I．介紹

需要大面積光電探測器陣列的應用通常使用基于無定形光電探測器（即無定型硅或無定型硒）的固體靜態(tài)探測器，使設備的電子性能受到限制。最近幾年來，這類傳感器已在各種X射線應用中得到了廣泛使用，如乳房X線照相術（mammography）、牙科X射線成像及通用放射線應用等。探測器陣列上部粘著的閃爍器將X射線轉換成可視光線，此可視光線可被探測器陣列感知并讀出。許多公司使用的高端X射線設備系統(tǒng)都以此類傳感器為基礎。雖然實踐證明無定型傳感器能夠產(chǎn)生高質量圖像，但傳感器的性能仍受像素[1]和[2]讀噪聲的制約。無源像素的使用是產(chǎn)生這種制約的主要原因，但對于大面積陣列無定形硅處理技術來說，使用無源像素是為數(shù)不多的選擇之一。本文對使用有源像素、標準及商業(yè)0.35μm CMOS技術的8″晶圓級CMOS圖像傳感器的架構和性能進行了論述。這種傳感器最近已作為通用X射線應用的原型技術而得到開發(fā)，其噪聲水平與現(xiàn)行無定形陣列設備的工業(yè)標準相比約低一個數(shù)量級。本文論述的技術通過拼接方法提供了一種靈活的解決方案，其分辨率上限約為每40 x 40μm面積 4200 x 3384像素，所對應設備尺寸約為13.4x13.5 cm2。上述設備較??；3360x3348像素，直徑為168mm。動態(tài)范圍大于80dB，電能消耗為210mW，電壓3.3V。傳感器為三邊可對接（buttable），允許2 x 2或2 x 3片化。全幅幀速率為8口模擬輸出10fps，在外部真相關雙取樣（CDS）的情況下為5fps。

II．傳感器架構

圖1為XXL圖像傳感器的架構。這種傳感器基本上由8個片化小型圖像傳感器次陣列組成，每一次陣列擁有一個420 x 3348像素陣列。每一次陣列與其相鄰次陣列間都有電子連接，但都可獨立于其相鄰次陣列進行操作。利用這種方法，晶圓級測試在無需全畫幅探針卡的情況下即可進行。一個次陣列包括x和y讀出、控制邏輯、模擬偏差以及輸出信道等。傳感器只擁有模擬輸出。芯片不包含ADC，取窗和二次取樣可通過外部控制完成。模擬偏差位于外部，通過調整偏差值可以改變功率消耗與帶寬的比值。在預設210mW、3.3V的電源供應下每秒產(chǎn)生10個全畫幅。

圖1. XXL傳感器架構及晶圓圖

III．像素架構

XXL傳感器使用的像素架構以傳統(tǒng)的3T有源像素架構為基礎。其他使用不同架構的像素也曾被納入考慮范圍，但都因潛在的良品率（yield）問題，或因所選技術不能提供合適的架構而未能入選。在產(chǎn)品開發(fā)中還采取了特別方法保護光電二級管不受X射線幅射的損害。這些方法的主要特點在于對由幅射損害引起的場漏進行控制。像素大小為40 x 40μm2，在所需讀出電子元件旁還含有若干偽金屬圖形以滿足代工生產(chǎn)（foundry）的“最小金屬密度”要求。

圖2.　XXL傳感器像素布局和架構

由于以3T架構為基礎，像素不支持片上真相關雙取樣以減少KTC噪聲的功能。但是傳感器允許通過使用恰當?shù)淖x出序列完成離片CDS的實施：復位后不久即讀出幀數(shù)據(jù)，在X射線曝光前曝光并讀出第二幅幀數(shù)據(jù)。

圖3. 傳感器讀出序列，用以完成離片CDS

IV．使用X射線照明的分析技術

XXL CMOS傳感器也可使用X射線照明進行分析。為了達到這個目的，開發(fā)者在硅片上安裝了CsI閃爍器。下列電子參數(shù)在X射線劑量達到175krad后又被重新評估。

放射線劑量達到175krad后，暗電流水平增加。可觀察到電流增加14x，進而導致在30℃條件下暗電流水平＞100ke/秒。在總讀出時間為200ms（離片CDS）的條件下，這就意味著每獲取一幀的暗電流為20ke或40mV。值得注意的是，這一測量是在持續(xù)X射線照射后進行的，在一段恢復時間過后，測量結果又有很大改善（三天后減少20%）。

此外，我們還利用人像幻影拍攝了照片，下圖即為一例。很顯然，這一過程中的MTF（模傳函數(shù)）由閃爍器照射到硅片上的光線的耦合質量決定，因此使用正確連接在硅片上的閃爍器有望使MTF得到改善。

圖4.　使用簡化版XXL傳感器拍攝的人類手腕照片。可以看出圖像上存在一處壞列（bad column）。

V.　拼接

晶圓級2D拼接布局是XXL傳感器的設計與制造面臨的主要挑戰(zhàn)之一，如圖5所示。共有四個主要區(qū)塊：

R：垂直刻線和密封圈

C：角落刻線和密封圈

Pix：420 x 414像素陣列

Sens：讀出傳感器＋水平刻線

刻線　                                                              晶圓

圖5.　XXL傳感器拼接

邊緣小區(qū)R和C為完全對稱：它們包含有所需的傳感器左邊緣和右邊緣。Sens小區(qū)也是如此：圖中所示為設計的上部和下部。

表1.　區(qū)塊維度

傳感器的總分辨率為：x方向8＊420＝3360，y方向8＊413＋44＝3348。傳感器尺寸約為135 x 101 mm2，對角長度為168mm?？蓱糜谛酒淖钚鞲衅鞯姆直媛蕿?20 x 457像素，而適用于晶圓的最大傳感器分辨率為4200 x 3348像素（SENS區(qū)塊在x方向上10次重復）。也可進行其他設置，如：傳感器可包括一組PIX區(qū)塊2 x 2陣列。在這種情況下，傳感器將擁有840×870像素的分辨率，一片8″晶圓可容納9部這一類型的傳感器。在制造過程中對次陣列進行拼接時，含有上述區(qū)塊的不同大小/陣列重復的晶圓將接受加工。

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