艾新博盛投資管理合伙人  曹幻實(shí) （右）

博康集團(tuán)董事長  傅志偉（左）

本期話題：

• 談優(yōu)勢：“國內(nèi)真正實(shí)現(xiàn)光刻膠全產(chǎn)品鏈的現(xiàn)代化工廠，只有我們徐州博康一家”

• 談經(jīng)驗(yàn)：“在光刻膠的開發(fā)過程中我們建立自己的底層數(shù)據(jù)庫，無論是單體、光酸、樹脂還是配方”

• 談?wù)雇骸俺蔀橹袊叨丝萍贾芯?xì)化工領(lǐng)域的研發(fā)型公司，這是我們的夢想”

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談優(yōu)勢：“國內(nèi)真正實(shí)現(xiàn)光刻膠全產(chǎn)品鏈

的現(xiàn)代化工廠，只有我們徐州博康一家”

幻實(shí)（主播）：歡迎大家關(guān)注芯片揭秘，我是主播幻實(shí)。今天我非常榮幸地邀請到了博康集團(tuán)的董事長傅志偉先生，現(xiàn)在傅總就坐在我旁邊，先請您給大家打個(gè)招呼！

傅志偉（嘉賓）：大家好，我是徐州博康的傅志偉。

幻實(shí)（主播）：博康真的很低調(diào)，今天我看了你們的產(chǎn)品手冊才發(fā)現(xiàn)你們不簡單，從光刻單體的相關(guān)晶體到后續(xù)的光刻膠都在做，同時(shí)還有很多產(chǎn)品線，最關(guān)鍵的是和很多大廠合作過，所以我特別期待今天您給我們多分享一些觀點(diǎn)。

傅志偉（嘉賓）：我們從事這一行也有十七年了，以往對外宣傳確實(shí)比較少。徐州博康一開始是做光刻膠前端的原料，也就是單體，還有部分樹脂、光酸等。當(dāng)時(shí)中國還沒有成熟的光刻膠公司，所以我們做的東西只有一個(gè)渠道——出口賣給海外企業(yè)，對方把我們的產(chǎn)品當(dāng)作原材料做成光刻膠后再賣給國內(nèi)的廠。

在這個(gè)過程中我們從技術(shù)上深入鉆研，在光刻膠原料這個(gè)領(lǐng)域做了完整的產(chǎn)業(yè)布局，概括來說就是“兩個(gè)全”。

首先是品類做得全，我們基本上完全覆蓋了全世界80%以上用到的光刻膠單體，尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域所需的單體材料；其次是市占率全，徐州博康并不僅僅針對某一個(gè)固定客戶，全世界所有做光刻膠的主流公司我們都打進(jìn)去，成為了它們的供應(yīng)商。得益于多年以來的布局，目前我們?nèi)〉昧艘欢ǖ某晒?，徐州博康對單體的相關(guān)開發(fā)在國外也還是有影響力的。

但是，我們往更高端的材料介入時(shí)，中國企業(yè)很難進(jìn)一步參與了。主要原因就是需要用到高端光刻膠的設(shè)備，例如EUV光刻機(jī)等。在整體產(chǎn)業(yè)布局或者說世界的產(chǎn)業(yè)格局上，本土企業(yè)很難介入。

我們認(rèn)為徐州博康既然已經(jīng)掌握了大量的單體技術(shù)，那繼續(xù)往下走是有基礎(chǔ)的，因此十年前我們也開始決定做光刻膠。那時(shí)候整個(gè)產(chǎn)業(yè)環(huán)境并不是特別好，尤其當(dāng)時(shí)國內(nèi)的晶圓工廠才初具規(guī)模，都大量引進(jìn)進(jìn)口的光刻膠，使用國產(chǎn)光刻膠的可能性幾乎沒有。

