www.久久久久|狼友网站av天堂|精品国产无码a片|一级av色欲av|91在线播放视频|亚洲无码主播在线|国产精品草久在线|明星AV网站在线|污污内射久久一区|婷婷综合视频网站

當(dāng)前位置：首頁(yè) > 模擬 > 模擬

薄化制程良率升級(jí) 2.5D矽中介層晶圓成本下探

時(shí)間：2013-04-09 11:58:21
關(guān)鍵字： 晶圓    晶片    微米    Silicon   
手機(jī)看文章

掃描二維碼
隨時(shí)隨地手機(jī)看文章

[導(dǎo)讀]2.5D矽中介層(Interposer)晶圓制造成本可望降低。半導(dǎo)體業(yè)界已研發(fā)出標(biāo)準(zhǔn)化的制程、設(shè)備及新型黏著劑，可確保矽中介層晶圓在薄化過(guò)程中不會(huì)發(fā)生厚度不一致或斷裂現(xiàn)象，并能順利從載具上剝離，有助提高整體生產(chǎn)良率，


2.5D矽中介層(Interposer)晶圓制造成本可望降低。半導(dǎo)體業(yè)界已研發(fā)出標(biāo)準(zhǔn)化的制程、設(shè)備及新型黏著劑，可確保矽中介層晶圓在薄化過(guò)程中不會(huì)發(fā)生厚度不一致或斷裂現(xiàn)象，并能順利從載具上剝離，有助提高整體生產(chǎn)良率，減少成本浪費(fèi)。

2.5D矽中介層(Interposer)是一項(xiàng)全新的互連技術(shù)，可為不同應(yīng)用提供諸多技術(shù)優(yōu)勢(shì)?，F(xiàn)階段，現(xiàn)場(chǎng)可編程閘陣列(FPGA)已為先進(jìn)互補(bǔ)式金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)矽中介層發(fā)展的驅(qū)動(dòng)力，但實(shí)際上，矽中介層早已用于發(fā)光二極體(LED)和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等眾多應(yīng)用領(lǐng)域。

多步驟晶圓制程助力矽中介層成本調(diào)降有譜

就2.5D矽中介層的優(yōu)點(diǎn)而言，其中一項(xiàng)最吸引人的是晶粒分割(DiePartitioning)技術(shù)。有別于系統(tǒng)單晶片(SoC)將邏輯、記憶體或射頻(RF)等不同的系統(tǒng)功能整合在單一元件的作法，矽中介層則采用模組化的方式，將不同的功能放在不同的晶粒上。由于銅制程的微凸塊(MicroBump)和重分布層(RedistributionLayer)的關(guān)系，晶片與晶片之間透過(guò)矽中介層的互連，其電性特征與晶片內(nèi)互連的特征非常相似，此可大幅降低功耗和提高頻寬。

不過(guò)，除了所有技術(shù)優(yōu)勢(shì)外，最重要的仍是成本因素。若要延伸矽中介層技術(shù)的使用性，關(guān)鍵前提是大幅降低成本。以下有幾個(gè)可降低矽中介層成本的方法。

第一種方法是用多晶矽(PolycrystallineSilicon)或玻璃取代單晶矽晶圓(CrystalSiliconWafer)，可降低基板的成本；另一種方法是藉由加大基板的尺寸來(lái)降低成本。18寸晶圓和矩形面板都是有可能降低成本的方法，然而，兩種方法都會(huì)產(chǎn)生巨大的改變，且需要截然不同的制程產(chǎn)業(yè)體系。不過(guò)，其中一個(gè)可運(yùn)用在現(xiàn)有晶圓制程體系最被看好的方法，是在晶圓級(jí)制程中產(chǎn)生更多制程步驟。

目前，一般的制程架構(gòu)是先產(chǎn)出矽中介層晶片，然后將晶粒分別堆疊在中矽中介層上；在中介層上的晶片堆疊技術(shù)是晶片級(jí)整合的最后一個(gè)制程步驟。雖然這種已知良品晶片(KnownGoodDie)的制程極被看好，但也會(huì)產(chǎn)生很多制程問(wèn)題。

