熱式氣體質(zhì)量流量計采用恒溫差法對氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測量準(zhǔn)確等優(yōu)點。

熱式氣體質(zhì)量流量計的傳感器部分由兩個基準(zhǔn)級鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環(huán)路，一個傳感器測量流量溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進(jìn)行流量測量。

熱式氣體質(zhì)量流量計具有如下技術(shù)優(yōu)勢：

A、對氣體流量測量無需溫度和壓力補(bǔ)償；測量方便、準(zhǔn)確；可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量；

B、寬量程比：可測量流速100Nm/s——0.5Nm/s的氣體；

C、抗震性能好、使用壽命長；傳感器無活動部件和壓力傳感部件，不受震動對測量精度的影響；

D、安裝維修簡便，在現(xiàn)場條件允許的情況下，可以實現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)；

E、數(shù)字化設(shè)計，整體數(shù)字化電路測量，測量準(zhǔn)確、維修方便。