志尚儀器開啟半導(dǎo)體在線微污染監(jiān)測設(shè)備的新紀(jì)元
[導(dǎo)讀]近年來志尚儀器為了不斷的追求質(zhì)量目標(biāo)以提供客戶最佳的售后服務(wù)，不僅于2006年首先通過ISO9001認(rèn)證，之后又率先于2008年成立 ISO 17025 認(rèn)證暨TAF第1936號氣體流率(Flow Rate)與氣體偵測器(Gases Monitor)校正實(shí)驗(yàn)室
近年來志尚儀器為了不斷的追求質(zhì)量目標(biāo)以提供客戶最佳的售后服務(wù)，不僅于2006年首先通過ISO9001認(rèn)證，之后又率先于2008年成立 ISO 17025 認(rèn)證暨TAF第1936號氣體流率(Flow Rate)與氣體偵測器(Gases Monitor)校正實(shí)驗(yàn)室以提供客戶最優(yōu)質(zhì)的氣體流量計(jì)或校正器之校正與可燃性/毒性氣體偵測之校正服務(wù)，2009年開春志尚儀器更傳來該公司所成立的全臺第一家微污染氣體分析實(shí)驗(yàn)室(AMC Lab.)也以獲得 ISO 17025 的認(rèn)證暨TAF第1992號實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可。
此外更積極與學(xué)術(shù)界進(jìn)行技術(shù)轉(zhuǎn)移及交流，2010年有幸獲得國立交通大學(xué)蔡春進(jìn)教授的首肯同意與敝公司進(jìn)行技術(shù)合作，并將已獲得中華民國專利的Denuder 技術(shù)作技術(shù)轉(zhuǎn)移，以便與 ISO 17025 實(shí)驗(yàn)室結(jié)合開發(fā)出新一代的 AMC 分析儀。
志尚與ISO17025實(shí)驗(yàn)室結(jié)合開發(fā)出新一代的AMC分析儀。
交通大學(xué)蔡春進(jìn)教授對于平板式濕式分離器已有多年的研究經(jīng)驗(yàn)，而蔡教授最近也已獲得中華民國第 I327641 號專利，該平板式濕式分離器專利包含此平板式濕式分離器之用于連續(xù)式采樣及分析之系統(tǒng)及用于將氣體吸收及氧化之設(shè)備開發(fā)了一種高效率的平板式濕式固氣分離器(Parallel plate wet denuder, PPWD)以改善現(xiàn)今國內(nèi)煙道酸性氣體標(biāo)準(zhǔn)采樣方法的缺點(diǎn)，有助于提升采樣分析的方便性及準(zhǔn)確性。
本公司有此榮幸與蔡教授合作并獲得美國 Dionex 公司全力支持該公司的在線 IC離子層析儀系統(tǒng)，并結(jié)合志尚儀器自行生產(chǎn)的多點(diǎn)采樣系統(tǒng)及 ISO 17025 認(rèn)證實(shí)驗(yàn)室的品管掌控，而推出最新一代的半導(dǎo)體AMC在線離子層析儀監(jiān)測設(shè)備。本設(shè)備于實(shí)驗(yàn)室中曾以VICI公司滲透管所產(chǎn)生之HF氣體作為測試氣體，滲透速率為109 ng/min±25% ( 30℃)，每個(gè)平板的去離子水吸收液流量為1 cc/min，采樣時(shí)間為15分鐘，氣體流量為5~10 L/min。氣體由吸收液吸收后，利用IC離子層析儀進(jìn)行吸收液的樣本濃度分析，并據(jù)以計(jì)算PPWD的吸收效率。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示若玻璃平板為光滑的平面玻璃，即使經(jīng)涂敷TiO2再配合UV光照射，形成的水膜仍不均勻，氣體吸收效率因?yàn)椴糠指傻舯砻娴牟鄣佬?yīng)而僅約為25%。若利用多孔玻璃平板涂敷TiO2再經(jīng)UV光照射，結(jié)果發(fā)現(xiàn)其表面親水性佳、水膜均勻，當(dāng)氣體流量為5L/min、7 L/min和10 L/min時(shí)氣體吸收效率分別為105.36%±9.06%、96.76%±1.57% 和0.33%±4.63%，其實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論吸收效率相符。
志尚儀器所獲ISO 17025認(rèn)證的微污染分析實(shí)驗(yàn)室，主要就是考慮以往在半導(dǎo)體微污染分析的領(lǐng)域往往由于采樣或分析的手法不同造成對分析結(jié)果有所疑惑，而志尚儀器微污染氣體分析實(shí)驗(yàn)室(AMC Lab.)的成立就是希望能提供半導(dǎo)體相關(guān)客戶一個(gè)可靠的采樣分析實(shí)驗(yàn)室。志尚儀器的微污染氣體分析實(shí)驗(yàn)室是根據(jù)相關(guān)SEMI的標(biāo)準(zhǔn)并依據(jù)EPA或 NIOSH的采樣或分析方法提供有關(guān)半導(dǎo)體業(yè)常見的堿性(Ammonia/Amines)或酸性(氟/氯/溴離子、硫酸/亞硫酸根離子、硝酸/亞硝酸根離子…等)氣體ppt到ppb的分析范圍服務(wù)。此外該實(shí)驗(yàn)室也結(jié)合志尚儀器另外兩個(gè)ISO17025實(shí)驗(yàn)室(氣體流率及氣體偵測器校正實(shí)驗(yàn)室)，更能確保在采樣時(shí)采樣系統(tǒng)流率的正確以及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)氣體的準(zhǔn)確配置，以便提供客戶最佳的微污染氣體分析服務(wù)。
