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[導讀] 與直流電流-電壓(I-V)和電容-電壓(C-V)測量一樣,超快I-V測量[1]能力對于特征分析實驗室中所有負責開發(fā)新材料、器件[2]或工藝的所有技術人員正變得越來越必要。進行超快I-V測量需要產生高速脈沖波形

與直流電流-電壓(I-V)和電容-電壓(C-V)測量一樣,超快I-V測量[1]能力對于特征分析實驗室中所有負責開發(fā)新材料、器件[2]或工藝的所有技術人員正變得越來越必要。進行超快I-V測量需要產生高速脈沖波形[3]并在待測器件發(fā)生松弛之前測量產生的信號。

高速I-V測試的早期實現(xiàn)方式(通常稱之為脈沖式I-V測試系統(tǒng))是針對諸如高k介質和絕緣體上硅(SOI)恒溫測試[4],或產生閃存器件特征分析所必需的短脈沖之類的應用而開發(fā)的。脈沖式I-V測量技術是十分必要的,這是因為當采用傳統(tǒng)直流I-V測試方法時,它們的絕緣襯底使得SOI器件保留了測試信號自身產生的熱量,使測得的特征參數(shù)發(fā)生偏移;而采用脈沖式測試信號能夠最大限度減少這種影響。

過去,高速脈沖/測量測試系統(tǒng)通常由脈沖發(fā)生器、多通道示波器[5]、互連硬件和負責集成并控制儀器的軟件構成。不幸的是,這些系統(tǒng)受延遲的影響,信號源和測量功能之間的協(xié)同非常復雜。根據(jù)儀器的質量及其集成的情況,這種方式在產生的脈沖寬度及其占空比方面還有局限性。即時不管這些局限性,這些早期脈沖式I-V測試系統(tǒng)的用戶已開始尋求將其用于各種其它特征分析任務,包括非易失性存儲器測試、超快NBTI[6]可靠性測試和很多其它應用。但是,由于這些系統(tǒng)動態(tài)量程有限,它們仍然保留了一些特殊的技術。
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