當(dāng)前位置：首頁 > 模擬 > 模擬

東電電子發(fā)布等離子SiN裝置及干式清洗裝置

時(shí)間：2010-12-01 03:47:00

關(guān)鍵字：電子等離子 AD 石英

手機(jī)看文章

掃描二維碼
隨時(shí)隨地手機(jī)看文章

[導(dǎo)讀]東電電子（TEL）將在2010年12月舉行的“SEMICON Japan 2010”上展出三款新產(chǎn)品，包括兩款絕緣膜成膜裝置和一款清洗裝置。分別為批量處理式成膜裝置“TELINDY PLUS IRad SA”、在枚葉式成膜裝置“Trias e+ SPAi”上追

東電電子（TEL）將在2010年12月舉行的“SEMICON Japan 2010”上展出三款新產(chǎn)品，包括兩款絕緣膜成膜裝置和一款清洗裝置。分別為批量處理式成膜裝置“TELINDY PLUS IRad SA”、在枚葉式成膜裝置“Trias e+ SPAi”上追加了新功能的裝置及干式清洗裝置“Certas WING”。

“TELINDY PLUS IRad SA”用于形成氮化硅（SiN）膜，將從2010年12月開始受理訂單。據(jù)東電電子介紹，該裝置是銷量約為200臺(tái)的“TELINDY/TELINDY PLUS IRad”的后續(xù)機(jī)型，提高了生產(chǎn)效率及成膜性能。生產(chǎn)效率方面，從原來的一次可處理100張?jiān)黾拥搅?25張。另外，還改進(jìn)了反應(yīng)器及等離子源，采用了快速升降溫加熱器。這樣一來，雖然生產(chǎn)效率還因膜厚及工藝條件而異，但比原來最大增加了50％。同時(shí)還抑制了粒子的生成，預(yù)防性維修（preventive maintenance：PM）周期最多可延長到原來3倍。通過改進(jìn)石英反應(yīng)器的構(gòu)成，還提高了維修時(shí)的作業(yè)效率。成膜性能方面，通過最大限度確保石英舟上的晶圓間距，加大了工藝裕度等，還可滿足今后的工藝需求。

面向“Trias e+ SPAi”追加新功能的裝置提高了枚葉式等離子氧化及氮化處理裝置的等離子控制性能，將從2011年1月開始受理訂單。由此，便可實(shí)現(xiàn)今后伴隨工藝微細(xì)化所需的支持三維（3D）元件構(gòu)造的成膜，另外還將改善膜質(zhì)。

“Certas WING”是“Certas”的后續(xù)機(jī)型，將從2010年12月開始受理訂單。主要面向二氧化硅膜（SiO2）的蝕刻和回蝕，以及接觸孔的預(yù)清理等。東電電子重新設(shè)計(jì)了腔體，處理能力提高到了原來的2倍，同時(shí)還減小了裝置的尺寸。（記者：長廣恭明）

本站聲明：本文章由作者或相關(guān)機(jī)構(gòu)授權(quán)發(fā)布，目的在于傳遞更多信息，并不代表本站贊同其觀點(diǎn)，本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實(shí)性等。需要轉(zhuǎn)載請(qǐng)聯(lián)系該專欄作者，如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系本站刪除。

換一批

3D封裝模型在PCB設(shè)計(jì)中有什么作用跟好處？

幾乎一直到DXP甚至后來的AD時(shí)代，3D封裝模型技術(shù)才開始慢慢日趨成熟，自此3D封裝的發(fā)展完美的解決了這個(gè)問題，3D封裝能夠讓我們?cè)谠O(shè)計(jì)之前就能夠看到真實(shí)的3D模型，很多器件空間比如長寬高，甚至在一些中空的地方下面擺一些...

關(guān)鍵字： DXP AD 3D封裝

[美通社全球TMT]

安集科技預(yù)計(jì)前三季度實(shí)現(xiàn)營收7.54億元至8.33億元

（全球TMT2022年10月19日訊）10月17日晚間，安集科技披露業(yè)績預(yù)告。今年前三季度，公司預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入7.54億元至8.33億元，同比增長60.24%至77.03%；歸母凈利潤預(yù)計(jì)為1.73億元至2.34億元...

