盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司首席執(zhí)行官王暉博士介紹說(shuō),這臺(tái)設(shè)備作為量產(chǎn)設(shè)備,裝備了8個(gè)獨(dú)立的清洗腔,并運(yùn)用全球獨(dú)有的、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的SAPS兆聲波(空間交變相移技術(shù)),最大產(chǎn)出率可達(dá)到每小時(shí) 400片,為45納米和32納米節(jié)點(diǎn)硅片清洗提供了高效、零損傷的顆粒及污染去除方案。
當(dāng)今半導(dǎo)體清洗技術(shù)中的最大難題是對(duì)機(jī)械損傷和去除效率的控制。隨著半導(dǎo)體芯片體積的不斷縮小,影響硅片良率的粒子也越來(lái)越小,顆粒越小則越難清洗;同時(shí),45納米以下芯片的門(mén)電極與電容結(jié)構(gòu)越來(lái)越脆弱,在清洗中避免損傷芯片微結(jié)構(gòu)的難度也在不斷加大。
兆聲波技術(shù)能夠通過(guò)氣穴振蕩來(lái)推動(dòng)微顆粒離開(kāi)硅片表面,但技術(shù)難點(diǎn)在于如何控制兆聲波在硅片表面的能量。王暉博士介紹說(shuō),由盛美半導(dǎo)體自主研發(fā)的SAPS兆聲波技術(shù),利用空間交變相移原理可以對(duì)兆聲波的能量進(jìn)行精確控制,將12英寸硅片面內(nèi)兆聲波非均勻度控制在2%以內(nèi),一舉解決了困擾業(yè)界多年的棘手問(wèn)題。
舊金山, Oct. 20, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- 總部坐落在舊金山的科技公司Swift Navigation力圖重新定義面向汽車(chē)高級(jí)輔助駕駛系統(tǒng)(ADAS)和自動(dòng)駕駛、工業(yè)機(jī)器控制、商用交通,...
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