電容式傳感器是指把被測的非電量如位移、壓力等轉(zhuǎn)換為電容量變化的傳感器，它本身就是一種可變電容器。電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單、分辨力高、可非接觸測量并能在高溫、輻射和強(qiáng)烈震動等惡劣條件下工作。重要的部分就是具有可變參數(shù)的電容器。其常用的形式是由兩個平行電極組成、極間以空氣為介質(zhì)的電容器。由于這種傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單，體積小，動態(tài)響應(yīng)好，靈敏度高，分辨率高，能實現(xiàn)非接觸測量等特點，因而被廣泛應(yīng)用于位移、加速度、振動、壓力、壓差、液位、等分含量等檢測領(lǐng)域。

電容式傳感器工作原理介紹：

電容式傳感器的工作原理是基于傳感器兩個電極的間距、相對尺寸變化以及兩個電極間介質(zhì)變化而產(chǎn)生的電容量變化。

從而影響電容量變化的主要有如下三個要素:

電極間的距離(d)

電極的尺寸(A)

電極間介質(zhì)的介電常數(shù)(εr)

這樣,當(dāng)被測量εr、A或d發(fā)生變化時,都會引起電容量的變化。如果保持

其中的兩個參數(shù)不變,而僅改變另一個參數(shù),就可把該參數(shù)的變化變換為電容量的變化。

那么,根據(jù)其改變參數(shù)的不同,可將電容式傳感器分如下三種:

改變極板距離(d)的變極距型電容式傳感器

改變極板遮蓋面積(A)的變面積型電容式傳感器

改變電介質(zhì)介電常數(shù)(εr)的變介質(zhì)型電容式傳感器

目前市場上包括進(jìn)口品牌產(chǎn)品和國產(chǎn)品牌產(chǎn)品在內(nèi),均是屬于變介質(zhì)型電容式傳感器產(chǎn)品。

每個電容式傳感器的感應(yīng)元件是由一個傳感器電極和一個屏蔽層電極組成的。這兩個同軸金屬電極共同組成一個電容器。當(dāng)被測物體(金屬材質(zhì)或非金屬材質(zhì))接近傳感器表面時,它同時進(jìn)入了由這兩個電極構(gòu)成的電場,從而使這個電容器的電容量發(fā)生變化(△C)。這樣,當(dāng)被測物體接近時,RC振蕩器電路產(chǎn)生的振幅會由比較器電路檢測到,并且通過輸出級電路形成輸出信號。由于其特殊的工作原理,電容式傳感器可實現(xiàn)非接觸的,獨立的和無磨損的檢測。并且對于導(dǎo)電材料和非導(dǎo)電材料均可實現(xiàn)可靠檢測。因此,電容式傳感器可以適用于某些電感式傳感器無法檢測的應(yīng)用場合。電容式傳感器典型的應(yīng)用是距離和位置的測量,可以實現(xiàn)諸如:彎曲強(qiáng)度、厚度、液位、料位、偏心度、同心度、形變、磨損和震動等物理量類型的檢測。

1.良好的溫度穩(wěn)定性

電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，只取決于電極的幾何尺寸，空氣等介質(zhì)的損耗很小。因此，只要考慮到強(qiáng)度、溫度系數(shù)等機(jī)械特性，就可以合理選擇材料和結(jié)構(gòu)尺寸，其他因素(因為它們的熱量很小)的影響很小。電阻式傳感器具有電阻，供電后產(chǎn)生熱量;電感傳感器有銅損失、磁游泳和渦流損失，導(dǎo)致自身發(fā)熱和零漂移。

2.結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強(qiáng)

電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造，易于保證高精度，能在高溫、低溫、強(qiáng)輻射、強(qiáng)磁場等惡劣環(huán)境條件下工作，適應(yīng)性強(qiáng)。特別是，它能承受較大的溫度變化。它可以在高壓、高沖擊和過載條件下正常工作。它可以測量高壓和低壓差，也可以測量磁性工件。此外，傳感器可以很小，以實現(xiàn)特殊要求的測量。

3.動態(tài)反應(yīng)良好

除了電容傳感器的高固有頻率外，即動態(tài)響應(yīng)時間非常短，系統(tǒng)工作頻率高，因為其介質(zhì)損耗小，可以使用更高的頻率供電。它可以用來測量高速變化的參數(shù)，如振動、瞬時壓力等。

4.可以實現(xiàn)具有平均效應(yīng)的非接觸瀏覽量

當(dāng)不允許接觸測量時，電容傳感器可以完成測量任務(wù)。當(dāng)采用非接觸式測量時，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以降低工件表面粗糙度對測量的影響。

除上述優(yōu)點外，電容式傳感器還可以測量非常低的壓力、力和非常小的加速度和位移，因為電極板之間的靜電引力非常小，所需的輸入力和輸入能量非常小。它可以非常靈敏，分辨率高，敏感值為0.1um，甚至更小的位移;由于空氣和其他介質(zhì)的損失很小，當(dāng)使用差異結(jié)構(gòu)并連接到橋上時，殘留值很小，因此允許高倍率放大電路，使儀器具有高靈敏度。