Crossing Automation公司推出增強版Spartan EFEM
為大規(guī)模半導(dǎo)體設(shè)備制造商提供高效節(jié)能的前端與后端自動裝置解決方案及工程服務(wù)的領(lǐng)先供應(yīng)商Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)今天宣布，已經(jīng)提高公司的SpartanTM設(shè)備前端模塊(EFEM)的性能，將其每小時的加工能力提高至450張晶圓。改進(jìn)設(shè)計的目的是滿足高通量半導(dǎo)體制造工藝如剝離/去膠、清洗和離子注入的需要。由于擁有專有的晶圓機(jī)常壓機(jī)器人，改進(jìn)后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的時間內(nèi)以最快的速度進(jìn)行晶圓切換，實現(xiàn)100%的工藝設(shè)備利用率。
“使設(shè)備生產(chǎn)能力最大化是設(shè)備供應(yīng)商的核心競爭優(yōu)勢，同時也為IC制造商們降低設(shè)備的擁有成本，”Crossing Automation的產(chǎn)品營銷副總裁May Su表示，“對于那些擁有每小時加工數(shù)百片晶圓的生產(chǎn)能力、但卻因現(xiàn)有的常壓機(jī)器人技術(shù)而無法開足產(chǎn)能的設(shè)備來說尤其重要。通過升級Spartan已經(jīng)生產(chǎn)檢驗的計算晶圓運動路徑的軟件算法，我們現(xiàn)在能夠讓所有能通過商業(yè)手段購買到的EFEM發(fā)揮出最大產(chǎn)能，同時還能維持Spartan現(xiàn)有的可靠性和清潔度性能。”
增強版Spartan EFEM已通過某領(lǐng)先的剝離設(shè)備供應(yīng)商的認(rèn)證，并表明在現(xiàn)有的EFEM技術(shù)的技術(shù)基礎(chǔ)上將加工能力提高了20%。此次實際生產(chǎn)驗證Spartan平臺的安裝基數(shù)超過1000件，上線時間達(dá)99%。
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