并行測(cè)試是一種提高產(chǎn)量的常勝方法，而異步并行測(cè)試一直被認(rèn)為是一種能顯著改進(jìn)生產(chǎn)能力，同時(shí)最大限度的使用現(xiàn)有測(cè)試硬件的一種有效方式(參考文獻(xiàn) 1)，新穎之處在于將并行技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試。

Keithley Instruments 率先提出了同步并行測(cè)試能力的概念，并出版了一本書(在第 22 頁(yè)有此問(wèn)題的評(píng)論)，該書討論了并行參數(shù)測(cè)試的優(yōu)點(diǎn)，提出了關(guān)于如何將該技術(shù)應(yīng)用于傳統(tǒng)設(shè)備的提示，并說(shuō)明了如何設(shè)計(jì)新的測(cè)試結(jié)構(gòu)，以充分利用并行測(cè)試能力的優(yōu)勢(shì)。

Keithley 在去年12月發(fā)布了 KTE 交互測(cè)試環(huán)境軟件的 5.2 版，用于該公司 S600 系列參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)。KTE V5.2帶有一個(gè)名為PT_Execute的例程，可以對(duì)并行測(cè)試與順序測(cè)試作快速評(píng)估。該公司亦增加了一個(gè)名為 FMI(強(qiáng)制測(cè)量互鎖)的功能，它采用固件和軟件降低并行測(cè)試應(yīng)用中的串?dāng)_、噪聲和測(cè)量可變性。

現(xiàn)在，Agilent 科技也高調(diào)入場(chǎng)了，它在今年4 月推出的 4080 系列參數(shù)測(cè)試平臺(tái)上引入了異步并行參數(shù)測(cè)試能力。新系統(tǒng)采用 Agilent 稱之為 SPECS(半導(dǎo)體工藝評(píng)估核心軟件)的測(cè)試殼用以支持同步和異步并行測(cè)試。

據(jù) Agilent 的 Hachioji 半導(dǎo)體測(cè)試部市場(chǎng)經(jīng)理 Alan Wadsworth 說(shuō)，4080 參數(shù)測(cè)試平臺(tái)專為那些使用先進(jìn)工藝的晶圓代工廠而設(shè)計(jì)，包括擴(kuò)展至 45nm 以下的廠家，那些工程師們需要大量數(shù)據(jù)來(lái)應(yīng)對(duì)各種問(wèn)題，如線寬的變化。除了系統(tǒng)并行測(cè)試能力以外，Wadsworth提到4080系列擁有一個(gè)比其前身4070系列強(qiáng)大得多的 CPU，他說(shuō)，光這個(gè)新 CPU 就能把傳統(tǒng)順序測(cè)試程序的工作量提升 10% ~ 20%。

但是，真正的優(yōu)勢(shì)來(lái)自于完全使用4080系列異步并行測(cè)試能力的開(kāi)發(fā)程序。Wadsworth稱，異步并行測(cè)試時(shí)間可以比傳統(tǒng)順序測(cè)試方法減少50%。他補(bǔ)充說(shuō)，異步模式的目標(biāo)是擠壓出同步并行測(cè)試方案中留出的某些無(wú)用測(cè)量時(shí)間(如圖)。

4080有三種型號(hào)：4082A完成通用參數(shù)測(cè)試;4082F面向NAND/NOR器件的閃存單元參數(shù)測(cè)試;而 4083A則帶有一個(gè)20GHz 8x10 RF陣列，一次可測(cè)量多達(dá)五個(gè)RF結(jié)構(gòu)。