造及先進(jìn)封裝中得到批量應(yīng)用。此外，中微公司用于氮化鎵基LED外延生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備自2012年研制成功并交付客戶，現(xiàn)已在行業(yè)領(lǐng)先客戶生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)。

2021年，中微公司研發(fā)同比增長(zhǎng)13.8%，占2021年?duì)I業(yè)收入的比重為23.42%。持續(xù)的研發(fā)投入和深厚的技術(shù)儲(chǔ)備，為中微公司成為了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體龍頭企業(yè)提供保障：截至2021年年底，公司已擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)，申請(qǐng)專利達(dá)2012項(xiàng)，其中發(fā)明專利達(dá)1741項(xiàng)；已獲授權(quán)專利達(dá)1179項(xiàng)，其中發(fā)明專利達(dá)993項(xiàng)。