首先，這樣大尺寸且很薄的矽中介層晶粒，它的弓形度(Bow)及撓曲度(Warp)就是一個(gè)很大的問(wèn)題，不僅在晶粒處理時(shí)有難度，且對(duì)準(zhǔn)和熱壓接合(Thermo-compressionBonding)也會(huì)相當(dāng)困難。此外，后續(xù)的晶粒接合過(guò)程亦非常緩慢，因此也會(huì)產(chǎn)生昂貴的成本。一種較為明智的作法是用晶粒-晶圓級(jí)(C2W)整合的方式進(jìn)行晶粒堆疊，這可加速制程周期；另一方面也可在晶片堆疊(如產(chǎn)生均溫板或散熱片)后進(jìn)行晶圓級(jí)制程。

基于尺寸大小和成本因素的考慮，矽中介層晶圓的厚度要非常薄。目前，一般的厚度是100微米(μm)，已可符合大小的考慮。然而，矽穿孔(TSV)制程是一種可降低成本的主要作法；制作一個(gè)10微米×50微米TSV的成本會(huì)比制作一個(gè)10微米×100微米TSV低很多。

晶圓薄化可透過(guò)將矽中介層晶圓臨時(shí)接合到載具晶圓上，然后針對(duì)晶圓背面減薄則可完成。載具晶圓會(huì)有機(jī)械性支持的作用，避免晶圓發(fā)生斷裂現(xiàn)象，且會(huì)補(bǔ)償矽中介層晶圓內(nèi)所需的應(yīng)力。

減少晶圓的厚度是一種可降低矽中介層成本的方法，但在剝離制程(Debonding)后，厚度較薄的晶粒則在機(jī)械性穩(wěn)定度、應(yīng)力和矽中介層晶粒的弓形度/撓曲度的處理上都有可能出現(xiàn)新的挑戰(zhàn)。其中，可以解決這些難題的方法是在薄薄的矽中介層晶圓，仍在載具晶圓上時(shí)即進(jìn)行晶粒-晶圓級(jí)接合。隨后，其他步驟則可進(jìn)行晶圓級(jí)制程。

晶粒-晶圓級(jí)整合是一個(gè)促成凸塊后置(Bump-last)整合架構(gòu)的步驟。用膠合連接矽中介層的覆晶凸塊(C4Bump)非常脆弱，同時(shí)在熱壓接合制程中容易脫離。不過(guò)在接合制程后才產(chǎn)生覆晶凸塊，則可完全避免凸塊脫離的風(fēng)險(xiǎn)。凸塊后置的形成亦會(huì)產(chǎn)生一個(gè)薄薄的黏著層，這可提升暫時(shí)接合制程的產(chǎn)量，同時(shí)也可減少黏著劑的用量和降低成本；再者，凸塊后置BumpLast的形成也代表凸塊的回焊(Reflow)溫度不會(huì)讓背面制程有所限制。

來(lái)源：新電子

作者：zhaobin

本站聲明： 本文章由作者或相關(guān)機(jī)構(gòu)授權(quán)發(fā)布，目的在于傳遞更多信息，并不代表本站贊同其觀點(diǎn)，本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實(shí)性等。需要轉(zhuǎn)載請(qǐng)聯(lián)系該專欄作者，如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系本站刪除。
換一批
延伸閱讀

LED驅(qū)動(dòng)電源的輸入包括高壓工頻交流(即市電)、低壓直流、高壓直流、低壓高頻交流(如電子變壓器的輸出)等。

關(guān)鍵字： 驅(qū)動(dòng)電源

在工業(yè)自動(dòng)化蓬勃發(fā)展的當(dāng)下，工業(yè)電機(jī)作為核心動(dòng)力設(shè)備，其驅(qū)動(dòng)電源的性能直接關(guān)系到整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。其中，反電動(dòng)勢(shì)抑制與過(guò)流保護(hù)是驅(qū)動(dòng)電源設(shè)計(jì)中至關(guān)重要的兩個(gè)環(huán)節(jié)，集成化方案的設(shè)計(jì)成為提升電機(jī)驅(qū)動(dòng)性能的關(guān)鍵。

