晶片生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商 KLA-Tencor 日前宣布，該公司的 18寸(450mm)晶圓用缺陷檢測(cè)工具(defect inspection tool) Surfscan SP3 450已經(jīng)完成兩套系統(tǒng)的裝設(shè)，其中一個(gè)裝機(jī)點(diǎn)是位于比利時(shí)魯汶的奈米電子研究機(jī)構(gòu) IMEC 。Surfscan SP3 450是KLA Surfscan SP3系列設(shè)備的 18寸晶圓版本，該系列設(shè)備是該公司去年發(fā)表的產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn) Surfscan SP2 無(wú)圖案(unpatterned)晶圓檢測(cè)工具的新一代產(chǎn)品。
KLA 的Surfscan-ADE部門市場(chǎng)行銷與應(yīng)用資深總監(jiān)Amir Azordegan表示，Surfscan SP3 450可說(shuō)是推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向 18寸晶圓之路的推手，因?yàn)樵撓盗泄ぞ吲c前一代產(chǎn)品在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域獲得了廣泛采用──包括晶圓片供應(yīng)商、晶圓設(shè)備供應(yīng)商(用以開發(fā)新設(shè)備)以及晶片制造商──而18寸晶圓工具是整體半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈發(fā)展新尺寸晶圓制程的基本條件。

Surfscan SP3 450是 KLA 首套支援18寸晶圓處理與檢測(cè)的制程控制系統(tǒng)，設(shè)計(jì)該套工具的目標(biāo)是因應(yīng)20奈米節(jié)點(diǎn)及以下制程的晶圓缺陷與表面品質(zhì)特性描述需求。Azordegan 表示，KLA已經(jīng)完成兩套Surfscan SP3 450系統(tǒng)的安裝，其中一位客戶是 IMEC ，另外一家客戶的名稱則不能透露；而據(jù)了解后者已經(jīng)下訂了7套該設(shè)備。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一直在醞釀?dòng)赡壳暗闹髁?12寸晶圓制程，轉(zhuǎn)移至18寸晶圓；盡管一般意見(jiàn)認(rèn)為，僅有領(lǐng)導(dǎo)級(jí)的晶片廠商有能力朝著該方向邁進(jìn)，例如英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、臺(tái)積電(TSMC)、Globalfoundries等等。稍早之前，英特爾宣布對(duì)設(shè)備業(yè)者ASML投資41億美元，即是與18寸晶圓技術(shù)以及超紫外光微影(extreme ultraviolet lithography)技術(shù)的開發(fā)有關(guān)。此外分析師也預(yù)言，第一座18寸晶圓廠將會(huì)在2017年投產(chǎn)。

Azordegan表示，Surfscan SP3 450可供應(yīng)僅支援18寸晶圓的功能組態(tài)，也可以提供橋接工具(bridge tool)功能組態(tài)，也就是同時(shí)支援12寸與18寸晶圓處理。他指出，晶圓片供應(yīng)商通常會(huì)選擇僅支援18寸晶圓的功能組態(tài)，因?yàn)檫@類廠商傾向建立單一尺寸的生產(chǎn)線；不過(guò)大多數(shù)的設(shè)備供應(yīng)商與晶片廠商應(yīng)該會(huì)被橋接功能組態(tài)所吸引，因?yàn)槟芟扔糜?2寸晶圓，最終也可支援18寸晶圓。

許多半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商預(yù)期也會(huì)推出同時(shí)支援12寸與18寸晶圓的橋接工具，以提供最大化的投資報(bào)酬率。不過(guò)Azordegan表示，KLA能提供如此的橋接功能選項(xiàng)，是因?yàn)镾urfscan SP3 450所采用的技術(shù)類型與在開發(fā)初期階段的規(guī)劃；某些制程技術(shù)是無(wú)法提供橋接工具的選項(xiàng)。

編譯：Judith Cheng

(參考原文： KLA wafer inspection system 'first domino to fall' on road to 450-mm，by Dylan McGrath)