此外更積極與學(xué)術(shù)界進(jìn)行技術(shù)轉(zhuǎn)移及交流，2010年有幸獲得國立交通大學(xué)蔡春進(jìn)教授的首肯同意與敝公司進(jìn)行技術(shù)合作，并將已獲得中華民國專利的Denuder 技術(shù)作技術(shù)轉(zhuǎn)移，以便與 ISO 17025 實(shí)驗(yàn)室結(jié)合開發(fā)出新一代的 AMC 分析儀。
志尚與ISO17025實(shí)驗(yàn)室結(jié)合開發(fā)出新一代的AMC分析儀。
交通大學(xué)蔡春進(jìn)教授對于平板式濕式分離器已有多年的研究經(jīng)驗(yàn)，而蔡教授最近也已獲得中華民國第 I327641 號專利，該平板式濕式分離器專利包含此平板式濕式分離器之用于連續(xù)式采樣及分析之系統(tǒng)及用于將氣體吸收及氧化之設(shè)備開發(fā)了一種高效率的平板式濕式固氣分離器(Parallel plate wet denuder, PPWD)以改善現(xiàn)今國內(nèi)煙道酸性氣體標(biāo)準(zhǔn)采樣方法的缺點(diǎn)，有助于提升采樣分析的方便性及準(zhǔn)確性。
本公司有此榮幸與蔡教授合作并獲得美國 Dionex 公司全力支持該公司的在線 IC離子層析儀系統(tǒng)，并結(jié)合志尚儀器自行生產(chǎn)的多點(diǎn)采樣系統(tǒng)及 ISO 17025 認(rèn)證實(shí)驗(yàn)室的品管掌控，而推出最新一代的半導(dǎo)體AMC在線離子層析儀監(jiān)測設(shè)備。本設(shè)備于實(shí)驗(yàn)室中曾以VICI公司滲透管所產(chǎn)生之HF氣體作為測試氣體，滲透速率為109 ng/min±25% ( 30℃)，每個(gè)平板的去離子水吸收液流量為1 cc/min，采樣時(shí)間為15分鐘，氣體流量為5~10 L/min。氣體由吸收液吸收后，利用IC離子層析儀進(jìn)行吸收液的樣本濃度分析，并據(jù)以計(jì)算PPWD的吸收效率。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示若玻璃平板為光滑的平面玻璃，即使經(jīng)涂敷TiO2再配合UV光照射，形成的水膜仍不均勻，氣體吸收效率因?yàn)椴糠指傻舯砻娴牟鄣佬?yīng)而僅約為25%。若利用多孔玻璃平板涂敷TiO2再經(jīng)UV光照射，結(jié)果發(fā)現(xiàn)其表面親水性佳、水膜均勻，當(dāng)氣體流量為5L/min、7 L/min和10 L/min時(shí)氣體吸收效率分別為105.36%±9.06%、96.76%±1.57% 和0.33%±4.63%，其實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論吸收效率相符。
志尚儀器所獲ISO 17025認(rèn)證的微污染分析實(shí)驗(yàn)室，主要就是考慮以往在半導(dǎo)體微污染分析的領(lǐng)域往往由于采樣或分析的手法不同造成對分析結(jié)果有所疑惑，而志尚儀器微污染氣體分析實(shí)驗(yàn)室(AMC Lab.)的成立就是希望能提供半導(dǎo)體相關(guān)客戶一個(gè)可靠的采樣分析實(shí)驗(yàn)室。志尚儀器的微污染氣體分析實(shí)驗(yàn)室是根據(jù)相關(guān)SEMI的標(biāo)準(zhǔn)并依據(jù)EPA或 NIOSH的采樣或分析方法提供有關(guān)半導(dǎo)體業(yè)常見的堿性(Ammonia/Amines)或酸性(氟/氯/溴離子、硫酸/亞硫酸根離子、硝酸/亞硝酸根離子…等)氣體ppt到ppb的分析范圍服務(wù)。此外該實(shí)驗(yàn)室也結(jié)合志尚儀器另外兩個(gè)ISO17025實(shí)驗(yàn)室(氣體流率及氣體偵測器校正實(shí)驗(yàn)室)，更能確保在采樣時(shí)采樣系統(tǒng)流率的正確以及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)氣體的準(zhǔn)確配置，以便提供客戶最佳的微污染氣體分析服務(wù)。
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