2月26日消息，ASML Twinscan EXE:5000 EUV是當(dāng)今世界上最先進(jìn)的EUV極紫外光刻機(jī)，支持High-NA也就是高孔徑，Intel去年搶先拿下了第一臺，目前已經(jīng)在俄勒岡州Fab D1晶圓廠安裝部署了兩臺，正在緊張地研究測試中。

Intel資深首席工程師Steve Carson透露，迄今為止，兩臺EUV光刻機(jī)已經(jīng)生產(chǎn)了3萬塊晶圓，當(dāng)然不算很多，但別忘了這只是測試和研究使用的，并非商用量產(chǎn)，足以證明Intel對于新光刻機(jī)是多么的重視。

Steve Carson還強(qiáng)調(diào)，完成同樣的工作，新款光刻機(jī)可以將曝光次數(shù)從3次減少到只需1次，處理步驟也從40多個(gè)減少到不足10個(gè)，從而大大節(jié)省時(shí)間和成本。

Intel曾透露，新光刻機(jī)的可靠性是上代的大約兩倍，但沒有透露具體數(shù)據(jù)。

ASML EXE:5000光刻機(jī)單次曝光的分辨率可以做到8nm，比前代Low-NA光刻機(jī)的13.5nm提升了多達(dá)40%，晶體管密度也提高了2.9倍。

當(dāng)然，Low-AN光刻機(jī)也能做到8nm的分辨率，但需要兩次曝光，無論時(shí)間、成本還是良品率都不夠劃算。

全速率量產(chǎn)的情況下，ASML EXE:5000光刻機(jī)每小時(shí)可生產(chǎn)400-500塊晶圓，而現(xiàn)在只有200塊，效率提升100-150%之多。