幻實(shí)（主播）：你們憑什么判斷一定要做，不覺得這條路特別艱辛嗎？

傅志偉（嘉賓）：有一些特殊的機(jī)緣。我們發(fā)現(xiàn)國內(nèi)早晚是要做光刻膠的，而且當(dāng)時(shí)我們的單體研發(fā)做得不錯(cuò)，順延往下走就能做出光刻膠，再者它也能反過來進(jìn)一步輔助單體或樹脂、光酸等等的開發(fā)，這是一個(gè)相輔相成的關(guān)系。當(dāng)時(shí)我們還不能提前預(yù)判后來的國際發(fā)展形勢，只是覺得是個(gè)機(jī)會。另外，我國半導(dǎo)體被“卡脖子”也不是這兩年才有的，行業(yè)伊始就對中國有封鎖禁運(yùn)，包括瓦森納協(xié)定等等，對我國有多方面的限制。

涉足光刻膠后，我們最早是做電子束光刻膠。我還記得2013-2014年時(shí)已經(jīng)很明確地規(guī)定有些品類是禁售的，但中國依然需要，于是我們就做了相關(guān)的開發(fā)，成功開發(fā)了比較完整的電子束光刻膠這一系列產(chǎn)品。

博康集團(tuán)的電子束光刻膠系列產(chǎn)品

（資料來源：徐州博康供圖）

到了2014-2015年我們又發(fā)現(xiàn)，每當(dāng)與國外的客戶談中國本土化生產(chǎn)光刻膠的可能性時(shí)，無論美國的公司還是日本的公司都說得很明確，193nm波長的ArF光刻膠與中國人合作、在中國建廠、和中國合資做公司是不現(xiàn)實(shí)的。不過他們可以把i線、g線這種低端的乃至KrF中的部分，也就是非高端制程的產(chǎn)品拿到中國與我們合作生產(chǎn)。當(dāng)時(shí)我們就覺得不合適，因?yàn)?strong>如果中國沒有先進(jìn)制程的高端光刻膠，未來就會承擔(dān)很大的風(fēng)險(xiǎn)。當(dāng)時(shí)也有一些公司包括我們的客戶，他們有一定的前瞻性，希望我們來做一些相關(guān)的研發(fā)驗(yàn)證，于是我們就開始做了光刻膠的相關(guān)研發(fā)。

幻實(shí)（主播）：我想問一個(gè)很現(xiàn)實(shí)的問題，客戶只是缺點(diǎn)兒材料，但我們研發(fā)的投入可能會遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于他們買材料的金額，那么就會涉及到一個(gè)巨大投入的回報(bào)周期問題，您當(dāng)時(shí)是怎么解決收支平衡的？因?yàn)楹芏嗳藭X得這是國家該干的事兒，不是一家公司能做到的，博康憑什么敢干？

傅志偉（嘉賓）：我們量入為出。做光刻膠單體說實(shí)話利潤還是比較可觀的，再加上我們和客戶有一些合作，也與國內(nèi)的部分科研院所有交流溝通，實(shí)際上主要的研發(fā)費(fèi)用更多是用在不停地測試驗(yàn)證上，這方面投入是整個(gè)光刻膠研發(fā)費(fèi)用里最高的。

非常幸運(yùn)，我們和中科院微電子所、中科院（上海）微系統(tǒng)所在內(nèi)的一些相關(guān)機(jī)構(gòu)有比較緊密的合作關(guān)系，能夠獲得低成本驗(yàn)證的機(jī)會，我們也非常珍惜這樣的機(jī)會。從2014、2015年起陸續(xù)推出了一些光刻膠投入到小眾的市場上，而不是閉起眼睛買大量高端的光刻機(jī)去驗(yàn)證，這是因?yàn)楫?dāng)年對未來市場的判斷還具有不確定性，不敢以現(xiàn)在這種速度去做研發(fā)。

幻實(shí)（主播）：你們選擇了一種聯(lián)合開發(fā)的方法。

傅志偉（嘉賓）：是的，在光刻膠這方面，別人不做的東西我們來做，成本會比較低，投入的研發(fā)費(fèi)也有人愿意幫我們分擔(dān)。那么哪些是別人不做而我們做的呢？主要有以下四類：

第一類是被封鎖禁售的。國內(nèi)研發(fā)機(jī)構(gòu)、相關(guān)企業(yè)等想買但買不來的東西，例如電子束光刻膠。我們的客戶、合作伙伴肯定有機(jī)臺，我們就一邊幫助他開發(fā)，一邊做驗(yàn)證，這樣的共同開發(fā)就很快速。

