英國(guó)阿賓頓, Aug. 23, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- Infinitesima很高興地宣布已完成Metron3D 300mm在線晶圓計(jì)量系統(tǒng)的增產(chǎn)投資輪融資，將從2022年第四季度開(kāi)始支持客戶(hù)出貨。

Metron3D系統(tǒng)采用公司經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的快速探針顯微鏡（RPM）技術(shù)以及領(lǐng)先行業(yè)供應(yīng)商的模塊，可實(shí)現(xiàn)最大性能和可靠性。該系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于實(shí)現(xiàn)高吞吐量、全自動(dòng)、在線生產(chǎn)工藝控制，以滿足先進(jìn)半導(dǎo)體工藝對(duì)高分辨率3D計(jì)量日益增長(zhǎng)的需求。

Infinitesima首席技術(shù)官兼創(chuàng)始人Andrew Humphris教授表示：“我們獨(dú)特的高速探針技術(shù)加上行業(yè)對(duì)在線3D計(jì)量日益增長(zhǎng)的需求帶來(lái)了強(qiáng)大的客戶(hù)參與度，我們對(duì)此倍感振奮。

此輪投資由Wonik Investment Partners領(lǐng)投，該公司是領(lǐng)先的韓國(guó)國(guó)際企業(yè)Wonik旗下的子公司，擁有包括半導(dǎo)體材料和設(shè)備在內(nèi)的廣泛業(yè)務(wù)經(jīng)營(yíng)范圍。 

Wonik Investment Partners總裁Dong Su Kim表示：“我們認(rèn)識(shí)到Infinitesima的巨大增長(zhǎng)機(jī)會(huì)，其獨(dú)特的3D計(jì)量技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)豐富的團(tuán)隊(duì)能夠滿足下一代半導(dǎo)體對(duì)工藝控制日益增長(zhǎng)的挑戰(zhàn)性需求。”

Infinitesima董事長(zhǎng)兼ARC InterCapital創(chuàng)始人Andrew Dixon表示：“在我們?yōu)轭I(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商引入Metron3D之際，我們很高興歡迎Wonik Investment Partners作為共同投資者和合作伙伴。”

關(guān)于Infinitesima

Infinitesima Limited是英國(guó)一家半導(dǎo)體行業(yè)先進(jìn)計(jì)量解決方案的領(lǐng)先企業(yè)。公司率先推出了一項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)，將原子力顯微技術(shù)的三維表面探測(cè)能力與高速激光激活、高精度干涉測(cè)量系統(tǒng)以及高速探針顯微鏡 (RPM) 相結(jié)合，此項(xiàng)技術(shù)受到廣泛的專(zhuān)利組合保護(hù)。

公司的RPM技術(shù)已由領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備公司作為模塊集成在其生產(chǎn)線上，并由領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商使用。

半導(dǎo)體制造商越來(lái)越需要更高分辨率的3D計(jì)量解決方案來(lái)控制當(dāng)前光學(xué)和電子波束技術(shù)無(wú)法解決的下一代工藝。Infinitesima推出了采用其RPM專(zhuān)利技術(shù)的高速計(jì)量系統(tǒng)Metron3D，以滿足客戶(hù)對(duì)在線亞納米*3D工藝控制不斷增長(zhǎng)的需求。

* 1納米 (nm) 為1米的10-9（單硅原子直徑約為0.2nm）。