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我國(guó)科學(xué)家發(fā)現(xiàn)一種新型光學(xué)晶體

時(shí)間：2009-03-05 05:33:34

關(guān)鍵字：光學(xué) 晶體非線性光學(xué) 光刻技術(shù)

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[導(dǎo)讀]2月19日的《自然》雜志，以《中國(guó)藏匿的晶體》為題，用3頁(yè)篇幅對(duì)中科院理化技術(shù)研究所陳創(chuàng)天院士率領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)，發(fā)現(xiàn)并生長(zhǎng)出一種最新的光學(xué)晶體———氟代硼鈹酸鉀(KBBF)晶體進(jìn)行了詳細(xì)報(bào)道，并稱(chēng)“中國(guó)實(shí)驗(yàn)室成為這種

2月19日的《自然》雜志，以《中國(guó)藏匿的晶體》為題，用3頁(yè)篇幅對(duì)中科院理化技術(shù)研究所陳創(chuàng)天院士率領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)，發(fā)現(xiàn)并生長(zhǎng)出一種最新的光學(xué)晶體———氟代硼鈹酸鉀(KBBF)晶體進(jìn)行了詳細(xì)報(bào)道，并稱(chēng)“中國(guó)實(shí)驗(yàn)室成為這種具有重大科學(xué)價(jià)值的晶體的唯一來(lái)源，它表明中國(guó)在材料科學(xué)領(lǐng)域?qū)嵙θ找嬖鰪?qiáng)”。

KBBF晶體是目前唯一可直接倍頻產(chǎn)生深紫外激光的非線性光學(xué)晶體，是在非線性光學(xué)晶體研究領(lǐng)域中，繼硼酸鋇、三硼酸鋰晶體后的第三個(gè)“中國(guó)產(chǎn)”非線性光學(xué)晶體?！蹲匀弧冯s志稱(chēng)：“其他國(guó)家在晶體生長(zhǎng)方面的研究，目前看來(lái)還無(wú)法縮小與中國(guó)的差距?！?/FONT>

陳創(chuàng)天團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)18年研究，采用“局域自發(fā)成核生長(zhǎng)技術(shù)”，突破大尺寸KBBF晶體生長(zhǎng)的技術(shù)瓶頸，生長(zhǎng)出迄今為止尺寸最大的透明塊狀KBBF單晶，并結(jié)合他們發(fā)明的非線性光學(xué)晶體的棱鏡耦合專(zhuān)利技術(shù)，成功制作出KBBF晶體厚度為2.3毫米的光接觸棱鏡耦合器件，保證了產(chǎn)生深紫外激光的實(shí)用性和精密化性能。這項(xiàng)技術(shù)為193納米光刻技術(shù)系統(tǒng)中所需要的全固態(tài)光源奠定了基礎(chǔ)。目前，該技術(shù)已獲中國(guó)、美國(guó)和日本發(fā)明專(zhuān)利授權(quán)。

KBBF晶體能夠縮短激光的波長(zhǎng)，裝備該晶體的各種激光器能發(fā)出具有極窄頻寬的紫外光波，可測(cè)量固體電子能級(jí)的分辨率達(dá)到360微電子伏特；并可用于建造超高分辨率光電子能譜儀、超導(dǎo)測(cè)量、光刻技術(shù)等前沿科學(xué)研究，對(duì)未來(lái)的微納米加工、生物醫(yī)學(xué)、激光電視等將產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。

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在當(dāng)下的半導(dǎo)體先進(jìn)制程領(lǐng)域中，三星、英特爾、臺(tái)積電三足鼎立，各有千秋

如果說(shuō)臺(tái)積電成功的首要原因是是開(kāi)創(chuàng)了半導(dǎo)體業(yè)界首個(gè)代工的模式，那么，持續(xù)不斷的在邏輯制程上的自主研發(fā)，則是維持臺(tái)積電一直成功前行的燃料。從1987年的3微米制程到預(yù)計(jì)2022年量產(chǎn)的3納米，臺(tái)積電平均2年開(kāi)發(fā)一代新制程，...

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