第二類是拓展新的產(chǎn)品線。部分客戶也想做新的工藝，想用一些不僅中國沒有、全球也沒有的特別實(shí)用的光刻膠。我們就去幫他們做一些這方面的研發(fā)，嘗試著去做這種光刻膠。

第三類是服務(wù)小廠和小公司。例如新出現(xiàn)的功率器件這種小產(chǎn)線，他們?nèi)绻ベI光刻膠首先要負(fù)擔(dān)很高的成本，其次光刻膠某種意義上并不單純賣產(chǎn)品，更多時(shí)候是賣服務(wù)。比方說我們是做光刻膠的，會在工藝線上跟客戶共同調(diào)整膠的配方或各種指標(biāo)，從而響應(yīng)客戶的工藝參數(shù)，甚至有時(shí)候會需要讓客戶調(diào)整他們的工藝來匹配我們的膠。每款膠導(dǎo)入進(jìn)設(shè)備和產(chǎn)線里是有互動的過程的，這就需要有專業(yè)的技術(shù)人員在現(xiàn)場。而小公司或者小產(chǎn)線想請國外的大膠廠過來專門匹配自己相關(guān)的光刻膠是很難的，量太小了。所以我們來做，一方面給他們服務(wù)，另一方面也能使用對方的機(jī)臺來測試膠，我們的KrF光刻膠就是這樣開始做起來的。

第四類是與受停產(chǎn)、淘汰影響而買不到產(chǎn)品的工廠合作。有一些工藝國外大部分工廠已經(jīng)停了或者不想做了，但國內(nèi)還有部分工廠在做，他們可能會接到國外膠廠的通知說這款膠我們會停產(chǎn)，因?yàn)檫@些膠廠的大客戶沒了，也不可能針對國內(nèi)工廠再開產(chǎn)線。這個(gè)時(shí)候我們就去對接國內(nèi)工廠，幫助他們做國產(chǎn)替代。

相關(guān)研發(fā)產(chǎn)品

（資料來源：徐州博康供圖）

通過以上這四種方式，我們逐漸積累起不少客戶。雖然其中也有些客戶發(fā)展的不太順利，但大部分已經(jīng)迎來了“半導(dǎo)體的春天”。不少工廠開始不斷擴(kuò)大規(guī)模，隨之而來的就是對光刻膠的需求量也在攀升。

這個(gè)過程表面看上去是我們幫他們，實(shí)際上雙方是相輔相成，互幫互助，合作中能開發(fā)很多光刻膠品類。此外，通過這些客戶，我們的量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)被訓(xùn)練出來，后面再去面對國內(nèi)大廠的時(shí)候，就會更有信心。因?yàn)槲覀兊钠奉惛采w是最全的，為客戶做定制化服務(wù)的能力也通過小廠得到了多年鍛煉，從而針對大廠推出品類時(shí)也能快速響應(yīng)。光刻膠里最重要的是產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，我們有足夠的量產(chǎn)能力，對連續(xù)生產(chǎn)的穩(wěn)定性也相當(dāng)有經(jīng)驗(yàn)。目前來說，國內(nèi)真正能規(guī)?；慨a(chǎn)光刻膠的現(xiàn)代化工廠，包括從單體一直到光刻膠產(chǎn)品的全產(chǎn)業(yè)鏈工廠，只有我們徐州博康一家。

幻實(shí)（主播）：這是讓我今天非常激動的一個(gè)地方，你們有這么長的一個(gè)時(shí)間積累，而且真的做到了本土化還成功了，這個(gè)經(jīng)驗(yàn)非常難得。您的分享對行業(yè)內(nèi)很多做相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的人應(yīng)該都會有借鑒和幫助。

專訪現(xiàn)場，傅總向幻實(shí)介紹博康的技術(shù)優(yōu)勢

（圖左為博康集團(tuán)董事長傅志偉先生，圖右為幻實(shí)）

談經(jīng)驗(yàn)：“在光刻膠的開發(fā)過程中我們建立自己的底層數(shù)據(jù)庫，

無論是單體、光酸、樹脂還是配方”

