隨著我國汽車電子、新型數字消費電子和醫(yī)療電子等產業(yè)的快速發(fā)展，對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術的創(chuàng)新不斷涌現，市場機遇悄然乍現。

隨著我國汽車電子、新型數字消費電子和醫(yī)療電子等產業(yè)的快速發(fā)展，對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術的創(chuàng)新不斷涌現，為此VTI科技(VTITechnologies)高管則公開表示：隨著各種新的應用不斷出現，以及MEMS器件廠商的技術創(chuàng)新，MEMS傳感器產業(yè)將迎來一輪新的機會。

三維微機電系統(tǒng)傳感器(3DMEMS)由帶有金屬電容板的底座、帶有運動感應結構的中間層和頂蓋三個不同的硅層用玻璃粘合在一起組成，每層都有金屬薄膜形成電極而成為電容式傳感器。3DMEMS傳感器可以在三個正交的方向上檢測到加速度，而由此封裝完成的小型化傳感器可以方便地進行貼裝和安裝。同時VTI的專有技術確保了傳感器的精確性、小型化、低功耗和穩(wěn)定可靠。運用這種傳感器，VTI生產出了加速度計、傾角儀、陀螺儀和壓力傳感器等系列產品。

從3DMEMS傳感器的技術應用方向來看，加速度計主要應用在需要靈敏檢測運動狀態(tài)，從而實現高安全性和控制的汽車及工業(yè)應用;傾角儀則廣泛應用于需要精確測量運動場景，如運動的機械、車輛、飛機、建筑設備和掌上系統(tǒng)等;陀螺儀則可以單獨或者與加速度計共同使用，廣泛應用于從消費電子到專用設備的各種市場;壓力元件則用于醫(yī)療設備等應用之中。

MEMS器件最早的批量實際應用源于汽車電子產業(yè)，但隨著近年來消費電子領域的創(chuàng)新不斷涌現，消費電子已經成為MEMS最大的應用市場，市場規(guī)模超過了15億美元，并以每年近20%的速度增長。

作為MEMS傳感器的第二波應用高潮，MEMS傳感器在消費電子中的應用包括運動/墜落檢測、導航數據補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區(qū)消除、速度/距離計數、其他體育和保健應用等等。其中陀螺儀是增長最快的部分，已經成為加速度計后的第二大應用產品。

醫(yī)療保健被稱為MEMS的第三波應用，同時也被MEMS行業(yè)稱為高價值市場。隨著人口老齡化和醫(yī)療保健費用的提升，各種遠距離監(jiān)護和高精度治療設備將越來越多地被引入。

技術進步也是MEMS行業(yè)發(fā)展的一個重要推動力，特別是MEMS與數字芯片在同一封裝內的片上集成，給MEMS市場振興帶來了巨大的支持。在2007年推出了MEMS搭載芯片技術(Chip-on-MEMS，CoM)后，VTI也獲得了巨大的發(fā)展，各種新的應用解決方案脫穎而出。不久前，VTI推出并在近期量產的CMR30003軸陀螺儀就是這種MEMS片上系統(tǒng)，不僅其芯片級的封裝使其體積僅為3.1x4.2x0.8mm3，而且提供了SPI或者I2C數字輸出，同時實現了僅為5mA的業(yè)界最低功耗，而測量精度高達/- 2000dps。該器件專為游戲機、遙控器等人機界面和手機等優(yōu)化，目前已有客戶將該器件與8051結合設計出高精度投影光標遙控器。

VTI的CMR3000 3軸陀螺儀實現了數字輸出、高精度、小體積和低功耗

用于時鐘發(fā)生的MEMS振蕩器也是當前MEMS應用的一個熱點，隨著便攜電子設備對時鐘發(fā)生解決方案在體積和精度上的要求越來越高，采用MEMS來替代石英晶體振蕩器的呼聲也越來越大。市場調研公司Yole的分析表明：MEMS振蕩器的全球市場將從2009年的8百萬美元快速增長到2015年的6.45億美元。

MEMS在汽車電子中的應用極為廣泛，其應用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(tǒng)(ABS)、電子車身穩(wěn)定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、胎壓監(jiān)控(EPMS)、引擎防抖、車輛傾角計量和車內心跳檢測等等。其中電子車身穩(wěn)定程序ESP是許多MEMS廠商高度關注的新應用，由于其主動防滑功能要求更多的傳感器和先進的處理系統(tǒng)，因此將使汽車電子這一MEMS傳統(tǒng)應用市場再放光芒。

從飛機、大型設備、汽車到各種便攜設備及人體內的心臟起搏器，MEMS運動傳感器充滿了應用機會，而MEMS傳感器與數字芯片的集成也再次帶動了市場的發(fā)展。由于運動無處不在，通過采用MEMS傳感器而帶來的系統(tǒng)創(chuàng)新也層出不窮，可以為市場帶來全新的功能和用戶體驗。這已經被任天堂Wii等產品的成功得以證實，新的MEMS傳感器將考驗系統(tǒng)設計師的想象力。