關(guān)鍵字： 工業(yè)電機(jī) 驅(qū)動(dòng)電源

LED 驅(qū)動(dòng)電源作為 LED 照明系統(tǒng)的 “心臟”，其穩(wěn)定性直接決定了整個(gè)照明設(shè)備的使用壽命。然而，在實(shí)際應(yīng)用中，LED 驅(qū)動(dòng)電源易損壞的問(wèn)題卻十分常見，不僅增加了維護(hù)成本，還影響了用戶體驗(yàn)。要解決這一問(wèn)題，需從設(shè)計(jì)、生...

關(guān)鍵字： 驅(qū)動(dòng)電源 照明系統(tǒng) 散熱

根據(jù)LED驅(qū)動(dòng)電源的公式，電感內(nèi)電流波動(dòng)大小和電感值成反比，輸出紋波和輸出電容值成反比。所以加大電感值和輸出電容值可以減小紋波。

關(guān)鍵字： LED 設(shè)計(jì) 驅(qū)動(dòng)電源

電動(dòng)汽車(EV)作為新能源汽車的重要代表，正逐漸成為全球汽車產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。電動(dòng)汽車的核心技術(shù)之一是電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，而絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)作為電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中的關(guān)鍵元件，其性能直接影響到電動(dòng)汽車的動(dòng)力性能和...

關(guān)鍵字： 電動(dòng)汽車 新能源 驅(qū)動(dòng)電源

在現(xiàn)代城市建設(shè)中，街道及停車場(chǎng)照明作為基礎(chǔ)設(shè)施的重要組成部分，其質(zhì)量和效率直接關(guān)系到城市的公共安全、居民生活質(zhì)量和能源利用效率。隨著科技的進(jìn)步，高亮度白光發(fā)光二極管(LED)因其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)逐漸取代傳統(tǒng)光源，成為大功率區(qū)域...

關(guān)鍵字： 發(fā)光二極管 驅(qū)動(dòng)電源 LED

LED通用照明設(shè)計(jì)工程師會(huì)遇到許多挑戰(zhàn)，如功率密度、功率因數(shù)校正(PFC)、空間受限和可靠性等。

關(guān)鍵字： LED 驅(qū)動(dòng)電源 功率因數(shù)校正

在LED照明技術(shù)日益普及的今天，LED驅(qū)動(dòng)電源的電磁干擾(EMI)問(wèn)題成為了一個(gè)不可忽視的挑戰(zhàn)。電磁干擾不僅會(huì)影響LED燈具的正常工作，還可能對(duì)周圍電子設(shè)備造成不利影響，甚至引發(fā)系統(tǒng)故障。因此，采取有效的硬件措施來(lái)解決L...

關(guān)鍵字： LED照明技術(shù) 電磁干擾 驅(qū)動(dòng)電源

開關(guān)電源具有效率高的特性,而且開關(guān)電源的變壓器體積比串聯(lián)穩(wěn)壓型電源的要小得多,電源電路比較整潔,整機(jī)重量也有所下降,所以,現(xiàn)在的LED驅(qū)動(dòng)電源

關(guān)鍵字： LED 驅(qū)動(dòng)電源 開關(guān)電源

LED驅(qū)動(dòng)電源是把電源供應(yīng)轉(zhuǎn)換為特定的電壓電流以驅(qū)動(dòng)LED發(fā)光的電壓轉(zhuǎn)換器，通常情況下：LED驅(qū)動(dòng)電源的輸入包括高壓工頻交流(即市電)、低壓直流、高壓直流、低壓高頻交流(如電子變壓器的輸出)等。

關(guān)鍵字： LED 隧道燈 驅(qū)動(dòng)電源
關(guān)閉