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Altatech Semiconductor獲得德國科研機(jī)構(gòu)的CVD設(shè)備訂單

時間：2011-02-13 09:22:34
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[導(dǎo)讀]Altatech Semiconductor獲得了一份多功能AltaCVD平臺訂單，該訂單來自德國慕尼黑Fraunhofer Research Institution。該200mm AltaCVD系統(tǒng)可用于等離子體增強(qiáng)CVD工藝，也可用于低于氣壓的CVD工藝，F(xiàn)raunhofer中心將用該

Altatech Semiconductor獲得了一份多功能AltaCVD平臺訂單，該訂單來自德國慕尼黑Fraunhofer Research Institution。該200mm AltaCVD系統(tǒng)可用于等離子體增強(qiáng)CVD工藝，也可用于低于氣壓的CVD工藝，F(xiàn)raunhofer中心將用該設(shè)備在硅晶圓和SOI晶圓上淀積介質(zhì)層。

來源：Altatech

作者：zhaobin

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