9月10日，在亞洲最高規(guī)格的傳感器與物聯(lián)網行業(yè)盛會——2017中國(上海)國際傳感器技術與應用展覽會(簡稱“SENSOR CHINA”)的開幕式暨2017全球傳感器與物聯(lián)網產業(yè)峰會上，多位院士及眾多業(yè)界領袖濟濟一堂，中國科協(xié)副主席、中國科學院院士王曦，工信部原副部長楊學山，國家集成電路產業(yè)投資基金總經理、中國高端芯片聯(lián)盟理事長丁文武，工信部電子司副司長吳勝武，上?？茖W技術委員會主任壽子琪，上海市嘉定區(qū)委書記馬春雷共同啟動上海微技術 工業(yè)研究院“超越摩爾”研發(fā)中試線運營。自此，由上海微技術工業(yè)研究院(以下簡稱“工研院”)構建的國內首條，全球領先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式向業(yè)界發(fā)聲，在打造中國完整的“超越摩爾”產業(yè)鏈基礎上，旨在進一步推動中國“超越摩爾”技術和物聯(lián)網創(chuàng)新應用快速發(fā)展，引領全球。

圖1.工研院“超越摩爾” 8英寸研發(fā)中試線剪彩儀式

完善國內超越摩爾產業(yè)生態(tài)鏈布局， 8英寸研發(fā)中試線助攻創(chuàng)新研發(fā)

當前，以移動互聯(lián)網、物聯(lián)網、云計算、大數據、人工智能等為代表的信息技術正加速創(chuàng)新、融合和普及應用，一個萬物互聯(lián)智能化時代正在到來。其中，超越摩爾技術以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術，是未來實現萬物互聯(lián)的基礎性、決定性核心技術之一。

事實上，傳感器的市場應用已呈現爆發(fā)式增長態(tài)勢，產品種類豐富，多達上千，此前美國舉行的MEMS Bryzek預測MEMS芯片市場將在2023年達到1兆片(trillion)的市場規(guī)模，同時，中國智能傳感器市場也預計將于2019年達到960億元。

然而，縱觀我國超越摩爾領域現狀，雖經歷多年的理論研究與技術驗證，積累了大量寶貴的知識和經驗，但在真正放進產品進行實際應用時往往存在與生產平臺脫節(jié)的情況。這都是源于MEMS產品的研發(fā)所涉及的技術鏈條較長，且其“非標”特性使得它的研發(fā)與創(chuàng)新需要和產線有一段比較長的磨合期，不同于CMOS的標準工藝，可以說對產線“嚴重依賴”。而中試就是必經階段，是目前國內傳感器廠家共同面臨的挑戰(zhàn)，據統(tǒng)計，科技成果經過中試，產業(yè)化成功率可達80%，未經中試成功率僅有30%?；诖吮尘?，工研院立足擁有國內一流集成電路研發(fā)和產業(yè)基礎的上海，志在實施超越摩爾計劃，爭取在這一領域與國際領先水平并行。

落地上海嘉定工業(yè)區(qū)，近5,000平方米的高等級微納加工超凈廠房內，工研院與國際領先的晶圓廠密切合作構建的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線，不僅實現了從研發(fā)到量產的無縫銜接，更豐富完整了國內的超越摩爾生態(tài)鏈，是對標國際產業(yè)競爭的關鍵一環(huán)。

圖2. SITRI 8英寸研發(fā)中試線工藝能力布局圖

目前，在“超越摩爾”領域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產線，貫通從研發(fā)到量產全程服務的SITRI 8英寸線是公認的領先技術。據悉，8英寸研發(fā)中試線將專注于“超越摩爾”傳感器產品技術的開發(fā)，可以全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據“超越摩爾”產品和技術特點部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備。作為國內第一條先進8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔產品研發(fā)、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實現 “超越摩爾”產品和技術從研發(fā)到量產的無縫銜接。

工研院一體化功能平臺將加速“超越摩爾”領域的創(chuàng)新和產業(yè)化進程

圖3. SITRI致力于打造“超越摩爾”產業(yè)創(chuàng)新生態(tài)

以全球領先的“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線為支點，工研院試圖打造集研發(fā)、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務和解決方案：

在研發(fā)創(chuàng)新環(huán)節(jié)：工研院建立了全國首個成熟、完善的MEMS-IC軟件設計平臺、開發(fā)MEMS-ICIP核庫;近5,000平方米的先進“超越摩爾”研發(fā)8英寸研發(fā)中試線更將專注于新工藝、新材料及新器件的開發(fā)與整合;同時提供集成電路設計、系統(tǒng)集成及以及完整物聯(lián)網系統(tǒng)解決設計方案;

在中試制造環(huán)節(jié)：工研院建立全球領先8英寸MtM研發(fā)中試線、世界先進的工程測試分析平臺、MEMS/ASIC的晶圓測試、封裝測試等測試能力;提供完整的專利及器件分析、研究服務，并提供知識產權許可、保護及談判方面的專家級指導;

在產業(yè)整合領域：工研院將進一步推動例如汽車電子、智慧醫(yī)療、智能安防、智能家居、智能消費類產品等細分物聯(lián)網市場與傳感產業(yè)進行垂直產業(yè)鏈與橫向服務市場的整合，推進相關產業(yè)的快速發(fā)展;發(fā)起并參與例如中國傳感器與物聯(lián)網產業(yè)聯(lián)盟，“超越摩爾”產業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟等產業(yè)聯(lián)盟，更將推動 “超越摩爾”及物聯(lián)網產業(yè)的關鍵標準方面制定，并通過SENSOR CHINA等展會與系列活動提供全球范圍的市場支持;

構建全球創(chuàng)新網絡：工研院在美國硅谷、法國格勒諾布爾、臺灣新竹等地建立分支機構，在全球范圍內布局創(chuàng)新網絡;

投資基金與孵化加速器：由工研院、國家集成電路產業(yè)投資基金以及其他戰(zhàn)略投資人共同發(fā)起成立規(guī)模為50億元的“超越摩爾”產業(yè)基金，為創(chuàng)新企業(yè)提供關鍵的早期支持;并配套全球化創(chuàng)新網絡提供軟硬件結合的孵化服務。

總之，以8英寸線強勁的技術支持為依托，以投資基金和孵化加速器為支撐，工研院致力于“超越摩爾”領域和物聯(lián)網行業(yè)初創(chuàng)團隊的投資與孵化，讓產業(yè)資源和資金優(yōu)化配置，加快技術研發(fā)和企業(yè)孵化，在全球范圍內布局創(chuàng)新網絡，真正營造“超越摩爾”產業(yè)創(chuàng)新生態(tài)。