晶圓代工龍頭臺(tái)積體昨天宣布以高達(dá)八．三八億歐元（約新臺(tái)幣三一一億元）取得荷蘭半導(dǎo)體微影設(shè)備大廠艾司摩爾（ASML）共五％股權(quán)，并承諾未來(lái)五年投入二．七六億歐元（約新臺(tái)幣一○二億元）支持ASML的研發(fā)計(jì)劃。外界預(yù)期，若合作順利，二○一四年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)就可進(jìn)入十八寸晶圓新世代，較原先預(yù)期大幅提前二年。

ASML上月宣布，將邀請(qǐng)國(guó)際半導(dǎo)體大廠合組近十四億歐元的研發(fā)基金，并預(yù)計(jì)將釋出最多二五％股權(quán)讓客戶入股，以加速十八寸晶圓及極紫外光(EUV)微影技術(shù)開(kāi)發(fā)。其中，英特爾已決定投資六成，其余四成則向包括臺(tái)積電、三星、格羅方德(GlobalFoundries)等大廠籌資。

由十二寸晶圓進(jìn)階到十八寸晶圓，將可使晶片單位成本下降三、四成之多。英特爾先前就表示，此投資是讓十八寸晶圓及EUV微影技術(shù)設(shè)備的安裝及建置時(shí)間縮短二年，以達(dá)到大幅削減生產(chǎn)成本的目標(biāo)。外界預(yù)期若合作順利，二○一四年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)就可進(jìn)入十八寸晶圓新世代。

臺(tái)積電此次將投資ASML取得五％股權(quán)，若加計(jì)英特爾取得ASML十五％股權(quán)，等于占ASML預(yù)計(jì)釋出二五％股權(quán)的八成，此舉代表全球半導(dǎo)體一線大廠針對(duì)下一世代半導(dǎo)體技術(shù)的策略聯(lián)盟，已大致底定。

臺(tái)積電執(zhí)行副總蔣尚義表示，挹注ASML研發(fā)經(jīng)費(fèi)將確保并加快EUV微影技術(shù)的開(kāi)發(fā)，同時(shí)也能提高既有光學(xué)微影工具的效能，促進(jìn)十八寸晶圓制造技術(shù)快速發(fā)展。這項(xiàng)努力將有助半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)控制晶圓成本，保障摩爾定律持續(xù)演進(jìn)可帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)效益。

ASML將分兩階段釋出最多二五％股權(quán)進(jìn)行籌資，第一階段釋出十％，由英特爾全數(shù)認(rèn)購(gòu)；第二階段釋出剩下的十五％股權(quán)，英特爾認(rèn)購(gòu)五％，其余十％由其它大廠參與投資。