IC裝備制造業(yè)是裝備制造行業(yè)中科技含量最高的產(chǎn)業(yè)，被業(yè)內(nèi)人士稱為裝備制造業(yè)的珠穆朗瑪峰。2002年，為實(shí)現(xiàn)用高新技術(shù)改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略目標(biāo)，沈陽(yáng)市在全國(guó)率先提出了發(fā)展IC裝備制造產(chǎn)業(yè)的構(gòu)想。經(jīng)過3年的發(fā)展，沈陽(yáng)在國(guó)家級(jí)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)―――渾南新區(qū)，以零部件加工和子系統(tǒng)產(chǎn)品加工為突破口，并加強(qiáng)同海外華人的經(jīng)濟(jì)技術(shù)交流，不斷吸收、消化國(guó)際先進(jìn)技術(shù)，使渾南的IC裝備制造業(yè)迅速起步，目前正在形成兩大IC裝備制造業(yè)集團(tuán)，一個(gè)是以沈陽(yáng)新松機(jī)器人有限公司、沈陽(yáng)芯源先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化所為核心的IC生產(chǎn)廠晶片處理、傳送自動(dòng)化裝備企業(yè)集團(tuán)；一個(gè)是以中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司為核心的真空、成膜設(shè)備企業(yè)集團(tuán)。沈陽(yáng)的IC裝備制造產(chǎn)業(yè)已經(jīng)形成了從零部件和子系統(tǒng)加工，到單元和整機(jī)制造的全面發(fā)展格局，產(chǎn)業(yè)集群已初見雛形。

今年初，沈陽(yáng)市同美國(guó)應(yīng)用材料公司簽訂了試加工4塊大型平板顯示器高精密零部件的合同，美國(guó)是國(guó)際IC裝備制造業(yè)的龍頭，其產(chǎn)品涵蓋了IC生產(chǎn)線所需60%以上的設(shè)備品種，對(duì)零配件的加工技術(shù)要求近乎苛刻，此前我國(guó)其他一些地區(qū)的企業(yè)也曾嘗試承接該項(xiàng)目，但加工出來的產(chǎn)品均未合格。為拿下這個(gè)項(xiàng)目，渾南新區(qū)投資80萬(wàn)元作為科技創(chuàng)新基金，中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司和沈陽(yáng)先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司共同組織科研人員進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，終于攻克了環(huán)形燕尾槽和細(xì)長(zhǎng)空兩項(xiàng)技術(shù)難關(guān)，在兩個(gè)月的時(shí)間里，技術(shù)攻關(guān)組成員與沈陽(yáng)飛機(jī)制造有限公司、沈陽(yáng)黎明航天發(fā)動(dòng)機(jī)有限公司的科研人員一起分析、解決具體技術(shù)問題，并在沈陽(yáng)鼓風(fēng)機(jī)集團(tuán)、沈陽(yáng)機(jī)床集團(tuán)有限公司等大企業(yè)的支持下，由沈陽(yáng)的技術(shù)工人進(jìn)行實(shí)際操作，按時(shí)完成了4塊大型平板顯示器高精密零部件的加工。該部件經(jīng)88項(xiàng)人工檢測(cè)和116項(xiàng)設(shè)備檢測(cè)，各項(xiàng)指標(biāo)全部檢驗(yàn)合格，定期交貨。

此次加工項(xiàng)目的高質(zhì)量完成，是沈陽(yáng)老工業(yè)基地的人才優(yōu)勢(shì)、技術(shù)優(yōu)勢(shì)、裝備優(yōu)勢(shì)的展現(xiàn)，并為吸引國(guó)外知名IC裝備制造大公司進(jìn)駐沈陽(yáng)提供了配套優(yōu)勢(shì)。目前，美國(guó)應(yīng)用材料公司正在同沈陽(yáng)洽談新的合作項(xiàng)目。