去年臺(tái)積電是全球最大的純MEMS器件代工廠商，營(yíng)業(yè)收入劇增201%，不但奪取了競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的市場(chǎng)份額，而且創(chuàng)造了新的收入來(lái)源。

據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS競(jìng)爭(zhēng)分析報(bào)告，2011年臺(tái)積電相關(guān)營(yíng)業(yè)收入達(dá)到5300萬(wàn)美元，遠(yuǎn)高于2010年的1760萬(wàn)美元。該公司生產(chǎn)多種暢銷的MEMS傳感器和激勵(lì)器，包括3軸陀螺儀、加速計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、片上實(shí)驗(yàn)室和噴墨打印頭。

在12家提供MEMS制造業(yè)務(wù)的純代工廠商中，臺(tái)積電名列前茅。除了臺(tái)積電以外，去年MEMS營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)的其它代工廠商包括Silex Microsystems、Teledyne Dalsa、Innovative Micro Technology、X-Fab, Tronics、Jazz Semiconductor、Semefab和GlobalFoundries。營(yíng)業(yè)收入下滑的廠商是Asia-Paci?c Microsystems、Micralyne和tMt Touch Microsystems，如表1所示。



去年12家純MEMS代工廠商以及其它幾家廠商的總體營(yíng)業(yè)收入為2.86億美元，比2010年的2.318億美元?jiǎng)旁?3%。

臺(tái)積電MEMS業(yè)務(wù)增長(zhǎng)主要來(lái)自其客戶In?venSense，臺(tái)積電為其生產(chǎn)3軸陀螺儀和6軸慣性測(cè)量單元(IMU)。這兩種MEMS器件對(duì)于智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備以及游戲都非常重要。愛普生最初是InvenSense的最大的3軸陀螺儀供應(yīng)商，直到去年受到日本3月地震的沖擊，使得臺(tái)積電乘虛而入并奪走了愛普生的市場(chǎng)。

去年臺(tái)積電MEMS業(yè)務(wù)的另一個(gè)主要增長(zhǎng)點(diǎn)是亞德諾半導(dǎo)體(ADI)。尤其是ADI得到蘋果iPad 2平板電腦中的MEMS麥克風(fēng)設(shè)計(jì)訂單，讓臺(tái)積電受益非淺。

對(duì)于全球最大的晶圓代工廠商臺(tái)積電來(lái)說(shuō)，MEMS業(yè)務(wù)在其總體營(yíng)業(yè)收入中所占份額仍然微不足道。然而，臺(tái)積電仍然特別熱衷于MEMS領(lǐng)域，尤其是因?yàn)樵摴疽呀?jīng)在主流半導(dǎo)體代工領(lǐng)域中占據(jù)了很大的份額。因此，它的增長(zhǎng)前景有限，必須不斷尋找MEMS這樣的增長(zhǎng)較快領(lǐng)域，以保持?jǐn)U張勢(shì)頭。臺(tái)積電最初決定從事MEMS制造是在2008年。

Silex與Teledyne Dalsa也取得了不錯(cuò)的增長(zhǎng)

瑞典Silex Microsystems是2011年排名第二的MEMS代工廠商，營(yíng)業(yè)收入為4590萬(wàn)美元，比2010年的3600萬(wàn)美元增長(zhǎng)28%。其增長(zhǎng)主要來(lái)自用于光纖電信應(yīng)用的光學(xué)MEMS開關(guān)。

這家瑞典代工廠商的用戶基礎(chǔ)很寬廣，有60多個(gè)客戶，其MEMS生產(chǎn)合同涉及的領(lǐng)域包括科學(xué)應(yīng)用、微型投影儀的掃描鏡、用于診斷的片上實(shí)驗(yàn)室、用于消費(fèi)產(chǎn)品的陀螺儀、用于血壓監(jiān)測(cè)的壓力監(jiān)視器、以及St. Jude Medical and Debiotech S.A.的MEMS給藥系統(tǒng)。

Silex也因及早押注硅通孔(TSV)技術(shù)而獲益。TSV是用于形成3D封裝與3D集成電路的一種高性能工藝。Silex是六年前在這種新工藝上面投入重金的首批MEMS代工廠商之一，因?yàn)槠涓挥羞h(yuǎn)見的行動(dòng)而贏得許多客戶。目前其有效合同中，約有50%與TSV工藝有關(guān)。

美國(guó)加州的TeleDyne Dalsa排名第三，2011年MEMS營(yíng)業(yè)收入為3700萬(wàn)美元，比2010年的3090萬(wàn)美元增長(zhǎng)20%。光學(xué)MEMS也是其主要營(yíng)收來(lái)源，該公司去年開始向市場(chǎng)領(lǐng)先廠商JDSU提供波長(zhǎng)選擇開關(guān)可重構(gòu)光加/減復(fù)用器(WSS ROADM)。

加拿大Micralyne以前曾為JDSU代工生產(chǎn)WSS ROADM器件。該產(chǎn)品用于在光纖網(wǎng)絡(luò)中增加、阻擋、傳遞或重定向經(jīng)調(diào)制的紅外與可見光束。這項(xiàng)MEMS合同占Micralyne的半數(shù)營(yíng)業(yè)收入，失去這家客戶，導(dǎo)致其2011年MEMS營(yíng)業(yè)收入銳減46%，從2010年的3130萬(wàn)美元降至1680萬(wàn)美元。其排名也從2010年的第二下滑至第六。

Dalsa去年在汽車與醫(yī)療應(yīng)用壓力傳感器領(lǐng)域也取得了不錯(cuò)的成績(jī)，而且迅速擴(kuò)大了其片上實(shí)驗(yàn)室市場(chǎng)。未來(lái)幾年，這家公司將因與各類伙伴的合作而受益，包括蒙特利爾謝布魯克大學(xué)、加拿大以及魁北克政府、工業(yè)伙伴IBM Canada。它與IBM Canada的合作將在一家微電子創(chuàng)新中心進(jìn)行，這個(gè)資金充足的中心將幫助Dalsa擴(kuò)充在200毫米晶圓及TSV工藝方面的專門知識(shí)。

其它贏家與輸家

除了上述三家廠商，2011年?duì)I業(yè)收入增長(zhǎng)的MEMS代工廠商還排名第五的美國(guó)加州Innovative Micro Technology (IMT)、排名第七的德國(guó)7 X-Fab、排名第八的法國(guó)Tronics、排名第10的美國(guó)加州Jazz Semiconductor、排名第11的英國(guó)Semefab、排名第12的美國(guó)加州GlobalFoundries。

這些廠商的營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)率都處于比較強(qiáng)勁的兩位數(shù)，從11%直到178%。GlobalFoundries的營(yíng)收增長(zhǎng)了178%，增長(zhǎng)率排名第二，僅次于臺(tái)積電。

去年該領(lǐng)域中的輸家是排名第四的臺(tái)灣Asia-Paci?c Microsystems、排名第六的Mi?cralyne、排名第九的臺(tái)灣tMt Touch Microsystems。

2011年陀螺儀是純MEMS代工廠商的主要MEMS收入來(lái)源，其次是加速計(jì)和壓力傳感器。去年最大的MEMS應(yīng)用領(lǐng)域是消費(fèi)與移動(dòng)領(lǐng)域，領(lǐng)先于工業(yè)應(yīng)用及醫(yī)療應(yīng)用。