陶瓷濕度傳感器由金屬氧化物陶瓷構(gòu)成，分離子型和電子型兩類。

離子型濕敏元件是由絕緣材料制成的多孔陶瓷元件。由于水分子在微孔中的物理吸附作用，在濕空氣中呈現(xiàn)H+，使元件的電導(dǎo)率增加，主要成分分兩種 α-Fe2O3及K2CO3和ZnO.V2O5.LI2O。

陶瓷濕度傳感器在低濕段電阻隨濕度阻值變化較大，在40%-80%RH范圍內(nèi)，線性度比較好，高濕段則變化過小，可見陶瓷濕度傳感器在常濕狀態(tài)下具有較好的特性曲線，而在高濕段，低濕段曲線發(fā)生畸變，非線性比較明顯。陶瓷濕敏元件德感濕特性還受到溫度變化的影響，溫度補償對測量精度是重要的。

電子型濕度傳感器主要有氧化鋁、一氧化鎂合成陶瓷濕度傳感器元件電導(dǎo)率的增加和減少，利用分子在氧化物表面上的化學(xué)吸附作用而成，N型半導(dǎo)體，P型半導(dǎo)體氧化物反應(yīng)出正濕度特性和負濕度特性。

氧化鋁和一氧化鎂濕度傳感器，在700℃以下溫度下可以進行濕度測量而比較穩(wěn)定。但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，需要加熱光柵加熱至700℃，耗電大使用條件苛刻，價格昂貴，還要防止空氣流速變動所引的特性改變，不易在工業(yè)領(lǐng)域普及使用。

陶瓷濕度傳感器是近年來大力發(fā)展的一種新型傳感器。優(yōu)點在于濕度滯后，響應(yīng)速度快，體積小，便于批量生產(chǎn)，但由于多孔型材質(zhì)，對塵埃影響很大，日常維護頻繁，時常需要電加熱加以清洗易影響產(chǎn)品質(zhì)量，易受濕度影響，在低濕高溫環(huán)境下線性度差，特別是使用壽命短，長期可靠性差，是此類濕度傳感器迫切解決的問題。