近期大陸半導(dǎo)體設(shè)備商包括北方微電子、上海微電子、盛美及中微半導(dǎo)體等大舉來臺搶單，盡管業(yè)者認(rèn)為大陸技術(shù)實(shí)力仍與歐美及日廠有一段距離，短期內(nèi)恐難打進(jìn)臺積電、聯(lián)電等客戶群，然隨著越來越多大陸半導(dǎo)體設(shè)備商來臺設(shè)立據(jù)點(diǎn)，并大舉來臺搶人兼搶單，相較之下，臺灣半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展遲緩，長期來看恐令人憂心。

半導(dǎo)體設(shè)備自主化是大陸打造上、中、下游一條鞭產(chǎn)業(yè)鏈重要環(huán)節(jié)，不僅大陸半導(dǎo)體設(shè)備商紛來臺設(shè)立據(jù)點(diǎn)，更大舉來臺搶人及搶單，像是北方微電子、上海微電子、盛美半導(dǎo)體等，以及多年前曾和應(yīng)用材料(Applied Materials)、科林研發(fā)(LAM Research)打過專利侵權(quán)官司的中微半導(dǎo)體。

半導(dǎo)體業(yè)者指出，過去除了中微曾傳出擠進(jìn)臺積電供應(yīng)商外，多數(shù)大陸設(shè)備業(yè)者因技術(shù)實(shí)力仍大幅落后歐美及日系設(shè)備大廠，短期內(nèi)恐難打入臺積電、聯(lián)電等客戶群，至于臺灣遲未能扶植自己的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，面對大陸設(shè)備業(yè)者積極搶單，長期來看將是一大隱憂。

半導(dǎo)體業(yè)者表示，大陸全力扶植半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)政策，鼓勵(lì)半導(dǎo)體廠采用大陸本土機(jī)臺設(shè)備，多數(shù)半導(dǎo)體廠會采購來做測試，但真正使用比重仍低，畢竟半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展技術(shù)及資金門檻高，以設(shè)備龍頭應(yīng)材為例，每年投入研發(fā)資金高達(dá)10億美元，相當(dāng)于臺灣全年的科技預(yù)算。

應(yīng)材亦認(rèn)為，大陸要培養(yǎng)設(shè)備產(chǎn)業(yè)門檻很高，包括要找對的團(tuán)隊(duì)及零組件廠配合，以及生產(chǎn)良率及品質(zhì)穩(wěn)定等，都有相當(dāng)高的門檻。另外，韓國三星電子(Samsung ElectronICs)全力拉拔韓國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，早已培養(yǎng)出韓國本土的設(shè)備聚落，盡管目前技術(shù)實(shí)力及在全球市占率仍落后應(yīng)材、東京威力科創(chuàng)(TEL)、科林研發(fā)等，但仍持續(xù)致力擴(kuò)大市場版圖。

臺灣在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中，雖擁有IC設(shè)計(jì)、封裝測試、晶圓代工、DRAM制造等完整供應(yīng)鏈，卻唯獨(dú)在機(jī)臺設(shè)備領(lǐng)域缺席，幾乎全數(shù)依賴歐美及日系機(jī)臺設(shè)備，除了在電子束技術(shù)獨(dú)霸全球的漢微科外，臺灣在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)著墨明顯不足。

半導(dǎo)體業(yè)者指出，臺灣沒有自己的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，主要系因臺灣晶圓代工廠和DRAM廠各自有獨(dú)特的發(fā)展軌跡，并沒有像韓國及大陸由單一集團(tuán)或政府扶植設(shè)備技術(shù)，早年臺積電和聯(lián)電茁壯過程，基于技術(shù)考量，主要與國際大廠合作。

另外，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)投資龐大，客戶每隔幾年就轉(zhuǎn)進(jìn)新制程世代，需要龐大研發(fā)資金，萬一投入鉅資研發(fā)但客戶不買單，恐將形成設(shè)備供應(yīng)商的惡夢。面對大陸拉抬半導(dǎo)體上、下游產(chǎn)業(yè)，透過團(tuán)體戰(zhàn)拉升實(shí)力，長期對于臺灣影響不容忽視。