隨著半導(dǎo)體工藝進入到5nm節(jié)點以內(nèi)，對EUV光刻機的需求也不斷增長，目前全球只有ASML一家公司能夠生產(chǎn)EUV光刻機，今年的出貨量還會進一步提升。

當(dāng)然，EUV這樣的光刻機主要用于先進工藝，所以全球有需求也有能力購買EUV光刻機的芯片制造商也不多，ASML CEO日前在采訪中提到他們在全球有5家EUV光刻機客戶。

雖然沒有提到具體的名單，但是臺積電、三星、Intel這三家是沒跑的，他們的邏輯工藝現(xiàn)在都是要用到EUV光刻機的。

還有2家應(yīng)該是內(nèi)存芯片廠商了，三星這部分已經(jīng)在14nm DRAM內(nèi)存上使用EUV光刻了，SK海力士也跟進了，美光之前的表態(tài)相對保守一些，但遲早也會上EUV光刻機來生產(chǎn)內(nèi)存芯片。

雖然只有5家客戶，但是最近幾年對EUV光刻機的需求提升很快，ASML預(yù)計今年會出貨60臺EUV光刻機，而DUV光刻機達到375臺，數(shù)量依然遠高于EUV。

畢竟EUV光刻機售價昂貴，單價在1.5到2億美元，人民幣超過10億元。