8月11日，以“協(xié)力同芯搶機(jī)遇，集成創(chuàng)新造設(shè)備”為主題的第十一屆（2023年）中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇（CSEAC）在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心圓滿閉幕。為期3天的CSEAC，通過展覽展示會(huì)，論壇、新品發(fā)布等形式全面呈現(xiàn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)在設(shè)備、核心部件、關(guān)鍵材料等方面取得的發(fā)展成果及產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)的創(chuàng)新探索。作為電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者，東方晶源受主辦方邀請(qǐng)亮相此次大會(huì)，在半導(dǎo)體制造技術(shù)與設(shè)備材料董事長(zhǎng)論壇、制造工藝與半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動(dòng)發(fā)展論壇進(jìn)行兩場(chǎng)重磅的主題演講，分享并探討了相關(guān)前沿技術(shù)與趨勢(shì)，受到參會(huì)者的高度關(guān)注并引發(fā)熱烈反響。

半導(dǎo)體制造技術(shù)與設(shè)備材料董事長(zhǎng)論壇

在圓桌對(duì)話環(huán)節(jié)，東方晶源董事長(zhǎng)俞宗強(qiáng)博士與中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官尹志堯博士、拓荊科技股份有限公司董事長(zhǎng)呂光泉博士等國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)負(fù)責(zé)人同臺(tái)，圍繞技術(shù)創(chuàng)新以及如何做好行業(yè)的協(xié)同發(fā)展進(jìn)行交流和探討。

談及企業(yè)如何面對(duì)行業(yè)周期性的波動(dòng)時(shí)，俞宗強(qiáng)表示：“半導(dǎo)體行業(yè)周期非常強(qiáng)，現(xiàn)在加上地緣政治就更復(fù)雜了，很多不可預(yù)計(jì)的事件都會(huì)發(fā)生，我總結(jié)就是以不變應(yīng)萬(wàn)變，練好內(nèi)功。另外就是把今天的事做好，也準(zhǔn)備做明天的事，再關(guān)注后天會(huì)發(fā)生什么，以不變應(yīng)對(duì)萬(wàn)變。”

行業(yè)的發(fā)展和變革是永恒的話題，隨后圓桌論壇的領(lǐng)導(dǎo)們圍繞各自領(lǐng)域面臨著的挑戰(zhàn)和機(jī)遇展開交流?！笆紫扔行┛蔀橛行┎豢蔀椋豢赡苁裁炊甲?，東方晶源成立十年來(lái)一直只做一件事——怎么樣把現(xiàn)有集成電路制造的良率提升，我們也是沿著這條主線在往前發(fā)展”，俞宗強(qiáng)的回答解決了很多人的疑問：為何東方晶源既有電子束檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備，又有EDA相關(guān)產(chǎn)品。

在演講環(huán)節(jié)，俞宗強(qiáng)通過《后摩爾時(shí)代的挑戰(zhàn)及人工智能的機(jī)遇——芯片制造從藝術(shù)到科學(xué)到智能》主題演講，深度解析了引領(lǐng)企業(yè)發(fā)展的HPOTM（Holistic Process Optimization）良率最大化技術(shù)路線和產(chǎn)品設(shè)計(jì)理念，鏈接硬件和軟件的底層核心技術(shù)以及目前在實(shí)踐方面的成果。通過他的演講，大家感受到集成電路“智造”時(shí)代的到來(lái)，引人深思。

制造工藝與半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動(dòng)發(fā)展論壇

在制造工藝與半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動(dòng)發(fā)展論壇上，東方晶源創(chuàng)新技術(shù)研究院院長(zhǎng)孫偉強(qiáng)博士帶來(lái)題為《用于集成電路良率監(jiān)控的電子束檢測(cè)量測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化之路》的演講。短短的二十分鐘演講時(shí)間，孫偉強(qiáng)博士從電子束檢測(cè)量測(cè)設(shè)備發(fā)展趨勢(shì)、技術(shù)前沿、國(guó)產(chǎn)化攻關(guān)的三大關(guān)鍵點(diǎn)、以及東方晶源在CD-SEM、EBI、DR-SEM三大電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)進(jìn)行分享，展現(xiàn)出東方晶源作為國(guó)內(nèi)電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域領(lǐng)導(dǎo)者的技術(shù)實(shí)力和前瞻布局的領(lǐng)先性。

電子束檢測(cè)量測(cè)設(shè)備（包括電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備、關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備等）被用于對(duì)晶圓及集成電路的物理缺陷、電性缺陷檢測(cè)及關(guān)鍵圖形的尺寸量測(cè)，是集成電路制造中不可或缺的良率監(jiān)控手段，但長(zhǎng)期以來(lái)市場(chǎng)都被國(guó)外廠商所壟斷。為解決此類設(shè)備國(guó)產(chǎn)化空白，東方晶源通過近十年的自主研發(fā)，突破了高分辨率大視場(chǎng)掃描成像、三維高精度定位補(bǔ)償、智能化缺陷檢測(cè)和分類等技術(shù)難點(diǎn)，研發(fā)出國(guó)產(chǎn)化電子束檢測(cè)設(shè)備并應(yīng)用于集成電路產(chǎn)線，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，為推動(dòng)我國(guó)集成電路領(lǐng)域檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展起到了重要作用。

半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)起著支撐的重要作用，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上市場(chǎng)空間最廣闊、戰(zhàn)略價(jià)值最重要的一環(huán)。未來(lái)，東方晶源將在電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域繼續(xù)深耕，擴(kuò)大領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，解決更多產(chǎn)業(yè)相關(guān)難題。同時(shí)，通過打通設(shè)計(jì)與制造環(huán)節(jié)，為集成電路制造良率管理提供全新的解決方案，為推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)“晶源”力量！