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[導(dǎo)讀]明年6吋有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)機(jī)臺量將大幅增長。發(fā)光二極體(LED)價(jià)格自2011年始走跌,上游LED磊晶廠除藉由縮減資本支出(CAPEX)力挽利潤與營收下滑頹勢外,亦已逐步調(diào)高6吋MOCVD機(jī)臺采用比重,進(jìn)一步降低制造成本、

明年6吋有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)機(jī)臺量將大幅增長。發(fā)光二極體(LED)價(jià)格自2011年始走跌,上游LED磊晶廠除藉由縮減資本支出(CAPEX)力挽利潤與營收下滑頹勢外,亦已逐步調(diào)高6吋MOCVD機(jī)臺采用比重,進(jìn)一步降低制造成本、強(qiáng)化價(jià)格競爭力。
Laytec業(yè)務(wù)總經(jīng)理Tom Thieme表示,現(xiàn)地量測將有助于調(diào)高LED磊晶良率,借此有效降低LED磊晶的制造成本。
Laytec業(yè)務(wù)總經(jīng)理Tom Thieme表示,今年上游LED磊晶供應(yīng)商添購MOCVD機(jī)臺的數(shù)量明顯下滑,且4吋MOCVD機(jī)臺不再是市場主流,反之6吋MOCVD機(jī)臺的采購比例明顯攀升,顯見LED磊晶廠已面臨極大的成本壓力,因此加緊購入大尺寸MOCVD機(jī)臺,以提高毛利率和營收貢獻(xiàn)。
看好6吋MOCVD機(jī)臺需求看漲,愛思強(qiáng)(Aixtron)、威科(Veeco)等MOCVD設(shè)備商早已展開6吋產(chǎn)品線部署;另一方面,MOCVD光學(xué)量測廠商如Laytec等,亦快馬加鞭布局先進(jìn)的現(xiàn)地量測(In-Situ Metrology)技術(shù),以提高LED磊晶廠的生產(chǎn)良率,達(dá)成調(diào)降制造成本的目的。
Thieme指出,2013年6吋MOCVD機(jī)臺的市場滲透率將會急速擴(kuò)大,對于量測MOCVD反應(yīng)爐內(nèi)晶圓溫度的高溫計(jì)(Pyrometer)儀器,Laytec已開發(fā)出安裝到反應(yīng)爐中的現(xiàn)地量測儀器,可以確保晶圓的平整度(Flatness),以提高良率。
Thieme進(jìn)一步透露,目前Laytec針對6吋MOCVD機(jī)臺開發(fā)的現(xiàn)地量測儀器,讓LED波長的一致性可達(dá)±3奈米(nm),該公司計(jì)畫至2015年達(dá)±1奈米的目標(biāo),可望助力LED磊晶廠加快提升良率,以縮減成本。
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