在2013年1月舉行的MEMS國際學會“IEEE MEMS 2013”上，有一篇關于分辨率達到1Pa以下的絕對壓力傳感器的論文（論文編號：090）。該傳感器可檢測出10cm高度差時的氣壓差，可用于汽車導航 儀中識別行駛中的道路是地面道路還是高架道路，此外還有望應用于聽診器及水下麥克風等。

       該傳感器利用比原來更小的力來驅動測壓用微小構造部分，從而提高了靈敏度。原來的普通壓力傳感器采用以硅薄膜密閉空洞的構造，檢測對象的空 氣壓力與密閉空間之間的氣壓差所產生的力會使硅薄膜彎曲，通過薄膜上附帶的壓電電阻元件檢測薄膜變形產生的應力就可換算出氣壓差。硅薄膜是在周圍被固定的 狀態(tài)下彎曲的。而此次的傳感器在以壓力差驅動的部分采用單側支撐構造（單側支撐梁），也就是不用將硅薄膜的周圍全部固定，而只固定一側。這樣一來，便形成 了比現(xiàn)有的硅薄膜更容易驅動的狀態(tài)。

       為了檢測出壓力差，必須要通過單側支撐梁來制造密閉空間，因此，該傳感器用液體覆蓋在單側支撐梁上，通過減小單側支撐梁未支撐一側的間隙， 可借助表面張力防止液體向密閉空間泄漏。憑借這一構造，當覆蓋有液體的單側支撐梁受到氣壓時，單側支撐梁就會利用與密閉空間之間的氣壓差所形成的力產生比 原來的構造更大的彎曲。壓力電阻元件就會檢測出這一彎曲。從利用液體來覆蓋傳感器部分這一構造上的特點來看，該傳感器還可用于在液體中檢測水壓及聲壓的用 途。（記者：三宅常之，Tech-On?。?

傳感器部分的截面圖（圖片由東京大學提供