7月30日消息 中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱 “中微公司”）今日宣布推出 Prismo HiT3 MOCVD 設備，主要用于深紫外 LED 量產。

中微 Prismo 系列 MOCVD 設備目前已進入全球大多數(shù)領先的藍綠光 LED 制造商，獲悉，此次推出的 Prismo HiT3是中微 Prismo 系列 MOCVD 設備的最新產品。該設備是適用于高質量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關鍵設備，反應腔最高溫度可達 1400 度，具有優(yōu)異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產量而設計，單爐可生長 18 片 2 英寸外延晶片，并可延伸到生長 4 英寸晶片。

中微公司 Prismo HiT3 MOCVD 設備早期的客戶包括國內領先的深紫外 LED 制造商馬鞍山杰生半導體有限公司，該公司的深紫外 LED 在家用、醫(yī)療和科研設備等領域有廣泛應用。

深紫外光幾十年前就被應用于工業(yè)和民用消毒殺菌領域。它通過破壞細菌和病毒的 DNA 使其喪失繁殖能力來發(fā)揮作用。深紫外 LED 被用于不同波長的殺菌燈中，且與傳統(tǒng)的汞燈相比對環(huán)境無污染。類似 SARS、MERS 和新冠病毒的出現(xiàn)使得深紫外 LED 產品的需求激增，深紫外 LED 產品可以消滅這些新生微生物。波長 260-280nm 的 UVC 波段的深紫外光就是目前該領域最先進的技術解決方案（例如杰生半導體的深紫外 LED 產品）。

中微公司設計的 Prismo HiT3 MOCVD 設備具有新穎腔體設計，能在高溫環(huán)境下生長高質量氮化鋁工藝，并具有業(yè)內領先的深紫外 LED 高產出率；同時具備較長的平均免開腔維護間隔時間，進一步延長正常運行時間并提高產能。真空自動化傳輸系統(tǒng)可以抑制顆粒物的產生，并減少缺陷。自動化升降機構可方便維護操作并有效節(jié)省維護時間。

中微公司表示，“中微自主研發(fā)的 Prismo HiT3 MOCVD 設備延續(xù)了我們現(xiàn)有 Prismo 平臺已驗證的主要創(chuàng)新功能，并提升了可在高溫工藝環(huán)境下生長氮化鋁基材料的性能，使之拓展到深紫外 LED 的應用。”