在最近舉辦的高級半導(dǎo)體制造大會（ASMC)上，GlobalFoundries公司紐約州Fab8工廠的總經(jīng)理Norm Armour稱工廠的首臺生產(chǎn)設(shè)備將于6月1日裝機就位。Armour稱，F(xiàn)ab8工廠將于明年中開始進行產(chǎn)量提升，到2014年末，工廠的月產(chǎn)能將達到6萬片規(guī)模。

“今年9-10月間將開始芯片的流水線生產(chǎn)?！毕鄳?yīng)的自動化物料搬運系統(tǒng)（automated material handling system (AMHS)），Tool-to-tool中間環(huán)節(jié)的晶圓暫存機架（Stocker）以及其它輔助生產(chǎn)設(shè)備均已安裝完畢，只剩下制造設(shè)備尚未安裝。

Fab8工廠位于路德森林科技園區(qū)內(nèi)，廠房內(nèi)凈室面積30萬平方英尺，廠房總面積達到190萬平方英尺。在過去的兩年內(nèi)，工廠的興建狀況一直非常順暢。目前公司已經(jīng)開始增建一座辦公大樓。Armour還表示路德森林科技園區(qū)的用地足夠建造三個芯片廠。

Fab8工廠原計劃針對的制程節(jié)點為28nm，不過很快公司修改了目標，改為針對20nm制程，F(xiàn)ab8工廠的總投資也增加到了72億美元。Armour表示，尖端芯片廠一般正式啟用的首月月產(chǎn)量要達到1000片晶圓，需要投入的設(shè)備采購金額大約是1億美元；而Fab8工廠在設(shè)備方面則計劃投入60億美元資金，廠房建設(shè)方面則花費了12億美元左右。

他表示，現(xiàn)代芯片廠所用資金中的絕大部分（約70%）都會被用于采購制造用設(shè)備?！半S著美元比價的下跌，我們廠很快就會成為一家低成本的制造廠。”

Fab8工廠的廠房主要由三個樓層構(gòu)成，凈室生產(chǎn)車間，位于凈室生產(chǎn)車間下層的次潔凈區(qū)（Subfab，主要用于氣體管道的布置），以及位于凈室生產(chǎn)車間上層的負責制冷/供暖以及擺放其它設(shè)備的樓層。廠房的承建方為M&M公司。

GlobalFoundries目前為Fab8招兵買馬的工作還在繼續(xù)進行中，公司已經(jīng)第二次開始在美國各大城市舉辦巡回招聘活動，為Fab8招聘技術(shù)人才。據(jù)Armour透露，明年內(nèi)Fab8的員工數(shù)量將達到1000人左右，明年年底前這個數(shù)字則會提升到1400人，其中的60%左右將為技術(shù)人員與設(shè)備操作工人，而目前工廠已有400名員工，其中的絕大部分都是從美國本土招聘的。招聘工作完成后，將有70%的員工是在本土招聘的人員。他還表示：“我們會從德國和新加坡的工廠調(diào)來支持人員為Fab8服務(wù)?！?/p>

有關(guān)32/28nm制程：

另外，Armour還透露GlobalFoundries目前還在積極提升32/28nm制程產(chǎn)品的產(chǎn)能.。雖然GlobalFoundries的32/28nm制程采用了包含Gate-first工藝HKMG柵極技術(shù)，含鎳觸點/多晶硅柵金屬化技術(shù)等多項復(fù)雜制程技術(shù)，但“我們正在緊鑼密鼓地提升產(chǎn)品的產(chǎn)能。我們的32/28nm制程良率改善曲線基本達到了40/45nm時的水平。”

在會上的問答環(huán)節(jié)，Armour對一位聽眾的問題回答說：“光刻與光阻膠蝕刻制程占去了全部芯片制程的80%比重，這兩個部分的改善難度是最大的。同時我們也非常重視生產(chǎn)過程中瑕疵檢測能力的提升?！绷硗?，為了及時找出可能存在問題的生產(chǎn)設(shè)備，GlobalFoundries還正在開發(fā)新的數(shù)據(jù)挖掘技術(shù)。

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