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愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試開(kāi)發(fā)出1Xnm節(jié)點(diǎn)電子束微影系統(tǒng)

時(shí)間：2012-11-22 06:49:00
關(guān)鍵字： 電子    節(jié)點(diǎn)    MEMS    SEMI   
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[導(dǎo)讀]全球測(cè)試領(lǐng)導(dǎo)大廠愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試 (Advantest)21日宣布已開(kāi)發(fā)出全新電子束微影系統(tǒng)F7000，該系統(tǒng)可提供絕佳解析效能，滿足1Xnm節(jié)點(diǎn)測(cè)試。F7000支援多種材料、尺寸、形狀的基板，包括奈米壓印母模及晶圓，能廣泛應(yīng)用于先進(jìn)

全球測(cè)試領(lǐng)導(dǎo)大廠愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試 (Advantest)21日宣布已開(kāi)發(fā)出全新電子束微影系統(tǒng)F7000，該系統(tǒng)可提供絕佳解析效能，滿足1Xnm節(jié)點(diǎn)測(cè)試。F7000支援多種材料、尺寸、形狀的基板，包括奈米壓印母模及晶圓，能廣泛應(yīng)用于先進(jìn)大型積體電路、光電產(chǎn)品、微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)及其他奈米制程。

愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試將于12月5-7日在日本千葉縣幕張國(guó)際展覽中心舉辦的SEMICON Japan國(guó)際半導(dǎo)體展上展出F7000。F7000預(yù)計(jì)于2014年3月底，正式上市銷(xiāo)售。





來(lái)源：經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)

作者：zhaobin

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