幻實(shí)（主播）：請教一下傅總，現(xiàn)在光刻膠領(lǐng)域國內(nèi)的水平和階段與國際最先進(jìn)的公司相比差距還大嗎？或者說在哪些方向上還有差距？

傅志偉（嘉賓）：總的來看光刻膠在技術(shù)層面我認(rèn)為沒有什么特別的差異性，真正的差異在于用戶端、應(yīng)用端。最大的難處是如何跟客戶有一個(gè)好的匹配，如何去服務(wù)好這種響應(yīng)。而真正的配方調(diào)整屬于化學(xué)范疇，本身就是一個(gè)經(jīng)驗(yàn)學(xué)科，它需要的是應(yīng)用獲得的經(jīng)驗(yàn)，然后才能去做更多新的東西。

對我們來說，這十幾年的積累讓我們在單體這個(gè)領(lǐng)域已經(jīng)在國際上能夠占據(jù)一席之地。反過來通過單體的經(jīng)驗(yàn)去往光刻膠這塊再推進(jìn)，可能恰恰會是我們最大的長處，是我們比較擅長的東西。

光刻膠有點(diǎn)像制藥，藥物篩選是在很多的化合物里篩選一兩個(gè)活性物質(zhì)，光刻膠也是一樣。我們先去想象它的結(jié)構(gòu)、配方，再從大量的化合物里面去選真正符合我們要求的單體、光酸等?；衔锏慕Y(jié)構(gòu)太多了，如果從膠反過來推測單體都是什么再找出它們，無異于大海撈針，是非常難的。我們不同，所有用單體的思路我們都有，也基本上都在手里面，無非是進(jìn)一步做排列組合，這就是可以快速響應(yīng)客戶需求的原因。

我們在面對國外的一些光刻膠公司包括樹脂廠時(shí)發(fā)現(xiàn)，專業(yè)的光刻膠公司基本都是化學(xué)公司，不僅僅做光刻膠，也會做更為前端的研發(fā)。這一點(diǎn)是在與他們接觸下來后形成的共同探討。現(xiàn)在世界上排名數(shù)一數(shù)二的光刻膠公司和我們談單體開發(fā)的合作時(shí)，是能指導(dǎo)我們的。

幻實(shí)（主播）：對，因?yàn)樗旅嬗刑嗟钠奉悺?

傅志偉（嘉賓）：是的，既然能指導(dǎo)我們?nèi)绾巫鰡误w，也就意味著他們對單體的了解、合成有著非常深的研究和長期的經(jīng)驗(yàn)，只是研究出來以后委托外面去做生產(chǎn)。

幻實(shí)（主播）：這真的和做藥很像了。

傅志偉（嘉賓）：藥物研究可以做藥理、毒理、病理各方面的反應(yīng)，不代表一定要去生產(chǎn)化合物。

幻實(shí)（主播）：可能連小批量都不一定自己做。這里也和您請教一個(gè)技術(shù)前沿的趨勢，現(xiàn)在可以用AI輔助的方法去做藥的篩選，那您現(xiàn)在規(guī)劃的光刻膠方向會不會也用AI的方式去做輔助篩選以減少實(shí)驗(yàn)的次數(shù)呢？另外，合成生物學(xué)現(xiàn)在很火爆，不知道會不會對今后光刻膠的技術(shù)路線上有一些新的思路的變化？

傅志偉（嘉賓）：不瞞您說，我們在光刻膠的開發(fā)過程中也在建立自己的底層技術(shù)數(shù)據(jù)庫，無論是單體的、光酸的、樹脂的，還是光刻膠的配方。AI方面最基礎(chǔ)的恰恰是你得有一個(gè)大量的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)，至于未來會不會形成內(nèi)容，我覺得目前國內(nèi)的光刻膠不管是從合成的技術(shù)還是后續(xù)的配方，離AI還是有一定距離的，還是要先把基礎(chǔ)做好。

