電子元器件技術(shù)大全:半導(dǎo)體材料知識(shí)
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以非晶態(tài)半導(dǎo)體材料為主體制成的固態(tài)電子器件。非晶態(tài)半導(dǎo)體雖然在整體上分子排列無(wú)序,但是仍具有單晶體的微觀結(jié)構(gòu),因此具有許多特殊的性質(zhì)。1975年,英國(guó)W.G.斯皮爾在輝光放電分解硅烷法制備的非晶硅薄膜中摻雜成功,使非晶硅薄膜的電阻率變化10個(gè)數(shù)量級(jí),促進(jìn)非晶態(tài)半導(dǎo)體器件的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用。同單晶材料相比,非晶態(tài)半導(dǎo)體材料制備工藝簡(jiǎn)單,對(duì)襯底結(jié)構(gòu)無(wú)特殊要求,易于大面積生長(zhǎng),摻雜后電阻率變化大,可以制成多種器件。非晶硅太陽(yáng)能電池吸收系數(shù)大,轉(zhuǎn)換效率高,面積大,已應(yīng)用到計(jì)算器、電子表等商品中。非晶硅薄膜場(chǎng)效應(yīng)管陣列可用作大面積液晶平面顯示屏的尋址開(kāi)關(guān)。利用某些硫系非晶態(tài)半導(dǎo)體材料的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變來(lái)記錄和存儲(chǔ)光電信息的器件已應(yīng)用于計(jì)算機(jī)或控制系統(tǒng)中。利用非晶態(tài)薄膜的電荷存儲(chǔ)和光電導(dǎo)特性可制成用于靜態(tài)圖像光電轉(zhuǎn)換的靜電復(fù)印機(jī)感光體和用于動(dòng)態(tài)圖像光電轉(zhuǎn)換的電視攝像管的靶面。
具有半導(dǎo)體性質(zhì)的非晶態(tài)材料。非晶態(tài)半導(dǎo)體是半導(dǎo)體的一個(gè)重要部分。50年代B.T.科洛米耶茨等人開(kāi)始了對(duì)硫系玻璃的研究,當(dāng)時(shí)很少有人注意,直到1968年S.R.奧弗申斯基關(guān)於用硫系薄膜制作開(kāi)關(guān)器件的專利發(fā)表以后,才引起人們對(duì)非晶態(tài)半導(dǎo)體的興趣。1975年W.E.斯皮爾等人在硅烷輝光放電分解制備的非晶硅中實(shí)現(xiàn)了摻雜效應(yīng),使控制電導(dǎo)和制造PN結(jié)成為可能,從而為非晶硅材料的應(yīng)用開(kāi)辟了廣闊的前景。在理論方面,P.W.安德森和莫脫,N.F.建立了非晶態(tài)半導(dǎo)體的電子理論,并因而榮獲1977年的諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。目前無(wú)論在理論方面,還是在應(yīng)用方面,非晶態(tài)半導(dǎo)體的研究正在很快地發(fā)展著。