關(guān)鍵字：安集科技電子封裝集成電路制造

[產(chǎn)業(yè)新聞]

下好創(chuàng)新"先手棋"，安集科技功能性濕電子化學(xué)品持續(xù)發(fā)力

上海2022年10月19日 /美通社/ -- 10月17日晚間，安集科技披露業(yè)績預(yù)告。今年前三季度，公司預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入7.54億元至8.33億元，同比增長60.24%至77.03%；歸母凈利潤預(yù)計(jì)為1.73億...

關(guān)鍵字：電子安集科技 BSP EPS

[快訊]

Kakao掉線暴露科技巨頭被迫下線時(shí)所產(chǎn)生的漏洞

韓國的“萬能應(yīng)用”Kakao周末掉線，引發(fā)了生活和商業(yè)的廣泛混亂，暴露出一個(gè)無處不在的科技巨頭被迫下線時(shí)所產(chǎn)生的漏洞。Kakao的主要服務(wù)——從即時(shí)通訊到網(wǎng)約車再到移動(dòng)支付，在上周六遭遇宕機(jī)，此前該公司大部分?jǐn)?shù)據(jù)服務(wù)器所...

關(guān)鍵字：即時(shí)通訊電子移動(dòng) 網(wǎng)約車

[通信先鋒]

士蘭微擬募資65億元用于汽車半導(dǎo)體產(chǎn)線建設(shè)

近日，半導(dǎo)體龍頭企業(yè)士蘭微(600460)披露再融資預(yù)案，65億元募集資金將用于12寸芯片生產(chǎn)線、SiC功率器件生產(chǎn)線和汽車半導(dǎo)體封裝項(xiàng)目的建設(shè)。

關(guān)鍵字：士蘭微芯片電子

[產(chǎn)業(yè)新聞]

安徽首創(chuàng)，浪潮新基建助力亳州實(shí)現(xiàn)退休事項(xiàng)一次辦

濟(jì)南2022年10月14日 /美通社/ -- 近日，國務(wù)院辦公廳印發(fā)《關(guān)于加快推進(jìn)"一件事一次辦"打造政務(wù)服務(wù)升級(jí)版的指導(dǎo)意見》，提出加快推進(jìn)"一件事一次辦"，打造政務(wù)服務(wù)升級(jí)版，...

關(guān)鍵字：新基建電子 APP 數(shù)據(jù)共享

[美通社全球TMT]

TCL電子獲大股東及信托累計(jì)增持超1億股

（全球TMT2022年10月13日訊）TCL電子控股有限公司（“TCL電子”或“公司”）宣布，自2022年中期業(yè)績公告日（即2022年8月19日）至今，大股東TCL實(shí)業(yè)控股股份有限公司（“TCL控股”）增持TCL電子股...

關(guān)鍵字： TCL 電子 MT

[產(chǎn)業(yè)新聞]

TCL電子（01070.HK）獲大股東及信托累計(jì)增持超1億股

彰顯對(duì)公司成長價(jià)值的信心香港2022年10月12日 /美通社/ -- TCL電子控股有限公司（“TCL電子”或“公司”，股份代碼：01070.HK）欣然宣布，自2022年中期業(yè)績公告日（即2022年8月19...

關(guān)鍵字： TCL 電子分布式光伏 BSP

[產(chǎn)業(yè)新聞]

TUV南德香港公司連續(xù)5年榮膺"積金好雇主嘉許計(jì)劃"獎(jiǎng)

香港2022年10月12日 /美通社/ -- 近日，南德認(rèn)證檢測(cè)香港有限公司（以下簡(jiǎn)稱"TUV南德"）榮獲強(qiáng)制性公積金管理局（以下簡(jiǎn)稱"積金局&...

關(guān)鍵字：數(shù)字化電子 BSP 數(shù)碼

[美通社全球TMT]

愛立信與歐洲合作伙伴加強(qiáng)在6G生態(tài)系統(tǒng)與標(biāo)準(zhǔn)化方面的合作；TCL電子獲大股東及信托累計(jì)增持超1億股

（全球TMT2022年10月13日訊）愛立信與歐洲合作伙伴加強(qiáng)在6G生態(tài)系統(tǒng)與標(biāo)準(zhǔn)化方面的合作。隨著歐盟委員會(huì)（EC）6G旗艦項(xiàng)目第二階段 -- Hexa-X-II的啟動(dòng)。愛立信將延續(xù)其在Hexa-X項(xiàng)目第一階段中的技...

關(guān)鍵字： TCL 愛立信電子生態(tài)系統(tǒng)