王怡蘋／臺北 近來從半導(dǎo)體、面板及印刷電路板(PCB)產(chǎn)業(yè)制程來看，均逐漸開始重視生產(chǎn)過程中的環(huán)保問題，從廢氣、廢水減排回收及生產(chǎn)過程的節(jié)省能源等面向來看，都已成為各產(chǎn)業(yè)在產(chǎn)能配置時的考量，例如晶圓大廠臺積電的晶圓15廠便對于減碳、水回收等功能相當(dāng)重視，而PCB產(chǎn)業(yè)也將綠色生產(chǎn)列入其2012年發(fā)展重點，隨著產(chǎn)業(yè)開始更重視環(huán)保，帆宣、崇越等半導(dǎo)體廠務(wù)工程供應(yīng)商也有望隨之受惠。

在環(huán)境問題愈加險峻下，半導(dǎo)體、面板及PCB各大廠在設(shè)置廠房時，對環(huán)境的影響也成為一重要考量，如今企業(yè)的綠色競爭力及社會責(zé)任也列入對企業(yè)評價的一環(huán)，高科技產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)中的環(huán)保規(guī)劃也逐漸受到重視。

據(jù)了解，在高科技生產(chǎn)過程中，廠務(wù)及制程設(shè)備的節(jié)能各占50%，以臺灣業(yè)者來說，在廠務(wù)工程中的節(jié)能技術(shù)已相當(dāng)成熟，例如半導(dǎo)體材料代理商崇越主要做廢水的回收和處理工程，目前在臺灣、大陸均有專案進行；帆宣近來也新增廠務(wù)設(shè)施及大樓監(jiān)控系統(tǒng)，可監(jiān)控生產(chǎn)過程中的碳排放量及各種廢水、氣體等，對于規(guī)劃減碳、環(huán)保、消防等需求均有所助益。隨著節(jié)能減碳需求增加，也可望隨之受益。

不過，除了廠務(wù)工程外，從制程設(shè)備進行節(jié)能設(shè)計也! 相當(dāng)重要，然目前臺系設(shè)備商在核心制程設(shè)備的滲透率較低，盡管在真空幫浦、冷水機等次要設(shè)備可以改善，但半導(dǎo)體核心制程設(shè)備市場多半由國外大廠如美商應(yīng)材(Applied Material)、ASML、Tokyo Electron等所掌握，臺系設(shè)備業(yè)者著墨空間相對較小。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)由于具備最高階的技術(shù)與最高額的資本支出，對于其他高科技產(chǎn)業(yè)也有領(lǐng)頭的作用，當(dāng)廢料、廢水減排回收已成為必備，制程設(shè)備的改善將可視為下一步重點，臺系設(shè)備商除了廠務(wù)工程外，也有機會隨著環(huán)保需求，找尋新的可能。