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[導讀]據(jù)報道,目前最先進的技術(shù)應該是使用硅通孔的3D芯片堆疊,幾乎主要的半導體公司都在研究這種技術(shù)。 去年舉行的國際固態(tài)電路會議上,三星公開宣布了其2.5D技術(shù),據(jù)稱這種2.5D技術(shù)非常適合位于在系統(tǒng)級芯片上進行帶硅

據(jù)報道,目前最先進的技術(shù)應該是使用硅通孔的3D芯片堆疊,幾乎主要的半導體公司都在研究這種技術(shù)。
去年舉行的國際固態(tài)電路會議上,三星公開宣布了其2.5D技術(shù),據(jù)稱這種2.5D技術(shù)非常適合位于在系統(tǒng)級芯片上進行帶硅通孔和微凸塊的堆疊式DRAM裸片。三星準備把這種技術(shù)用在1Gbit移動DRAM產(chǎn)品上,并計劃在2013年使移動DRAM容量提高到4Gbit。
賽靈思公司推出了一種2.5D封裝工藝的多FPGA解決方案,這種工藝可在硅中介層上互連4個并排且?guī)⑼箟K的Virtex-7 FPGA。目前,臺積電也正在生產(chǎn)這種硅中介層,使用硅通孔技術(shù)重新分配FPGA的互連,臺積電已承諾將在2013年向其代工客戶提供這種轉(zhuǎn)換技術(shù)。
還有多家公司目前都在進行3D IC生產(chǎn)技術(shù)的研發(fā)。Tezzaron Semiconductor公司為其鎢硅通孔工藝提供3D IC設計服務已經(jīng)有多年。Tezzaron的FaStack工藝可以從薄至12微米晶圓上的異質(zhì)裸片制造3D芯片。這種工藝具有針對堆疊式DRAM的寬I/O特性,其亞微米互連密度高達每平方毫米100萬個硅通孔。
3D技術(shù)可以給芯片設計帶來許多新的想法。設計師必須采用不同的思維方式,以創(chuàng)新的方式組合CPU、內(nèi)存和I/O功能,這是每樣東西只能在郵票大小的面積上并排放置不能做到的。
據(jù)有關(guān)資料,生產(chǎn)3D IC的技術(shù)并不是很新的技術(shù),堆疊芯片想法本身可以追溯到1958年頒發(fā)給晶體管先驅(qū)William Shockley公司的早期專利。從那以后,業(yè)界已經(jīng)使用了許多堆疊式裸片配置方案。比如,將MEMS傳感器堆疊在ASIC之上,或?qū)⑿〉?strong>DRAM堆疊在處理器內(nèi)核上等。
去年獲得EE Times年度ACE創(chuàng)新大獎的Zvi Or-Bach則認為3D IC設計師需要從硅通孔技術(shù)過渡到超高密度的單片3D技術(shù)。BeSang Inc聲稱正在制造無硅通孔的單片3D內(nèi)存芯片原型,并有望于2012年首次亮相。
據(jù)報道,目前有許多半導體協(xié)會都在研究制定3D技術(shù)標準。國際半導體設備與材料組織(SEMI)有4個小組專攻3D IC標準。其三維堆疊式集成電路標準委員會包括SEMI成員Globalfoundries、惠普、IBM、Intel三星和United Microelectronics Corp.(UMC)以及Amkor、ASE、歐洲的校際微電子中心(IMEC)、亞洲工業(yè)技術(shù)研究院(ITRI)、奧林巴斯、高通、Semilab、東京電子和賽靈思公司等。



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