微影設(shè)備大廠荷商艾司摩爾第2季財報符合市場預(yù)期，執(zhí)行長PeterWennink表示，行動裝置需求強(qiáng)勁，帶動晶圓代工廠及存儲器廠擴(kuò)大投資，其中晶圓代工廠已著手準(zhǔn)備20納米以下先進(jìn)制程產(chǎn)能，DRAM廠則擴(kuò)大MobileDRAM的擴(kuò)產(chǎn)，因此，下半年市場景氣將優(yōu)于上半年。

艾司摩爾（ASML）第2季因合并了微影光學(xué)廠Cymer，單季營收達(dá)11.87億歐元，并銷售了38臺微影設(shè)備，其中來自于晶圓代工廠的訂單占了43％強(qiáng)，又以臺積電的訂單最多。而艾司摩爾已接但未出貨（backlog）的微影設(shè)備訂單已達(dá)42臺，將在年底前陸續(xù)交貨給客戶。

艾司摩爾執(zhí)行長PeterWennink表示，晶圓代工廠客戶已經(jīng)著手進(jìn)行20納米至14納米以下先進(jìn)制程的微影設(shè)備建置，將用來生產(chǎn)新一代的行動裝置內(nèi)建處理器芯片，同樣受惠于行動裝置強(qiáng)勁需求的DRAM廠，因?yàn)槊媾R產(chǎn)能短缺問題，也已開始著手?jǐn)U充MobileDRAM產(chǎn)能。

艾司摩爾先前預(yù)估今年營收目標(biāo)約47.3億歐元，但受惠于客戶擴(kuò)大采購，營收目標(biāo)將上調(diào)到50億歐元。

艾司摩爾與英特爾、臺積電、三星等共同合作進(jìn)行的「客戶聯(lián)合投資專案」（CustomerCo-InvestmentProgram），主要投入極紫外光（EUV）及18寸晶圓微影設(shè)備的開發(fā)。

在EUV微影技術(shù)方面，艾司摩爾指出，研發(fā)進(jìn)度符合預(yù)期，光源功耗已提升到55Ｗ，并完成60W的測試，預(yù)估2014年可將EUV微影設(shè)備的每小時晶圓產(chǎn)出量，提升到70片速度，亦即光源功耗將提升到100W。而艾司摩爾預(yù)估今年將出貨5臺NXE：3300B的EUV微影設(shè)備，并已拿到11臺正式訂單及7臺預(yù)訂訂單。

根據(jù)臺積電共同營運(yùn)長蔣尚義的預(yù)期，EUV至少要達(dá)到每小時完成處理100片晶圓的產(chǎn)出量，才會具有經(jīng)濟(jì)效益，帶動半導(dǎo)體廠改用EUV微影技術(shù)。設(shè)備業(yè)者推估，時間點(diǎn)應(yīng)會落在2015年左右，10納米可能是EUV真正可以進(jìn)入量產(chǎn)的制程節(jié)點(diǎn)。

在18寸晶圓微影設(shè)備部份，艾司摩爾根據(jù)客戶聯(lián)合投資專案內(nèi)容，正在準(zhǔn)備生產(chǎn)6套設(shè)備，初期將分成浸潤式（immersion）及EUV等兩大平臺，其中2015年會先推出EUV微影平臺試產(chǎn)設(shè)備，2016年推出浸潤式平臺試產(chǎn)設(shè)備，真正量產(chǎn)型的18寸微影設(shè)備的出貨時間大約落在2018年。