瑞薩公開那珂工廠的恢復情況,300mm晶圓生產(chǎn)線開始試產(chǎn)
瑞薩電子2011年4月27日向媒體公開了因震災影響而停產(chǎn)的該公司那珂工廠(茨城縣常陸那珂市)的恢復情況。廠房及無塵室已于4月10日恢復,目前的主要工作是啟動生產(chǎn)設備。200mm生產(chǎn)線已于4月23日開始試產(chǎn),目標是6月15日正式恢復生產(chǎn)。300mm生產(chǎn)線也于4月25日開始試產(chǎn),目標是7月份正式恢復生產(chǎn)。“目前正在為盡快恢復生產(chǎn)全力以赴做努力”(瑞薩電子執(zhí)行董事兼生產(chǎn)本部本部長鶴丸哲哉)。
那珂工廠擁有生產(chǎn)汽車用MCU(微控制器)等的200mm生產(chǎn)線“N2”,以及生產(chǎn)手機用SoC芯片等的300mm生產(chǎn)線“N3”。N2的產(chǎn)能以200mm晶圓計算為3萬4000塊/月,N3的產(chǎn)能以300mm晶圓計算為1萬4000塊/月(按200mm晶圓換算為3萬4000塊/月)。在瑞薩電子的MCU總產(chǎn)量中,這兩條生產(chǎn)線占25%。另外,那珂工廠生產(chǎn)的MCU有60%為汽車用產(chǎn)品。
在此次說明會上,記者參觀了200mm生產(chǎn)線(N2)。盡管無塵室內(nèi)整潔有序,但仍有多臺生產(chǎn)設備亮著表示“尚在啟動中”的紅燈。雖然瑞薩電子表示將在6月15日正式恢復生產(chǎn),但最初的產(chǎn)能估計只有3000塊/月,僅為原來的10%。
N2生產(chǎn)線于4月23日上午8時45分投入了試驗批次(以25塊硅晶圓為1組)。批次名稱為“絆”(紐帶的意思)。當日舉行了試產(chǎn)啟動儀式,但剪彩彩帶使用的是包裝用的膠帶。由于是非常時期,因此“除此之外沒有找到合適的東西”(瑞薩電子生產(chǎn)本部那珂工廠廠長青柳隆)。
N3生產(chǎn)線于4月25日上午前10時投入了試驗批次。批次名稱為“蓋亞”(Gaia,希臘神話中的大地女神)。盡管N3的受災程度與N2沒多大差別,但與使用130nm工藝的N2相比,使用40nm工藝的N3在啟動生產(chǎn)設備上花費了更長時間。
今后即使恢復工作順利,那珂工廠的產(chǎn)量也很難恢復到震災前的水平?!白罱K將把那珂工廠的生產(chǎn)與替代生產(chǎn)(包括瑞薩集團內(nèi)外的生產(chǎn))的比率保持在1比1的狀態(tài),由此來彌補震災前那珂工廠的產(chǎn)量”(鶴丸)。
日本氣象廳的觀測數(shù)據(jù)顯示,在3月11日地震當天,那珂工廠周邊地區(qū)的震度只有“6級多”。不過,在那珂工廠內(nèi)計測到的搖晃的加速度為950Gal(伽),因此“震度與7級相當”(那珂工廠廠長青柳隆)。
這一強烈搖晃使那珂工廠受損嚴重。比如,N2棟與N3棟廠房間有走廊連接,連廊部分因主體搖晃而出現(xiàn)斷裂。斷裂部分目前還在修復之中,4月27日向媒體公開時仍搭著腳手架。
從輔助設備來看,設置在天花板上的電線支架在地震時均被震落。在N2棟廠房的無塵室內(nèi),除生產(chǎn)設備的隔斷損壞之外,天花板也部分脫落。在N3棟廠房的無塵室內(nèi),隨著墻壁崩落,鋼筋外露。而且,固定生產(chǎn)設備的抗震用金屬零件也發(fā)生變形,設備移動了數(shù)cm?!芭c震源位于宮城縣海域的震級9級的搖晃相比,之后發(fā)生的以茨城縣海域為震源的搖晃使生產(chǎn)設備遭受了更大損壞”(青柳)。不過,據(jù)悉這些受損設備已于4月10日完全恢復。
在廠房、輔助設備及無塵室的恢復時間上,瑞薩電子將當初公布的5月中旬提前到了4月10日,其原因大致有五點:(1)來自瑞薩集團內(nèi)外的支援在高峰時(4月份的第一周)達到每天約2500人次;(2)得到了構件廠商的協(xié)助;(3)努力提高了工作效率;(4)恢復工作采用24小時制;(5)大力加強了安全管理。
離子注入?yún)^(qū)。(點擊放大)擴散區(qū)。生產(chǎn)設備上亮著紅燈。
另外,生產(chǎn)設備的恢復時間也有望從當初預定的6月中旬提前至5月中旬。原因在于:(a)來自設備廠商的支援在最多時達到每天約700人次;(b)客戶企業(yè)也提供了支援;(c)得到了部件及材料廠商的協(xié)助;(d)海內(nèi)外的同行半導體廠商讓出了部分部件;(e)從大股東的3家公司(三菱、日立、NEC)以及瑞薩集團內(nèi)部得到了技術人員方面的支援(約200人);(f)恢復工作采用24小時制。