從單體到光刻膠的全產(chǎn)業(yè)鏈路徑

（資料來源：徐州博康供圖）

我們確實(shí)有一款光刻膠的材料是綠色生物基的。其實(shí)光刻膠不僅僅應(yīng)用在半導(dǎo)體中，我們還做了其余的開發(fā)，而那款本身就有環(huán)保的要求，所以就用了生物基這樣的樹脂。

幻實(shí)（主播）：非常環(huán)保，也很符合現(xiàn)在雙碳的戰(zhàn)略。這一塊國外是不是會走得比較前沿？

傅志偉（嘉賓）：這就要看光刻膠的應(yīng)用領(lǐng)域了，半導(dǎo)體行業(yè)普遍還是用合成方式的更多。

幻實(shí)（主播）：我們看到了IMEC的一些最新方向，他們未來的芯片有可能都是在實(shí)驗(yàn)室里通過細(xì)胞培養(yǎng)出來的，甚至不需要用光刻，非常前沿了。

傅志偉（嘉賓）：有可能，但我們不認(rèn)為光刻只針對半導(dǎo)體，我們做光刻膠實(shí)際上只是半導(dǎo)體中的一種微加工工藝。今后在工業(yè)發(fā)展的過程中還會有很多地方都要用到微加工工藝，包括光刻膠的開發(fā)。我知道有一個(gè)生物微流道，就是用光刻工藝完成內(nèi)部加工的，里面也會用到光刻膠。

光刻膠分為正膠和負(fù)膠，正膠是要刻掉的，負(fù)膠是用來固化的。我們在跟日本的客戶交流時(shí)也發(fā)現(xiàn)，未來他們可能希望用3D打印的方式來做器件、做芯片。這是一種增材打印，里面用的材料就是光刻膠。也就是說光刻膠不再是生產(chǎn)過程中要被去掉的制程產(chǎn)品了，未來可能會變成一種基材。在有些領(lǐng)域，例如我們正在開發(fā)的導(dǎo)電膠就是這種類型的基材。在一層導(dǎo)電膠上再放一層絕緣的光刻膠，通過蝕刻的方法讓它們交錯(cuò)起來，形成具體的功能性結(jié)構(gòu)并保存在最后的成品器材或芯片里面。

談?wù)雇骸俺蔀橹袊叨丝萍贾?/strong>精細(xì)化工領(lǐng)域

的研發(fā)型公司，這是我們的夢想”

幻實(shí)（主播）：您是打算未來五到十年繼續(xù)在光刻膠相關(guān)的行業(yè)發(fā)展還是會選一些其他相關(guān)多元化的方向？能給我們展望一下嗎？

傅志偉（嘉賓）：首先，我們已經(jīng)在光刻膠這個(gè)行業(yè)里扎根了這么多年，所形成的的基礎(chǔ)對于目前國內(nèi)的光學(xué)材料、電子材料方面是有一定的推廣性的，可以把光刻膠的部分技術(shù)應(yīng)用在其余的材料和領(lǐng)域里面。

所以我們的想法是聚焦在光刻膠這一塊，把技術(shù)進(jìn)一步做深做強(qiáng)。同時(shí)會根據(jù)技術(shù)去拓展，涉及到其余的應(yīng)用材料里。我們希望根據(jù)自己擅長的方向去走，不會因?yàn)楣疽?guī)模大了或者其他原因盲目地做投入運(yùn)營。我們依然將按照公司自身的技術(shù)路線去發(fā)展和做一些不同領(lǐng)域的布局。

幻實(shí)（主播）：以技術(shù)來驅(qū)動市場的開拓。

傅志偉（嘉賓）：對。技術(shù)走到哪兒我們就去面對哪一塊的市場，而不是因?yàn)橛惺袌鲂枨蠓催^來立刻去開發(fā)一個(gè)東西，因?yàn)檫@樣做可能接觸到我們根本就沒碰到過、不擅長的領(lǐng)域。

