3月15日SEMICON China 2011展會(huì)的第一天，SEMI全球半導(dǎo)體業(yè)務(wù)總裁Jonathan Davis為沈陽(yáng)國(guó)家IC裝備產(chǎn)業(yè)基地頒發(fā)了SEMI China授予的“最佳組織獎(jiǎng)”，沈陽(yáng)市高新區(qū)副主任孫維華代表產(chǎn)業(yè)基地接受了該獎(jiǎng)項(xiàng)。

沈陽(yáng)國(guó)家IC裝備產(chǎn)業(yè)基地已連續(xù)5年參展SEMICON China展會(huì)，今年，沈陽(yáng)市東陵區(qū)（渾南新區(qū)）人民政府更是組織12家半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)組成史上規(guī)模最大的沈陽(yáng)IC裝備產(chǎn)業(yè)基地展團(tuán)，第五次參展SEMICON CHINA。孫維華表示，“?2011年是國(guó)家‘十二五’建設(shè)的開局之年，市場(chǎng)和政策都有明確的信號(hào)顯示我國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)勢(shì)必將駛?cè)胄乱惠喌母咚侔l(fā)展道路。在這樣的產(chǎn)業(yè)環(huán)境下，沈陽(yáng)國(guó)家IC裝備產(chǎn)業(yè)基地將著力將優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品做大做強(qiáng)，打造龍頭企業(yè)，積極參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)；在大力承接零部件加工外包業(yè)務(wù)的同時(shí)開展備件供應(yīng)業(yè)務(wù)和二手設(shè)備的翻新業(yè)務(wù)，致力將業(yè)務(wù)拓展到太陽(yáng)能電池、LED、平板顯示器等領(lǐng)域，并最終形成設(shè)備成套能力。”

沈陽(yáng)IC裝備產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)與發(fā)展已進(jìn)入第十個(gè)年頭。經(jīng)過10年的發(fā)展，沈陽(yáng)IC裝備產(chǎn)業(yè)基地已經(jīng)從最初的2家IC裝備企業(yè)發(fā)展到了90余家，骨干企業(yè)達(dá)到37家，先后共有6家骨干企業(yè)承擔(dān)了10項(xiàng)國(guó)家“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)課題。基地?fù)碛袊?guó)內(nèi)唯一專業(yè)從事IC裝備企業(yè)孵化的國(guó)家級(jí)孵化器及國(guó)內(nèi)首個(gè)面向集成電路裝備企業(yè)提供集約式公共技術(shù)服務(wù)的國(guó)家級(jí)中小企業(yè)服務(wù)示范平臺(tái)?；仄髽I(yè)自主研發(fā)出8-12英吋勻膠顯影設(shè)備、6英吋PECVD鍍膜設(shè)備和8-12英吋劃片設(shè)備三大類整機(jī)，以及超潔凈機(jī)械手、羅茨干泵、真空氣動(dòng)閘板閥、SMIF系統(tǒng)、晶片傳輸設(shè)備等關(guān)鍵單元部件和子系統(tǒng)21種產(chǎn)品，產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化率平均達(dá)到70%以上，申報(bào)專利300余項(xiàng)。基地主導(dǎo)產(chǎn)品已經(jīng)在國(guó)內(nèi)外的集成電路、太陽(yáng)能、數(shù)字醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)發(fā)揮了重要作用。2010年沈陽(yáng)IC裝備產(chǎn)業(yè)基地被科技部認(rèn)定為“沈陽(yáng)國(guó)家集成電路裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地”，這是目前科技部認(rèn)定的國(guó)內(nèi)唯一的國(guó)家集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化基地。?

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