FSI國(guó)際收到一家全球性領(lǐng)先的晶圓廠對(duì)其ANTARES® 清洗系統(tǒng)的多套繼續(xù)訂單
在線參數(shù)測(cè)試清洗彌補(bǔ)良率損失

明尼阿波利斯—FSI國(guó)際有限公司(納斯達(dá)克:FSII)近日宣布：一家領(lǐng)先的亞洲晶圓廠再次定購(gòu)多套ANTARES(R)超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)清洗系統(tǒng)，進(jìn)一步提高了該平臺(tái)安裝數(shù)量。這項(xiàng)訂單的簽訂，緣于該機(jī)臺(tái)通過(guò)使用在線直流參數(shù)測(cè)試去除生產(chǎn)殘留物的能力，這些殘留物曾被報(bào)告會(huì)導(dǎo)致良率的損失。這家晶圓代工廠目前使用ANTARES系統(tǒng)完成各種前段制程(FEOL)和后段制程(BEOL)中的微粒去除工藝，該項(xiàng)訂單實(shí)現(xiàn)了在65nm和90nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)更高的在線參數(shù)測(cè)試清洗的能力。預(yù)計(jì)該系統(tǒng)將在未來(lái)幾個(gè)季度出貨。ANTARES系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格范圍在120萬(wàn)美元到200萬(wàn)美元之間，最終價(jià)格取決于配置。

晶體管生成后在線參數(shù)測(cè)試，使集成電路制造商能夠在生產(chǎn)流程中點(diǎn)探明器件參數(shù)是否符合規(guī)格。同時(shí)，在線測(cè)試在控制制造工藝方面頗具價(jià)值，測(cè)試能夠檢測(cè)到造成芯片或整個(gè)晶圓損壞的殘留物。通過(guò)除去測(cè)試殘留物并允許IC制造商對(duì)測(cè)試芯片或晶圓進(jìn)行無(wú)損的在線測(cè)試，ANTARES系統(tǒng)避免了殘留物造成損壞的危險(xiǎn)。此外，ANTARES系統(tǒng)創(chuàng)新的噴霧清洗能力能夠增加測(cè)試頻率，因此可以對(duì)制造過(guò)程中的晶圓進(jìn)行更多的監(jiān)控而不會(huì)造成良率損失，這在生產(chǎn)線應(yīng)用更新的技術(shù)時(shí)尤其重要。  “我們很高興能夠提供一種直接影響客戶基本工藝的制程，”FSI國(guó)際總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說(shuō)到。“通過(guò)為我們的客戶提供一種有效的方法去實(shí)施在線參數(shù)測(cè)試清洗，客戶得到了更高的測(cè)試晶圓良率和收入，這是FSI今天就能為業(yè)界提供一些最高性能價(jià)格比清洗解決方案能力的進(jìn)一步證明?！?nbsp;   目前，全世界有超過(guò)10家領(lǐng)先器件制造商使用ANTARES系統(tǒng)，主要是因?yàn)樵撓到y(tǒng)的缺陷抑制和良率提升效益，并且超過(guò)一半的客戶使用ANTARES系統(tǒng)進(jìn)行在線參數(shù)測(cè)試清洗。
 
ANTARES系統(tǒng)是一種全自動(dòng)的、單晶圓超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)，用于處理300mm和200mm晶圓，并具有納米級(jí)微粒去除能力。超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)工藝技術(shù)是一種全干法無(wú)化學(xué)反應(yīng)的工藝，它通過(guò)高速低溫Ar/N2噴霧沖擊來(lái)去除微粒，減少了缺陷且不對(duì)晶圓表面造成損傷，甚至也可用于銅和多孔低介電系數(shù)的薄膜。ANTARES系統(tǒng)的高效干法清洗解決方案可適用于多種FEOL和BEOL微粒去除應(yīng)用。

AspectClean(TM)工藝特別適合于圖案結(jié)構(gòu)敏感的工藝步驟，這些步驟源于前段制程?hào)艠O穿孔連接，業(yè)界一直在此領(lǐng)域中不斷尋求無(wú)損害零刻蝕粒子去除工藝。

N2Clean(TM)工藝提供后段制程銅流程中無(wú)風(fēng)險(xiǎn)水印清洗功能。并且是用于不同結(jié)構(gòu)上銅化學(xué)機(jī)械拋光后、刻蝕中止層沉積、在線探測(cè)和低介電系數(shù)清洗的理想方法。

關(guān)于FSI國(guó)際有限公司
FSI國(guó)際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設(shè)備技術(shù)及支持服務(wù)的全球性的供應(yīng)商。通過(guò)使用公司的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)等一整套清洗技術(shù)產(chǎn)品組合，客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標(biāo)。公司推出的支持服務(wù)項(xiàng)目包括了產(chǎn)品及工藝的提升，從而延長(zhǎng)已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命，使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報(bào)。