昨天，中國大陸12英寸半導體設備企業(yè)上海中微半導體設備有限公司(下稱“中微”)宣布，已再度融資4600萬美元。

　　此前的2004年、2006年、2008年，中微曾分別融資大約3000萬美元、3500萬美元、5000多萬美元。加上此次額度，總額達1.5億多美元。

　　中微市場部經理兼發(fā)言人朱雪雁對《第一財經日報》表示，此輪參與的投資機構仍主要是合作多年的伙伴。記者看到，本輪投資機構包括上海創(chuàng)投、美國華登國際、光速風投合伙人、高盛、紅點、全球催化劑合伙人、中西部合伙人、灣區(qū)合伙人以及美國高通。

　　中微董事長兼CEO尹志堯稱，外部環(huán)境曾經影響了中微，但公司安然度過危機，技術研發(fā)以及市場化更加迅速，第四輪資金為設備量產提供了保障。

　　華登國際董事長陳立武曾主導參與過中國至少10個投資項目。他說，經歷了外部環(huán)境變化的半導體制造企業(yè)，包括那些巨頭們，會更加關注在設備性能、成本上擁有優(yōu)勢的中微公司。

　　中微等離子刻蝕設備確實是全球半導體設備中的關鍵部分，全球僅3家企業(yè)能自主提供。因此，它也一直被稱為本土的“應用材料”。

　　尹志堯表示，截至目前，已有5家亞洲半導體生產企業(yè)引進了中微上述產品，包括代工廠與存儲器生產廠家，技術制程可延伸到32納米。2010年有望發(fā)貨更多。

　　現(xiàn)在幾乎所有的半導體制造巨頭都發(fā)布了2010年增加開支的計劃，其中多家增幅接近100%。而華力等新設的12英寸廠，也為中微提供了出貨機會。

　　上述多家投資機構已在中微身上堅持近6年，還沒獲得直接回報。國有色彩的上海創(chuàng)投總裁王品高談及投資加碼時表示，中微度過了金融危機、半導體產業(yè)衰退的雙重壓力，正好趕上產業(yè)復蘇，關鍵設備有望全面量產。 不過，截至目前，中微的第一項產品還處于試用期，這意味著，等待近6年的投資機構，想從中微身上獲得回報乃至成功退出，還得繼續(xù)等待。

　　此外，中微與美國應材公司之間的訴訟，雖然去年底達成和解。但據(jù)本報調查，中微最后償付了一筆錢。