全新推出的PE2O8碳化硅外延機臺是對行業(yè)領(lǐng)先的ASM單晶片碳化硅外延機臺產(chǎn)品組合（包含適用于6英寸晶圓的 PE1O6 和適用于8英寸晶圓的 PE1O8）的進一步增強。該機臺采用獨立雙腔設計，兼容6英寸和8英寸晶圓，可實現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時，降低成本。

2024年10月16至18日，ASM先晶半導體亮相于深圳舉辦的首屆灣芯展（SEMiBAY 2024）。在國際化合物半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇上，ASM推出了最新推出的適用于碳化硅外延的新型雙腔機臺PE2O8。該產(chǎn)品專為滿足先進碳化硅功率器件的制造需求而設計，是一款擁有低缺陷率和高工藝一致性的標桿性外延機臺，可廣泛應用于各類碳化硅器件的制造，在實現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時，降低擁有成本。

ASM PE2O8碳化硅外延機臺

隨著電氣化趨勢的不斷演進，越來越多的功率器件制造商選擇將碳化硅應用于需求與日俱增的大功率器件中，這其中就包括電動汽車、綠色能源和先進數(shù)據(jù)中心等產(chǎn)業(yè)。同時，越來越多的產(chǎn)業(yè)也對于碳化硅器件的應用提出了低成本的要求，促使碳化硅晶圓從 6英寸到 8英寸的升級進一步加快。此外，受益于當下更為先進的碳化硅外延技術(shù)，碳化硅設備制造商設計更大功率器件的能力也得到了增強。

得益于其獨特的雙腔設計，PE2O8機臺可以通過尤為精確的控制方式沉積碳化硅，實現(xiàn)了更高產(chǎn)量和吞吐量。其高度緊湊的獨立雙腔設計也有效保障了高生產(chǎn)率和低運行成本。此外，PE2O8機臺還采用了更為簡便的預防性維護措施，有助于延長設備正常運行時間，減少計劃外停機時間。目前，ASM已向全球多家行業(yè)領(lǐng)先的碳化硅功率器件制造商交付了PE2O8機臺。

ASM公司副總裁兼等離子體和外延業(yè)務部門負責人Steven Reiter表示：“碳化硅功率產(chǎn)品正經(jīng)歷著一場關(guān)鍵的技術(shù)轉(zhuǎn)折期。客戶逐漸從6英寸晶圓向8 英寸過渡，這一過程勢必會對良率、外延工藝，以及產(chǎn)品缺陷控制等方面提出更高的要求。憑借著新穎的腔室設計，ASM已成為了碳化硅領(lǐng)域工藝一致性的行業(yè)標桿。而隨著此次PE2O8機臺的推出，我們的相關(guān)產(chǎn)品組合也得到了進一步升級，能夠以更低的擁有成本改善工藝控制，客戶創(chuàng)造更高的價值?！?

自 2022 年以來，ASM 一直在通過公司全新規(guī)劃的碳化硅外延產(chǎn)品部門開發(fā)和完善單晶片碳化硅外延設備。伴隨著電動汽車市場結(jié)構(gòu)性需求的增長，以及碳化硅晶圓和器件良率的不斷提高，碳化硅外延設備市場已于近年來實現(xiàn)了大幅增長。