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[導(dǎo)讀]2602型雙通道系統(tǒng)源表[1]并行I-V測(cè)試[2]系統(tǒng)――適用于復(fù)雜器件的多個(gè)DUT測(cè)試或多通道測(cè)試的系統(tǒng)。對(duì)此類(lèi)DUT的測(cè)試,速度取決于儀器、應(yīng)用程序以及在施加激勵(lì)源后DUT達(dá)到穩(wěn)定響應(yīng)時(shí)所需的時(shí)間(過(guò)早的測(cè)量將產(chǎn)生錯(cuò)誤

2602型雙通道系統(tǒng)源表[1]

并行I-V測(cè)試[2]系統(tǒng)――適用于復(fù)雜器件的多個(gè)DUT測(cè)試或多通道測(cè)試的系統(tǒng)。對(duì)此類(lèi)DUT的測(cè)試,速度取決于儀器、應(yīng)用程序以及在施加激勵(lì)源后DUT達(dá)到穩(wěn)定響應(yīng)時(shí)所需的時(shí)間(過(guò)早的測(cè)量將產(chǎn)生錯(cuò)誤結(jié)果)。在現(xiàn)有的并行測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì)中碰到的限制包括順序多通道源[3]-測(cè)量設(shè)計(jì)而不是同步的多通道源-測(cè)量、有限的電壓或電流量程、靈活性不夠、體積龐大以及高成本等(因?yàn)檫@些系統(tǒng)可能過(guò)度重視從基礎(chǔ)設(shè)計(jì)開(kāi)始、儀表的靈敏度、或較高程度地為用戶(hù)定制設(shè)計(jì))。

可隨意組合的多通道系統(tǒng)[4]――不同于其它兩種結(jié)構(gòu),它通常包括多種儀器來(lái)測(cè)試復(fù)雜的器件。兩種最常見(jiàn)的可隨意組合的多通道系統(tǒng)為(a)集成的功能測(cè)試機(jī)臺(tái)和(b)采用開(kāi)放式API(應(yīng)用程序接口)架構(gòu)儀器構(gòu)建的I-V測(cè)試系統(tǒng)。

開(kāi)放式API接口是指采用模塊化結(jié)構(gòu)的儀器產(chǎn)品,非常方便構(gòu)建定制的測(cè)試系統(tǒng)方案;與半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試機(jī)臺(tái)不同,它是一個(gè)完全預(yù)先裝配好的完整系統(tǒng)。在這兩種結(jié)構(gòu)中,SMU通常都是核心部件,當(dāng)然也可能包含其他設(shè)備,如信號(hào)發(fā)生器、示波器、頻譜分析儀[5]、程控開(kāi)關(guān)等。

當(dāng)SMU作為參數(shù)測(cè)試機(jī)臺(tái)或其它成套測(cè)試系統(tǒng)的內(nèi)部模塊時(shí),一般將寬帶儀器作為外部添加設(shè)備。不管是哪種情況,最理想的是實(shí)現(xiàn)儀器的無(wú)縫集成,以獲得多通道高速I(mǎi)-V測(cè)試解決方案。成套測(cè)試系統(tǒng)(交鑰匙工程)的優(yōu)勢(shì)在于,已經(jīng)為用戶(hù)進(jìn)行了許多的軟硬件集成,且仍能提供一定程度的靈活性;其缺點(diǎn)是成本相對(duì)較高。相反,開(kāi)放式API系統(tǒng)可獲得高度的靈活性,并且成本會(huì)更加低廉,當(dāng)然這與具體的應(yīng)用和儀器特性直接相關(guān)。

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