從小作坊到壟斷EUV光罩檢測,這家日本公司靠什么做到的?
看似不起眼的“小公司“Lasertec,卻是世界上唯一一家為極紫外光刻(EUV光刻)制造測試設(shè)備的公司隨著今年半導(dǎo)體行業(yè)并購案的不斷增加,由此也產(chǎn)生了許多行業(yè)巨頭,如AMD收購賽靈思,英偉達(dá)收購ARM后的公司都成為了行業(yè)內(nèi)排名前列的巨頭。
但半導(dǎo)體行業(yè)除了這些巨頭外,也有一些小而精的公司,如Marvel收購的Inphi,他們不追求多點(diǎn)開花,只專研一個(gè)領(lǐng)域甚至一個(gè)產(chǎn)品,持續(xù)深耕,耐得住寂寞,最后成為行業(yè)不可取代的存在。
日本的Lasertec也是這樣一個(gè)公司。看似不起眼的“小公司”Lasertec,卻是世界上唯一一家為極紫外光刻(EUV光刻)制造測試設(shè)備的公司,三星臺(tái)積電均用其EUV檢測設(shè)備生產(chǎn)芯片。

說到光罩檢測,可能大家首先想到的是美國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)商KLA,但日本的Lasertec其實(shí)在這一領(lǐng)域也深耕多年,具有好不遜色的技術(shù)和產(chǎn)品。

根據(jù)Lasertec官網(wǎng)顯示,其成立于1960年,成立之初只是一家生產(chǎn)X-射線電視系統(tǒng)的小作坊,后經(jīng)過60多年的發(fā)展,目前其已經(jīng)成長為從事檢測和量測設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)先開發(fā)商,主要提供半導(dǎo)體(晶圓/光罩)與LCD檢測機(jī)臺(tái)產(chǎn)品,太陽能電池相關(guān)設(shè)備與印刷電路板安裝檢測設(shè)備等,六十多年只專注于檢測這一塊。
雖然Lasertec目前在半導(dǎo)體行業(yè)還只是一家名不見經(jīng)傳的小公司,但它已經(jīng)成為包括臺(tái)積電、三星、英特爾等行業(yè)巨頭不可或缺的伙伴,今年,它還獲得了英特爾一年一度的供應(yīng)商獎(jiǎng)。
EUV光刻制造測試設(shè)備“獨(dú)苗兒”
到底是怎樣的技術(shù)和產(chǎn)品讓Lasertec如此獨(dú)特且無可取代?
那就是針對(duì)EUV光刻的檢測技術(shù)。
目前的芯片制程已經(jīng)推進(jìn)到了7nm,5nm,之前的DUV光刻已經(jīng)不能再滿足這些先進(jìn)制程的制造需求,而需要采用EUV光刻技術(shù),但如果在制造過程中出現(xiàn)缺陷,將會(huì)對(duì)良率造成極大傷害。
Lasertec早在2017年就掌握了關(guān)鍵技術(shù),制造出了可以用來檢測空白EUV光罩內(nèi)部缺陷的設(shè)備,而臺(tái)積電還是在2018年4月進(jìn)入7nm芯片的量產(chǎn)階段,而三星則是在2020年早些時(shí)候才開始量產(chǎn)7nm芯片。2019年,Lasertec又推出了對(duì)已印有晶圓設(shè)計(jì)的模板進(jìn)行檢測的設(shè)備,成為了這一領(lǐng)域的壟斷者。
之所以Lasertec能取得目前的成就,可以從Lasertec創(chuàng)立初始就信奉的工程師理念,即“每年為世界帶來一個(gè)全新產(chǎn)品”,可窺一二,這種發(fā)展理念貫徹至他們員工每一天的工作中。Lasertec只專注于一個(gè)領(lǐng)域的持續(xù)研發(fā),并及時(shí)了解市場需求,開發(fā)客戶所需的技術(shù)和產(chǎn)品。
在光學(xué)檢測領(lǐng)域,在1976年,Lasertec就成功研發(fā)了全球首臺(tái)自動(dòng)LSI光罩檢測系統(tǒng),這一系統(tǒng)為Lasertec之后的快速發(fā)展之路奠定了基礎(chǔ)。2017年,Lasertec針對(duì)最先進(jìn)制程發(fā)布了他們經(jīng)過6年研發(fā)的EUV空白光罩檢測系統(tǒng)ABICS E120,這和KLA推出其FlashScan空白光罩檢測產(chǎn)品線的時(shí)間線相當(dāng)。

ABICS E120

先進(jìn)的技術(shù)也幫助公司的收益和股價(jià)一路攀升。根據(jù)彭博社的報(bào)道,Lasertec股價(jià)自2019年初以來,已增長了550%。而在其剛剛公布的2020年7月-9月三個(gè)月的財(cái)報(bào)顯示,這三個(gè)月Lasertec的銷售額達(dá)到了131.65億日元,而2019年同期的銷售額則僅為55.42億日元,增長了超過兩倍。相信,隨著之后5nm制程的不斷推進(jìn),Lasertec未來的盈利增長空間還非常巨大。


目前國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展如火如荼,但在快速發(fā)展、多點(diǎn)投入的同時(shí),也需要如Lasertec這樣沉下心來進(jìn)行深度研發(fā)的公司,先進(jìn)技術(shù)的發(fā)展還是需要深厚積累,很難有捷徑可走。
如果國內(nèi)半導(dǎo)體的各個(gè)環(huán)節(jié)都有哪怕一家如Lasertec這樣的小公司,相信像華為、中興等中國公司也不會(huì)被美國的各種制裁所影響。“?!钡木褚彩悄壳皣鴥?nèi)半導(dǎo)體公司所需的一種非常重要的品質(zhì)。
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