幻實(shí)（主播）：你們有沒有對標(biāo)的公司？比如說全球優(yōu)秀的、作為您做公司時(shí)的一個(gè)對標(biāo)？

傅志偉（嘉賓）：剛剛也說了我們是做光刻膠，光刻膠某種意義上來說就是化學(xué)，所以我們就是個(gè)化學(xué)公司。而化學(xué)里面也分基礎(chǔ)化工、大化工，還有精細(xì)化工等等。中國目前來講還沒有一個(gè)規(guī)模特別大、研發(fā)能力及各方面特別強(qiáng)的綜合性精細(xì)化工公司。所以我們的理想是看看有沒有可能未來去對標(biāo)杜邦、陶氏這種永遠(yuǎn)在不停地做前瞻性研發(fā)的精細(xì)化工公司。這對我們來說是蠻大的誘惑，我們希望能夠努力成為中國高端科技中精細(xì)化工領(lǐng)域的研發(fā)型公司，這是我們的夢想。

2021年完成建設(shè)并已正式投產(chǎn)的邳州工廠航拍

（資料來源：徐州博康供圖）

幻實(shí)（主播）：我覺得中國確實(shí)也需要這種公司，像默克這樣的公司真的是掌握了太多前沿的方向，而且它們一直都是站在產(chǎn)業(yè)鏈的頂端去俯瞰下面，我覺得這個(gè)感覺是很好的。

傅志偉（嘉賓）：我們和杜邦、陶氏當(dāng)年一起溝通的時(shí)候，他們說的很明確：只要利潤達(dá)到30%以下就會把對應(yīng)的產(chǎn)品停掉。為什么呢？他們永遠(yuǎn)都只做成長期的產(chǎn)品，或者親自開發(fā)和培育整個(gè)市場中的材料和相關(guān)產(chǎn)品。但到了市場白熱化競爭階段時(shí)，利潤一旦低于他們的標(biāo)準(zhǔn)就會立馬被叫停，甚至把這類產(chǎn)品整體打包賣掉。當(dāng)時(shí)還準(zhǔn)備賣給我們一些。很多新材料都出自他們，像當(dāng)年的的確良、滌綸等等，都是這些化學(xué)公司開發(fā)的。

幻實(shí)（主播）：說明人家是非常有實(shí)力、底氣和才干的，這也值得我們?nèi)W(xué)習(xí)借鑒。最后借助我們芯片揭秘這個(gè)平臺，您有沒有想對外呼吁或者號召的？

傅志偉（嘉賓）：半導(dǎo)體行業(yè)是需要耐心的一個(gè)行業(yè)，我們希望客戶、市場和資本包括各方面能給我們這個(gè)行業(yè)更多的耐心。有了更多的耐心我相信我們這群做技術(shù)的人一定會給大家一個(gè)比較滿意的答卷。

幻實(shí)（主播）：謝謝傅總今天和我們分享了這么多，也期待博康的光刻膠大業(yè)及化學(xué)板塊的偉大宏圖未來能夠慢慢去展現(xiàn)。

傅志偉（嘉賓）：我是徐州博康的傅志偉，我在芯片揭秘等著你。

隨著晶圓廠掀起擴(kuò)產(chǎn)潮，作為制程耗材的光刻膠市場空間也在進(jìn)一步釋放。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，全球半導(dǎo)體光刻膠市場規(guī)模2025年將超過30億美元。雖然光刻膠在半導(dǎo)體材料中的占比不到10%，卻往往有“四兩撥千斤”的作用，直接影響芯片的良率，其中的單體更是曝光顯影的原始載體，直接決定光刻膠的性能。很長一段時(shí)間里，這類高度精細(xì)化控制的工藝大部分掌握在美國、日本等海外廠商手里，國內(nèi)企業(yè)依靠進(jìn)口來滿足下游環(huán)節(jié)的生產(chǎn)需求?？梢坏Ψ浇刍蛳捱\(yùn)就會暴露出問題。晶圓擴(kuò)產(chǎn)潮為行業(yè)打開了自主可控的機(jī)遇和窗口，未來還需要國產(chǎn)廠商不斷攻克材料和技術(shù)難題。我們相信，在高端光刻膠領(lǐng)域國內(nèi)企業(yè)必將走出一條屬于自己的嶄新道路。

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