滿足當今技術創(chuàng)新的繁榮發(fā)展和復雜多變的產(chǎn)業(yè)環(huán)境，半導體代工廠需要定量、準確和高速的過程測量。海洋光學（Ocean Insight）與等離子蝕刻技術的領先創(chuàng)新者合作，探索適用于檢測關鍵晶圓蝕刻終點的全光譜等離子監(jiān)測解決方案。

客戶面臨的挑戰(zhàn)

隨著全球對半導體的需求迅速增長，該行業(yè)已做好投資于節(jié)約成本的工藝改進以及開發(fā)日益復雜的半導體設計和配方的準備。為了滿足當今的技術繁榮并應對不斷擴大的市場，半導體代工廠需要定量、準確和高速的過程測量。

半導體和微機電系統(tǒng)（MEMS）正在達到設計極限，通過減小尺寸或提高速度來進一步改進幾乎是不可能的。相反，制造商專注于晶圓質量、可重復性和整體良率，以及提高產(chǎn)能。目標是滿足對智能電子產(chǎn)品不斷增長的需求，同時保持生產(chǎn)成本和價格競爭力。

我們的觀點

微弱等離子體或晶圓光譜的快速分析有助于完善蝕刻工藝參數(shù)，同時提高晶圓質量。基于光譜儀的等離子體測量與強大的軟件相結合，可以說明等離子體、腔室和視口條件的變化狀態(tài)，并對來自深蝕刻或薄設計特征的最微弱信號敏感。

光譜有助于使終點檢測更加精確，從而可以設計出更復雜的晶片形狀和圖案。由于制造商可以更準確地停止和啟動生產(chǎn)過程，因此可以制造更小的特征，同時減少錯誤和減少晶圓上的不可用空間。另外，隨著終點檢測變得更加精確，可以使用更薄的不同材料層，即使它們產(chǎn)生微弱的、難以分辨的光譜特征和更緊密排列的峰值。

解決方案

海洋光學與半導體行業(yè)領先的設備供應商合作，共同推進終點檢測技術。我們定制了光譜儀（Ocean SR2和Ocean HDX是等離子監(jiān)測應用的理想選擇），以提供半導體制造所需的快速、高靈敏度、精確分辨率和多功能連接能力。

借助海洋光學硬件和支持，設備供應商不斷改進和完善其為半導體行業(yè)提供的蝕刻技術。其在等離子處理和先進封裝解決方案方面的領先地位支持與無線設備、光子學、固態(tài)照明和MEMS設備相關的新興技術。

關于海洋光學

世界上第一臺微型光譜儀的發(fā)明者海洋光學Ocean Insight作為世界領先的光學解決方案提供商，應用于半導體、照明及顯示、工業(yè)控制、環(huán)境監(jiān)測、生命科學生物、醫(yī)藥研究、教育等領域。其產(chǎn)品包括光譜儀、化學傳感器、計量檢測設備、光纖、透鏡等。作為光纖光譜儀的發(fā)明者，如今海洋光學在全球已售出超過40萬套的光纖光譜儀。30年來海洋光學專注于光譜技術和設備的持續(xù)創(chuàng)新，海洋光學也從一家光譜產(chǎn)品生產(chǎn)商轉型為光譜解決方案提供商，持續(xù)豐富擴充光傳感產(chǎn)品線的同時，增強支持和服務能力，為需要定制方案的客戶提供量身定制的系統(tǒng)化解決方案和應用指導。

關于愛蛙科技

愛蛙科技致力于提供光譜分析儀器銷售、租賃、維護，以及解決方案定制、軟件開發(fā)在內(nèi)的全鏈條一站式精準服務。作為海洋光學授權合作伙伴，愛蛙科技與海洋光學攜手共同幫助客戶面對問題、探索未來課題，為打造量身定制的光譜解決方案而努力。