荷蘭通過 ASML 許可證,年底之前將繼續(xù)出口中國
今年 6 月的時候,荷蘭政府正式宣布了針對先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備出口的新規(guī),即相關(guān)企業(yè)(ASML)在出口先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備之前必須獲得政府的許可證,否則將被禁止。該規(guī)定已于上周五(9 月 1 日)生效,但近日荷蘭政府通過了 ASML 的許可證,即年底之前 ASML 的先進(jìn)浸沒式深紫外光刻設(shè)備 (DUV) 將繼續(xù)出口中國。
ASML 的發(fā)言人表示,出口限制確實從 9 月份開始實施,但該公司已獲得在今年年底之前向中國運送受限制芯片制造機(jī)器的許可。這表明年底之前的這段時間是一個緩沖期,預(yù)計從明年開始將不會起獲得出口三款先進(jìn)浸沒式深紫外光刻設(shè)備 (DUV) 型號的出口許可證。
也就是說,在新的出口管制條例下,今年年底前ASML仍然能夠履行與客戶簽訂的合同,之后就大概率不被允許了。但 ASML 表示出口管制條例不會對其 2023 年財務(wù)展望或長期展望產(chǎn)生實質(zhì)性影響。
據(jù)悉,當(dāng)時的出口新規(guī)只涉及部分最新的 DUV(深紫外)型號,包括 TWINSCAN NXT:2000i 以及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng),EUV(極紫外)光刻系統(tǒng)在此前就已經(jīng)受到限制,而其他系統(tǒng)的發(fā)運未受荷蘭政府管控。
根據(jù) ASML 官網(wǎng)顯示,其浸潤式 DUV 光刻系統(tǒng)包括NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i 和 TWINSCAN NXT:2050i 三款設(shè)備。它們能夠進(jìn)行 38nm-45nm 制程工藝的晶圓加工,這其中 2000i 和 2050i 兩款是出口限制新規(guī)中點名的設(shè)備產(chǎn)品。
此外,能夠進(jìn)行 45nm 以上晶圓加工的,比如 65nm-220nm 制程的干式 DUV 光刻設(shè)備(TWINSCAN XT:400L、XT:1460K、NXT:870等型號)均不在荷蘭政府的出口管制清單之內(nèi)。
ASML 執(zhí)行副總裁兼首席商務(wù)官 Christophe·Fouquet 在接受采訪時表示,全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈當(dāng)中,任何單一國家想要與別人分開是極其困難和需要巨大成本的。
美國從去年開始,在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)嵤┝艘幌盗袑θA出口管制措施,然而并未達(dá)到其預(yù)期效果。隨后美國開始游說拉攏荷蘭日本等幾個重度參與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的國家來加強其措施。
今年第二季度,日本正式出臺半導(dǎo)體出口管制措施,包含半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的光刻、刻蝕、熱處理、清洗、檢測等 6 大類 23 種半導(dǎo)體制造設(shè)備/材料,清單中受管制物品在向中國大陸和俄羅斯等地區(qū)出口時,需要獲得日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的許可證。